微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用.     

新型RF MEMS开关的动态表征

一种基于UV LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.     

微电子器件静电防护探讨

随着我国IT产业的迅速发展和技术水平不断提高,高分子材料、微电子器件广泛应用于各领域及其产品,静电放电损伤给企业造成了重大的危害,因此,静电防护受到企业的普遍重视。研究了微电子器件静电防护的相关内容,提出了静电防护措施,以期为相关工作者提供借鉴。     

微电子器件工业生产中的静电防护研究

从ESD过程分析入手,对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析,介绍了4种静电放电模型,进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系,以确保静电防护的有效性。     

电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计

提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RF MEMS)开关结构形式．开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成。由于采用了永磁铁单元，可以实现对开关的双稳态电磁控制，从而降低了开关的功耗。对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明，含有加强筋结构的开关模型，在12μN力的作用下，可以使悬梁两端产生20μm的位移，此时系统的固有振动频率约为5．7kHz。     

静电放电电磁脉冲对微电子器件的双重作用

研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效,采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加不同电压的ESD应力.结果表明:高电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤主要是不可恢复的损伤,而低电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤是可恢复的损伤;ESD的注入对器件有双重作用:一方面ESD在器件中可引入潜在性损伤,另一方面ESD对器件有加固作用,并且注入ESD电压越高,这些作用越明显.     

3位获诺贝尔奖提名的微电子器件华裔科学家

 微电子技术是现代信息化社会的基石,而微电子器件是微电子技术最重要的组成部分。介绍了3位目前仍然活跃在国际微电子学术及产业界的著名科学家--施敏、萨支唐和邓青云的主要贡献以及对微电子产业的巨大影响力。施敏是目前电脑、手机等电子信息产品的必备组件--非挥发存储器的发明者;萨支唐是现代集成电路主要采用的技术--CMOS技术的发明者;邓青云是第三代平面显示最有发展前景的技术--OLED之父。     

半导体敏感器件及其应用

本文系统介绍了半导体敏感器件的分类和在各个领域中的实际应用以及发展趋势。     

微电子机械系统（MEMS）器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统，一个新兴的高新技术领域，并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。     

有源光电子器件技术及其发展

全光通信是光纤通信发展的必然方向，有源光电子器件是构建全光通信网络的重要基础。介绍了目前常用的几种有源光电子器件的现状及发展情况，并对其技术的未来发展趋势进行了分析和总结。     

基于RF MEMS开关的移相器设计

传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通路,以实现从0°-180°步进22.5°的相移功能.仿真结果表明,该移相器在5.8 GHz时,插入损耗在-0.3--0.7 dB变化,输入回损低于-20 dB,相移功能正确.     

超声微电机的发展及关键技术

随着微机械、微电子技术的快速发展,毫米尺度的微型电机倍受重视,同时也对超声微电机提出了更高的技术要求。其中微型化、提高寿命及工作稳定性等是目前超声微电机研究中亟待解决的关键问题。本文分析了目前影响超声微电机应用的几个重要因素,提出了对应的关键技术及解决方案。     

车辆监控系统设计的关键技术分析

介绍了车辆监控系统的软硬件部分，给出了总体架构设计。提出了利用MapX和MapXTreme进行电子地图显示，通过定位匹配将车辆位置、状态等信息有效地与电子地图整合，从而对车辆进行准确地定位和监控．     

科技英语中的积极修辞及其翻译

科技英语注重逻辑上的连贯及表达上的明晰与畅达，避免主观随意性，但不排斥积极修辞的使用。通过例证表明积极修辞在科技英语中起着使文章更加生动、形象的重要作用，并简单论述亍其翻译方法。     

硬岩巷道快速施工关键技术及其施工工艺研究

东欢坨矿硬岩巷道施工缓慢,严重影响矿井生产。本文利用理论研究、实验测定等方法和手段对东欢坨矿硬岩石门巷道的围岩物理性质进行了细致、系统性的实验和研究。以"新奥法"为主要依据和基础,设计提出了硬岩石门巷道快速施工工艺和技术,提高了巷道掘进速度,对深部煤炭开采有重要意义。     

一种微小摩擦的测试方法

论述了一种全新的微上摩擦测试方法－－间接测量法，并设计了测试装置，该方法将微型电动机同时作为驱动元件和测试元件，通过分析微电动机在施加正压力前后其运动特性的改变，间接地计算出微小摩擦力的大小，从而避开了传感器的安装问题。意圈电视产生的微小力通过传动装置双面抱紧电机轴产生正压力，其大小通过离线标定获取，测得摩擦系数μ的平均值为０．１４７，其实验误差在４％以内。     

VPN及其核心技术

虚拟专用网VPN技术利用Internet实现可靠的安全连接 ,它代表了当今网络发展演化的最高形式 ,本文介绍了VPN的定义、特点及其核心技术     

适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备

以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 HV、无裂纹的纳米晶Ni-W薄膜材料,为其在MEMS微器件、微模具制备上的应用提供了有效途径.     

面向关键核心技术突破的新型科技举国体制探索

自2018年以来,美国对中国采取的技术封锁与遏制,揭示了中国在关键核心技术领域自立自强能力不足的困境。国内发展需求和国外竞争局势都要求构建新型的科技举国体制服务于关键核心技术的突破。本研究对新型科技举国体制的概念进行了探讨,然后梳理国外科技举国体制的模式及其演变。在总结国外科技举国体制经验的基础上,构建中国突破关键核心技术的新型科技举国体制模式,并提出相关的政策建议。