PECVD技术生长氮化硅钝化膜的条件控制

不同的工艺条件会对薄膜的生长产生影响。使用等离子体增强化学气相淀积方法,对PECVD生长氮化硅钝化膜的工艺条件进行了实验研究,阐述了几种工艺参数对钝化膜生长的影响,获得了生长氮化硅钝化膜的较佳工艺条件,制作出了高质量的氮化硅钝化膜。     

氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究

目的研究金刚石耐磨涂层的摩擦磨损性能,以提高工件的使用寿命.方法利用微波等离子体化学气相沉积技术在氮化硅陶瓷基体表面制备金刚石薄膜.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同参数的金刚石薄膜进行结构表征,利用球-盘式摩擦磨损试验机在干摩擦条件下对薄膜的摩擦学性能进行研究.结果制备的金刚石薄膜表面粗糙度小,结合力良好;金刚石涂层有效降低了氮化硅表面的摩擦因数与磨损率,摩擦因数约为0.12~0.25.在微波功率8 k W、腔体气压6 k Pa、甲烷体积分数8%的参数下制得的涂层具有最低的摩擦因数(0.12)和磨损率(1.18×10-7mm3/(N·m)).结论在氮化硅基体表面沉积金刚石薄膜可以提高氮化硅材料的摩擦磨损性能,提高工件寿命.     

氮化硅密封环

在上海硅酸盐研究所研制成功新型工程陶瓷——氮化硅新材料的基础上,奉化机械密封件厂接受了一机部下达的氮化硅密封环基础件攻关任务。经过二年时间的苦战,终于攻下了QY型2.2瓩潜水电泵模压氮化硅密封环连续寿命8000小时的难关。最近由一机     

褐家鼠生长规律的研究

对褐家鼠体长，体重，尾长，后足长和耳长的生长规律进行了分析。     

采用非均相沉淀-热还原法制备铁包覆氮化硅复合粉末

以FeSO4·7H2O,Na2CO3 和Si3N4 为原料,聚乙二醇400 为分散剂,采用非均相沉淀-热还原法制备Fe/Si3N4金属陶瓷复合粉末,将未经表面导电处理的Fe/Si3N4 金属陶瓷复合粉末与Si3N4 粉末进行SEM 扫描比较分析及EDS,XRD 和Zeta 电位测量等方法表征并对微观结构进行讨论.研究结果表明,Si3N4 被连续、致密、均匀的SiOxNy,SiO2 和Fe 三层壳体层层包覆,壳与壳之间化学键结合紧密.     

悬浮床氮化硅合成热过程的实验研究与数值模拟

针对基于流态化技术利用硅粉直接氮化合成氮化硅粉的新工艺,建立了悬浮床内热过程的二维数学模型,并借助CFD商业软件FLUENT对悬浮床内热过程进行了数值模拟,分析了氮气速度、粉气比和氮化温度等因素对温度场和硅转化率的影响. 结果表明,模拟计算值与实验值误差小于5%,该模型可以用来预测悬浮床内的热过程. 在本文条件下,当以平均粒径2.7μm的硅粉为原料、氮化温度为1380℃、氮化时间为54.5s时,硅的转化率为22.5%. 模型预测表明,如果将氮化温度升至1450℃、氮化时间延长至7.1min,那么硅转化率可达98.6%,氮化硅纯度达98%以上.     

高技术氮化硅陶瓷材料

氮化硅陶瓷有着优异的韧性、耐高温、耐磨、耐腐蚀性和生物相容性,可作为工具、磨具、高温结构件、耐磨耐腐蚀件、密封件和生物材料等,广泛用于机械、电子、冶金、化工、航空航天、军事工程等领域。该材料国内市场的需求巨大,并有极大的出口前景。目前国外一支u级精度的氮化硅陶瓷刀具售价为10美元～20美元,以该材料的质量和价格优势,完全有能力打入国际市场。高技术氮化硅陶瓷材料具有很好的高温及抗热冲击性,使用温度可比高温合金高200℃～400℃,因此在发动机部件方面有很大的应用潜力。     

高技术氮化硅陶瓷材料

氮化硅陶瓷有着优异的韧性，耐高温、耐磨、耐腐蚀性和生物相容性。可作为工具、磨具、高温结构件、耐磨耐腐蚀件、密封件和生物材料等，广泛用于机械、电子、冶金、化工、航空航天、军事工程等领域。     

氮化硅的光致发光

采用PECVD技术在单晶硅(100)硅片表面沉积非晶氮化硅薄膜(a-SiN.),通过改变压强,调节氮气流量制备样品,再对沉积态样品进行真空传统退火和氮气氛围快速热退火(RTP)处理.研究认为,所制备的α-SiNx薄膜(N2与SiH4流量比＞20:1)的发光机制以能隙态模型发光机制为主.反应气体流量比不变,提高总的反应气压样品的发光主峰峰位发生了蓝移,真空高温长时间退火会减弱其光致发光效应,快速短时退火有利于其发光峰的增强.     

篌竹出笋成竹生长规律研究

对篌竹生长规律进行了研究。结果表明,篌竹出笋时间约始于4月8日,历时约32d,出笋初期出笋少,盛期、末期出笋数较多,但末期持续时间较长,退笋率随着笋期的推移先不断增加后下降。砍伐样方的成竹率比未砍伐样方的高。较早同生群幼竹高生长遵循逻辑斯蒂曲线方程,而较晚同生群幼竹高生长符合指数函数曲线方程,较早同生群的高度高于较晚同生群。     

铜鱼生长规律的数学模型

对铜鱼的生长规律进行了研究，建立了铜鱼生长规律的数学模型，为铜鱼的保护与合理捕捞提供了科学依据。     

黄缘闭壳龟幼龟生长规律研究

采用常温养殖和控温养殖两种方法研究了黄缘闭壳龟幼龟的生长规律.实验结果表明:180 d后,常温养殖幼龟体质量平均增长54.27 g,体质量相对增长率为115.89%;控温养殖幼龟体质量平均增长72.88g,体质量相对增长率为157.95%.控温养殖幼龟均体质量是常温养殖的1.34倍,生长速率明显高于常温养殖.常温养殖幼龟5月份生长率缓慢,10月份呈负增长,快速生长期为6—9月份;控温养殖幼龟5月份生长率较快,10月份生长率缓慢,快速生长期为5—9月份,控温养殖使幼龟生长期延长约30 d.两种养殖方式,体质量、背甲长、腹甲长、体厚与日龄均呈正相关,同时体质量与背甲长、腹甲长及体厚也呈正相关,相关系数r>r0.01(P<0.001),相关性极其显著.     

台湾栾树苗木生长规律分析

以台湾栾树种子育苗为对象,研究苗木生长规律,采用有序样本聚类分析法划分苗木生长时期,拟合高径生长的I型、S型曲线方程,找出苗木高、径生长的最优回归方程并进行苗木高径生长关系分析。     

矿区废弃地栓皮栎生长规律研究

利用平顶山矿区废弃地栓皮栎人工纯林标准地资料 ,模拟出各测树因子的生长模型 ,研究林分生长过程、龄组的划分 ,确定数量成熟龄及林分蓄积量 ,并提出了该地区第一次间伐的时间及主伐年龄。     

胎儿颅脑生长规律的研究

测量不同时期胎儿的颅脑外形及脑重，有助于研究胎儿颅脑生长规律及优生优育。我们按全国胚胎外形测量统一标准和方法，对胎儿颅脑进行了4项指标的测量，得出如下结论：胎儿颅脑生长的规律是，随着脸龄增加，胎儿颅脑生长速度逐渐加快。     

元宝枫幼苗生长规律的研究

研究元宝枫幼苗生长规律及苗木培育技术措施,对培育元宝枫苗木有一定的指导意义。     

细菌生长的热动力学研究

用热活性检测系统测定了5种弧菌在相同培养基下生长的热谱,并在不同温度下对指数生长期的热谱进行了处理,得到有关菌种的生长速率常数和激活能;在此基础上,按化学动力学过渡态理论计算,得到有关热力学函数。     

微量热法测细菌生长的热谱及其热动力学研究

利用热活性检测仪测定了５种弧菌在４个温度下完整的生长热谱图。根据这些热谱图所反映出的变化规律研究了它们在各个温度下的生长速率常数，激活能和传代时间。