聚酰亚胺（PI）薄膜电容型湿度传感器的研制

高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主(CA,CAB).聚酰亚胺(PI)于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用于微电子器件的表面钝化和PMP技术的多层布线,八十年代起替代SiO_2作电子器件绝缘介质.1982年后应用于湿度传感器作为感湿材料.与醋酸纤维系材料相比,PI具有以下特点:     

锡掺杂对氧化锌纳米湿度传感器性能提升研究

笔者构建并研究了基于ZnO纳米结构的阻抗式湿度传感器.首先采用水热法合成了不同掺杂浓度的湿敏氧化锌纳米棒Zn1-xSnxO(x=0％,1％,3％,5％),然后通过介电泳操作将其在微加工叉指电极之间沉积.以纳米结构的氧化锌为传感元件,将处理后的样品作为阻抗传感器进行测试.通过检测氧化锌阻抗随湿度环境变化构建阻抗式湿度传感...     

聚酰亚胺薄膜电容栅FET湿度传感器的研制

一种聚酰亚胺薄膜电容栅ＦＥＴ微型湿度传感器已经初步研制成功，这是一个ｎ沟道增强型器件，具有曲折栅结构；沟道长约１０μｍ，宽〉８００μｍ，栅区绝缘层厚约３００ｎｍ（ＳｉＯ２＋Ｓｉ３Ｎ４）；一个Ａｕ－ＰＩ－Ａｌ纵向湿敏电容覆植于绝缘栅上，本文报道该ＰＩ－ＨＵＭＦＥＴ的结构设计；工作原理和主要性能并对某些有关问题进行了初步讨论。     

硅基Si/Si0.65Ge0.35多量子阱APD响应特性的研究

以硅基材料为基底,外延生长20周期Si/Si_(0.65)Ge_(0.35)多量子阱结构的雪崩光电二极管(APD)探测器,分析了硅基量子阱结构的APD探测器能带对光子探测波长和响应灵敏度的影响。利用Silvaco TCAD进行工艺建模和光电性能仿真模拟。仿真结果表明,量子阱结构APD探测器响应峰值波长为0.95μm,探测响应截止波长为1.4μm,探测响应度提高了38%,实现了硅基APD探测器对微弱高频近红外光子的响应。     

SnO2气敏材料研究进展

本文主要介绍了SnO2基传感器的气敏性能，改进措施，制备方法等，阐述了纳米SnO2为基的气敏传感器的前景。     

新型智能传感器及其应用

一、新型智能传感器近几年，智能型传感器的发展以每年２２％的速度递增，在工业自动化控制领域中得到广泛应用。智能传感器是在传统传感器基础上加上处理单元（微处理芯片），使传感器具有改善线性度，消除外界环境影响和提高精度的功能，具有自校正、自诊断等自我调节的功能，同时它具有网络通信功能，在智能传感器处理单元中实现网络通信协议。智能传感器采用先进的硅力敏传感元件和仪号处理方法。运用离子注入等半导体工艺，在同一块单晶硅片上制作差压、静压、温度三种敏感元件，在信号处理方面提高了性能。积分电路将信号处理系统合成…     

双膜片的硅-蓝宝石高温压力传感器

介绍了用硅-蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器,并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度.350℃下测得传感器的准确度为0.1%.     

分级结构SnO2在气体传感器中的研究进展

SnO₂由于具有制备方法简单、来源广泛、优异的n型半导体特性,被认为是制造气体传感器的理想候选材料。通过调整形态和改性对SnO₂基气体传感器的发展至关重要。由低维结构单元构筑的三维(3D)分级结构SnO₂基气体传感器取得了一定的成果。笔者简要综述了分级结构SnO₂的可控合成和改性方法,为制造新型高性能SnO₂基气体传感器提供新的思路和见解。     

镧修饰钛酸钡纳米多晶粉体及陶瓷传感元件的工艺优化及特性表征

以Ba(OAc)2,La(OAc)3,Ti(OnBu)4为起始物,对溶胶-凝胶法制备的镧掺杂钛酸钡纳米多晶粉体LaxBa1-xTiO3(x=0.00,0.05,0.10,0.20,0.30)及陶瓷元件进行了多项特性表征,并利用正交设计对工艺参数进行优化溶胶是在70℃,pH=3.8的醋酸介质中,由总浓度为0.7mol/L的起始物进行共溶水解而得;将溶胶在室温下自然浓缩和陈化而得湿凝胶;将湿凝胶置于恒温干燥箱中(50℃/24 h)制得干凝胶;首先取少量干凝胶进行热分析(TG-DTG),以确定大致的焙烧温度范围,然后取一部分干凝胶在此温度范围内的不同温度点上焙烧以制得一系列LaxBa1-xTiO3粉体试样,对其进行EDS、SEM、FT-IR、XRD测试,以比较各试样的金属组分含量、团粒形貌、晶相组成及原始晶粒尺寸.另一部分干凝胶则经研磨过筛之后等静压成型(φ3.0×1.5mm),在不同温度和时间条件下烧结制得陶瓷传感元件,进行湿敏、气敏(包括酒敏)性能及显微结构的测试,从中获得了具有良好选择性和灵敏度的湿敏元件.     

具有高水热稳定性有机-无机杂化中孔硅基材料的合成

以Y型沸石前驱体和不同的有机硅氧烷为硅源,合成了多种具有高水热稳定性的有机官能化中孔硅基材料,这些材料在100℃纯水中处理150 h后,能同时保持中孔结构和孔道表面上有机组分的稳定.Y型沸石前驱体可用廉价的反应物制备,提供了一条制备具有高水热稳定性有机官能化中孔硅基材料的低成本合成路线.     

微结构光纤分布式传感技术实现油井压裂监测

提出了一种使用聚酰亚胺涂敷、低羟基高纯石英玻璃微结构的散射增强型微结构光纤,用于监测和评估油井开采中水力压裂技术的过程与效果,该光纤对高温、高湿度、富氢环境有较好的耐受力。通过分布式传感系统测量了该光纤的散射增强效果,当光纤损耗为3 dB/km时,测量精度可以提高2~5倍,在实际油井压裂监测中,微结构光纤分布式传感系统数据结果显示,可以对压裂效果实现监测并进一步指导压裂和暂堵工作。     

基于分解的自适应差分进化识别光伏模型参数

为了快速、准确和可靠地识别不同环境条件下光伏模型参数,提出了一种基于分解的改进自适应差分进化（improved adaptive differential evolution with decomposition,IADE-D）算法。在IADE-D中,首先提出了一种未知参数分解技术来降低问题的维度,减少问题的复杂性。然后提出一种改进自适应差分进化算法用于求解分解后的未知参数。为了验证所提算法的有效性,将其用于一种基于单二极管的光伏面板模型参数识别。仿真结果表明,与现有先进算法相比,IADE-D算法在准确性和可靠性上更具有竞争力。因此,可以考虑将IADE-D作为一种有效的光伏模型参数识别方法。     

波长编码型光纤传感器高精度解调技术研究进展

介绍了波长编码型光纤传感器高精度解调技术的最新研究进展,所涉及的解调技术能够实现对波长编码型光纤传感单元阵列的亚纳应变级分辨率的测量能力.首先回顾了光纤光栅应变传感技术,分析了高精度光纤应变传感器所选用的敏感元件;然后介绍了前馈式扫频激光线宽压缩技术和闭环轮询式探测技术,详述其理论原理、实现方案、性能指标;最后介绍了基于上述技术实现的高精度光纤应变传感系统实现地壳形变观测的应用实例,为各类高性能光纤传感器的研究与应用提供参考.     

烧结温度对纳米SnO2传感器灵敏度的分析研究

通过研究烧结温度对纳米SnO2传感器灵敏度的影响,并与传统的SnO2传感器进行对比分析,得出最佳的烧结温度是660℃,且纳米SnO2传感器的气敏响应远远好于传统SnO2传感器,适合做高灵敏度的气体传感器．     

光纤微腔法布里-珀罗干涉传感器研究进展

光纤微腔传感器因本质安全、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点,在光纤传感领域中获得了广泛关注.针对光纤微腔法布里-珀罗干涉传感器可测参量多并可实现多参量同时测量的特点,重点介绍了光纤微腔法布里-珀罗干涉传感器技术的研究进展,包括对温度、压力、液体折射率、氢气质量分数、有机挥发物质量分数等参量的测量,详细介绍了传感器的制作方法、传感原理和实验结果.     

光纤法珀传感解调方法研究进展

光纤法珀传感器是目前发展历史最长、应用最普遍、技术最成熟的一种光纤传感器，广泛应用于各类极端复杂的环境中，对其传感信息进行准确解调是实现高精度测量的关键。首先对光纤法珀传感技术的发展历程进行了回顾和评述，接着介绍了光纤法珀传感器的类型和基本传感原理，对光纤法珀传感器解调方法的研究进展进行了阐述，从强度解调和相位解调两方面分别介绍了强度解调法、光谱解调法和低相干干涉解调法。最后总结了各类解调方法的应用特点，为光纤法珀传感器高精度快速解调的研究与应用提供参考。     

用于结构整体与局部健康监测的光纤超声传感器

本文提出并展示了两种光纤超声传感系统,一种是基于菲索干涉仪的结构,另一种是类萨格奈克干涉仪的结构.当系统中光纤传感器采用长跨度光纤时,可实现结构整体内部是否有微裂纹所导致超声发射的情况监测.系统中的光纤传感器部分也可以选用一段短光纤或绕成一个光纤环,从而实现单点的局部探测.文中分析了作为传感的光纤与超声的相互作用.实验上,将1 m长的光纤作为一段直线传感器和绕成光纤环形点传感器分别埋入混凝土试件中,进行了10、25和50 kH超声测量实验.结果表明,这两种光纤传感器均具无损检测的应用潜力.尤其是长尺度光纤传感器更适合于监测大尺度混凝土建筑结构的由于内部微裂纹的发生及其发展情况,对于评估结构的健康状况具有十分重要的意义.     

基于DHT11温湿度测控系统的设计

依据DHT11温湿度传感器的工作原理,设计了以单片机STC89C52RC为主控核心的实验室温湿度测控系统.在硬件方面,主要设计了单片机最小系统电路、DHT11与单片机的连接电路、12864液晶显示电路、蜂鸣器报警电路及抽湿机驱动电路.在软件方面,主要编写了DHT11检测温湿度程序、12864显示程序、报警程序及驱动抽湿机动作的程序.实验表明,所设计的系统可以正常工作,系统运行状态良好.     

基于静电传感的航空发动机气路监测

针对航空发动机气路部件需要实时在线监测的要求,提出了基于静电感应的状态监测方法. 分析了气路颗粒的荷电机理和静电传感器原理,用静电传感器对气路中出现异常碳烟颗粒和金属颗粒的情况进行了模拟监测. 结果表明,静电传感器能有效监测到异常碳烟颗粒和金属颗粒引起的气路静电荷水平变化,验证了该传感器用于气路状态监测的有效性,为进一步研究机载化发动机气路静电监测提供了依据.