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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法:热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。 C V D 金刚石膜的应用。 相似文献
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】 介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。CVD金刚石膜的应用。 相似文献
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本文综述了等离子体化学气相沉积(PCVD)技术的发展现状,并从等离子体对化学气相沉积(CVD)过程的影响出发概述了 PCVD 技术在制备固态涂层或薄膜方面的一些典型应用.最后展望了 PCVD 技术的发展前景. 相似文献
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电热化学发射技术的研究进展--弹道国防科技重点实验室新概念研究10年 总被引:1,自引:0,他引:1
李鸿志 《南京理工大学学报(自然科学版)》2003,27(5):449-465
介绍弹道国防科技重点实验室10年来在电热化学(ETC)发射技术领域的研究进展。涉及技术基础(脉冲电源、成形网络PFN、测控技术)、原理研究(等离子体发生器及等离子体与含能工质相互作用机理、模拟方法)和系统集成等方面的研究结果,预示了电热发射技术的应用前景。 相似文献
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等离子体理论及其应用研究 总被引:3,自引:0,他引:3
柳纳生 《青海师范大学学报(自然科学版)》2003,(3):40-42
本文研究了等离子体化学理论及其在无机合成、化学气相沉积陶瓷薄膜、高分子材料变性等方面的应用。促使这种新理论用于化学反应。 相似文献
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建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统,并对该系统的工作性能进行了研究. 相似文献
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聚四氟乙烯结构氟碳聚合物(Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon,PTFE-like FC)薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性等优点.综述了国外制备PTFE-like FC薄膜的实验进展,分析了PTFE-like FC薄膜可能的沉积机理,指出热丝化学气相沉积(HFCVD)和射频等离子体辅助的化学气相沉积(rf-PECVD)这2种方法更有利于减少离子对薄膜表面的轰击作用,被认为是目前沉积PTFE-like FC薄膜最好的2种方法.介绍了利用介质阻挡放电(DBD)方法在低气压下制备PTFE-like FC薄膜的最新进展. 相似文献
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研究了直流脉冲等离子体进行PEOMCVD(等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积)淀积含钛多组元化合物硬质膜的新工艺。对试样进行了显微硬度、涂层厚度、表面结构及膜的元素成份分析。 相似文献
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研究了磁等离子体化学气相沉积的不同工艺条件对SnO2薄膜导电性的影响.实验结果表明,外加适当位形、大小的纵向磁镜场,可使等离子体化学气相沉积技术中制备SnO2薄膜所需的氧气流量降低,沉积时间缩短,且制得的薄膜电阻大大降低,轴向分布均匀性明显增强.对以上结果进行了分析和讨论. 相似文献
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