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多晶3C-SiC薄层的淀积生长及结构性能分析 总被引:1,自引:0,他引:1
采用HFCVD生长法,以较低生长温度,在Si(111)衬底上淀积3C-SiC(111)薄层。用XRD、VASE、XPS等分析手段研究了薄层的结构、光学常数、组分及化学键等性能。XRD显示薄层具有明显的择优取向特征。VASE测量出薄层的折射率为2.686,光学常数随深度的变化曲线反映出薄层的多层结构。XPS深度剖面曲线表明薄层中Si/C原子比符合SiC的理想化学计量比,其能谱证明C1s与Si2p成键形成具有闪锌矿结构的3C-SiC。 相似文献
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利用流态化化学气相淀积(CVD)制备Al2O3-SnO2复合粒子。探讨了SnO2在Al2O3超细颗粒上的包敷状态,考察了反应温度,反应物进料逍度比,反应时间等对反应结果的影响。结果表明,SnO2在复合粒子团聚体体相中呈均匀分布,形成Al2O3-SnO2复合粒子,SnO2均匀淀积在Al2O3超细颗粒原生粒子表面,流态化CVD包敷效果优于非流化过程,随反应时间的延长,产物中SnO2含量线性递增;而当反 相似文献
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报道了利用准分子脉冲激光淀积技术在(001)和(012)蓝宝石衬底上制备LiTaO3光波导薄膜的实验研究。利用X光衍射和Raman光谱术鉴定所生长薄膜的微结构,研究了脉冲能量、衬底温度、氧分压和淀积室几何等因素对薄膜质量的影响。结果表明脉冲能量和衬底温度对薄膜生长的择优取向有很大影响,而氧分压和淀积室的几何配置主要影响薄膜的生长动力学。在合适的工艺条件下制备了优质的外延膜,薄膜显示了优异的光波导性 相似文献
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本文采用阴极电淀积法在镀Ni黄铜衬底上制备CdSe_xTe_(1-x)多晶半导体薄脱。用X射线衍射仪和X射线能谱分析仪,对淀积物的相结构和成分作了分析和测定。由此可肯定淀积物具有立方闪锌矿结构,它实际上是由结构相同的CdSe和CdTe组成的两相混合物。同时也指出在淀积层中还含有相当数量的游离镉金属。 相似文献
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研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100~250℃。 相似文献
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利用流态化化学气相淀积(CVD)制备Al_2O_3-SnO_2复合粒子。探讨了SnO_2在Al_2O_3超细颗粒上的包敷状态,考察了反应温度、反应物进料浓度比、反应时间等对反应结果的影响。结果表明,SnO_2在复合粒子团聚体体相中呈均匀分布,形成Al_2O_3-SnO_2复合粒子,SnO_2均匀淀积在Al_2O_3超细颗粒原生粒子表面,流态化CVD包敷效果优于非流化过程;随反应时间的延长,产物中SnO_2含量线性递增;而当反应温度高于300℃,反应物H_2O和SnCl_4配比大于4:1时,SnO_2含量基本保持不变。 相似文献
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利用化学气相淀积(CVD)技术,在700~1000℃下合成了AlN超细粒子,研究了操作参数对粒子特性和AlN薄膜生长规律的影响。AlN超细粒子表面形态和反应温度、AlCl_3浓度等有关,其粒度及分布宽度随反应温度的升高、AlCl_3浓度减小和总流量增加而减小,AlN薄膜生长速率随反应温度的减小和总流量的增加而增大。在AlCl_3和NH_3的CVD反应中出现中间产物Al(NH_2)_3和Al_2(NH)_3,它们促使了粒子的形成和薄膜的生长。 相似文献
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通过对ZnO/Si(111)样品的椭偏仪及背散射(RBS)测量及分析,探究了氧离子束辅助(O^ -assisted)脉冲激光淀积(PLD)生长ZnO/Si的薄膜厚度。 相似文献
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考虑轴向温度分布和浓度分布,建立了热化学气相淀积反应器中描述粒子粒度及分布的一维反应-凝并模型。研究了AlCl_3-NH_3-N_2体系物系参数和操作参数对AlN超细粒子粒度及分布的影响。温度通过改变反应速率、气体粘度和平均分子自由程等影响AlN粒子的合成,并存在最佳温度分布;随停留时间的增加,AlN粒子粒度增大,几何标准方差GSD减小;反应物浓度升高时,AlN粒子粒度增大,但GSD变化不大。模型化研究结果和实验结果相一致。 相似文献
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通过X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析。结果表明:用该法可生长出正化学比的纯ZnO相,脉冲激光淀积(PLD)法生长ZnO/Si样品时氧离子束辅助(O^ -assisted)是必要的。 相似文献
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将单分散气溶胶的凝并-生长模型和高温均相反应动力学结合起来,着眼于产物性能,提出CVD反应器中超细粒子形成过程的物理模型,建立了表征粒子粒度和粒度分布的反应-凝并数学模型。利用该模型探讨了操作参数和物系参数对柱子粒度和粒度分布的影响,模型化研究结果和实验结果相一致。 相似文献
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La掺杂BaTiO3陶瓷的制备与性质(Ⅰ)--非均匀形核表面淀积包覆法 总被引:1,自引:0,他引:1
以La(NO3)3为La源,采用非均匀形核淀积法在水热法合成的BaTiO3粉体表面包覆La(OH)3.根据溶度积理论计算非均匀形核淀积包覆工艺的pH值,并通过控制溶液的pH值,获得化学计量配比(Ba1-3x/2/Lax)TiO3的La表面包覆BaTiO3粉体和陶瓷.文中讨论了La包覆量对已包覆了SiO3的BaTiO3粉体的烧结特性、相结构、陶瓷电阻率、介电系数-温度特性的影响.实验结果表明:采用非均匀形核淀积包覆方法,容易获得均相、化学计量比的La改性BaTiO3陶瓷;随着La2O3掺杂量的增加,BaTiO3陶瓷的居里温度向低温方向移动,居里温度与La2O3掺杂量之间呈线性关系;而使BaTiO3陶瓷半导化所需要的La的掺杂量较采用氧化物固相反应法的高。 相似文献
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把在求解不可压N-S方程上获得很大成功的Fourier拟谱方法推广到求解速度和温度交连的N-S方程组,并用于晶体生长的化学气相淀积复杂输运过程的数值模拟.结果令人满意.说明了该方法在求解复杂流动问题中有广泛的应用前景。 相似文献
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运用密度泛函理论的超软赝势平面波方法对3C SiC晶体结构进行了几何优化,得到与实验值相符的晶格参数,在压强为0~100GPa范围内对3C SiC的电子结构与弹性进行了计算,结果表明晶体结构是稳定的,且带隙随着压强的增大而减小。然后利用准谐德拜模型研究了3C SiC在温度为0~2100K、压强为0~100GPa范围内的热力学性质,结果表明其等容热容、热膨胀系数及熵函数都随温度的升高而增大,随压强的增大而减小,而德拜温度随温度的升高而减小,随压强的增大而增大。 相似文献
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运用固体与分子经验电子理论计算了几种过渡族金属碳化物的价电子结构 ,发现碳化物的主要价电子结构参数主键键能与碳化物的熔点、硬度及生成焓之间存在着很好的相关性 相似文献
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日本血吸虫天然抗病分子疫苗的结构与功能分析 Ⅱ.SIEA 28kDa分子的高效液相色谱分离及薄层等电聚焦分析 总被引:3,自引:0,他引:3
采用高效液相离子交换法对电泳纯SIEA28kDa抗原组分进一步分离纯化。对获得的色谱纯SIEA28kDa抗原分子进行薄层等电聚焦分析,测定其等电点。结果证明电泳纯SIEA28kDa抗原分子经高效液相离子交换法纯化后,280nm,220nm波长色谱图均为一个两侧对称,光滑的高峰曲线,色谱洗脱液对其免疫活性光密度图也为一个两侧对称,光滑的高峰曲线,色谱纯化证明SIEA28kDa抗原组分可能为单一分子,其等电点范围在pi5-pI7之间。 相似文献
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《兰州理工大学学报》2001,27(3):11-14
运用固体与分子经验电子理论计算了几种过渡族金属碳化物的价电子结构,发现碳化物的主要价电子结构参数主键键能与碳化物的熔点、硬度及生成焓之间存在着很好的相关性. 相似文献