等离子体去胶试验

目前制造集成电路,一般采用化学方法以去除光刻胶。这种方法需要热硫酸,发烟硝酸。丙酮等化学流剂浸泡,还要用棉花拭擦。这样不但酸雾及废液带来公害,而且还会影响器件的质量。为了改革集成电路研究室现用的化学方法,我们工农兵学员科研小组接受了这一任务,参考上海半导体器件研究所等离子去胶会战小组试制的去胶设备进行试验,结果初步证明是可行的。现将试验情况介绍如下。     

大气腐蚀锈层的电感耦合等离子体光谱研究

概述了电感耦合等离子体光谱法的特点,并运用该光谱法对青岛和成都两地的大气腐蚀锈层样品进行了比较测试,得出了锈层中各元素的相对含量及其随腐蚀环境和时间的变化情况．     

滑动弧等离子体降解染料废水及电极腐蚀机理

采用气液两相滑动弧等离子体工艺降解酸性橙Ⅱ废水,研究了放电电压、电极材料、溶液初始pH值和电导率对其降解率的影响。运用GC-MS方法,测定3种气氛下染料的降解产物。根据扫描电镜(SEM)和能谱(EDX)结果,分析电极上脱落的金属废片。结果表明:当氧气流速为0.4m3/h,废水流量为20mL/min,电极间最窄处距离为3.5mm,溶液初始浓度为300mg/L时,放电电压升高,降解率增大,综合考虑能量效率电压选择10kV;以不锈钢为电极时,体系中形成Fenton效应,污染物降解效果最好。初始pH为2～11的酸性橙Ⅱ溶液,经滑动弧放电循环降解一次的溶液,降解率差别较明显,中性条件下最差;强酸和强碱条件下,降解率较高;但4次循环降解后,pH影响不再明显。电导率对溶液降解率的影响不大。3种气氛下,自由基攻击发色基团,苯环、萘环开环,染料脱色,生成中间体和小分子化合物。电极腐蚀主要集中在非平衡等离子区,Fe原子发生选择性溶解;氧元素的含量很高,腐蚀产物主要由Fe2O3和Fe3O4组成。     

SO2,NO等离子体净化中自由基行为的分析

建立一个简单而合理的化学反应模型，对等离子体条件下活性自由基在ＳＯ２和ＮＯ净化中的行为和作用进行化学动力学分析。结果表明，ＯＨ，Ｏ和ＨＯ２基在ＳＯ２和ＮＯ气相氧化脱除中起主导作用，在整个净化机制中，气相反应的贡献仅占２０％左右；气溶胶表面的催化作用加强了ＳＯ２和ＮＯ的氧化速度，异相反应对ＳＯ２和ＮＯ净化有重要贡献，一个气溶胶可提供１０＾７ｃｍ＾－３的自由基。动力学模拟结果与实验结果定性相符。动力学     

由水—丙酮体系射频等离子体产生的自由基的浓度的测定

用自由基捕捉剂１，１－二苯基－２－三硝基苯肼（ＤＰＰＨ）对等离子体引发水溶液体系聚合时体系中的自由基浓度进行了测定．发现在等离子体引发水溶液聚合体系中，自由基浓度随放电功率，放电时间的增加而增加，而且当体系中加入单体后，在同样的条件下体系中的自由基浓度比未加单体时的浓度高．     

经硅等离子体注入的纯镁电化学腐蚀性能的研究

优越的力学性能,理想的生物相容性和独特的降解特性使镁及其合金成为革命性的金属生物材料,但耐蚀性差限制了其应用潜力的发挥,为此提高其耐腐蚀性成为重要的研究课题.等离子体注入是既有效又方便的表面改性技术.本文对纯镁进行硅等离子体注入表面改性,通过光电子能谱检测硅元素注入深度和化合价态,并使用动电位极化测试和交流阻抗谱评价处理前后样品在模拟体液中的腐蚀行为.实验结果表明,经硅等离子体注入的纯镁表面形成一层由二氧化硅和氧化镁组成的复合氧化膜.在电化学测试中,处理后的样品呈现较高的腐蚀电位和较低的腐蚀电流,容抗环明显增大.这些结论均表明硅注入后在纯镁表面形成的复合氧化膜减缓了腐蚀速率,提高了耐腐蚀性能.     

甲烷在直流放电等离子体中形成自由基研究

采用发射光谱分析法对直流辉光放电等离子体裂解甲烷所产生的自由基H·(656.3nm),CH3·(724.6nm),CH2·(341.9nm)及CH·(431.42nm)的发射光谱强度进行了在线测量和分析描述.结果表明:在甲烷等离子体空间存在激发态的甲基、亚甲基、次甲基、氢自由基,各自由基的形成规律具有相似性,即其光谱强度都有一个开始时大幅上升,达到峰值后下降或稳定,最后伴有强度的小波动逐渐进入准动态平衡过程,但各自由基的成分比例在放电的不同时间是不同的,且随放电条件而异;各自由基的形成规律受进料量(气压)的影响是不同的.     

低温等离子体处理羊毛和棉纤维的电子自旋共振法研究

用电子自旋共振（ＥＳＲ）方法研究经氧、氮、氩、氢、一氧化碳及四氟甲烷气体低温等离子体处理的羊毛和棉纤维的自由基。结果表明低温等离子体反应在纤维基质中生成自由基，自由基的强度与纤维基质、微观结构、等离子体气体种类以及处理条件有关。考察了自由基的热稳定性和经时变化。     

Mo,Ti离子注入不锈钢耐水溶液腐蚀改性研究

用电化学测试和俄歇电子能谱分析研究了离子注入不同剂量的Ｍｏ、Ｔｉ对３０４Ｌ奥氏体不锈钢在Ｈ２ＳＯ４、ＮａＣｌ水溶液中的腐蚀行为。结果表明：注入Ｍｏ、Ｔｉ可使不锈钢的耐水溶液腐蚀性能提高，并改善材料的钝性和耐小孔腐蚀能力；在腐蚀过程中，注入元素在膜中富集，膜中Ｃｒ／Ｆｅ比值提高，从而达到耐蚀性能改善之目的；在适当的注入剂量下，可获得最佳的耐蚀改性效果。     

SO_2,NO 等离子体净化中自由基行为的分析

建立一个简单而合理的化学反应模型，对等离子体条件下活性自由基在ＳＯ２和ＮＯ净化中的行为和作用进行化学动力学分析．结果表明，ＯＨ，Ｏ和ＨＯ２基在ＳＯ２和ＮＯ气相氧化脱除中起主导作用，在整个净化机制中，气相反应的贡献仅占２０％左右；气溶胶表面的催化作用加强了ＳＯ２和ＮＯ的氧化速度，异相反应对ＳＯ２和ＮＯ净化有重要贡献，一个气溶胶可提供１０７ｃｍ－３的自由基．动力学模拟结果与实验结果定性相符．动力学研究结果为等离子体过程的优化提供依据     

Effect of Plasma Etching on Wicking Property of Polypropylene Fiber

Plasma etching technology is used to treat Polypropylene fiber with different fineness. The result shows that the plasma etching treatment is useful to improve the wicking property of polypropylene, although too much time of treatment may be converse to the wicking property. A surface roughness theory is applied to explain the reason why the plasma can improve the wicking property. In this experiment, fibers with different treating time under certain voltage (180 V) and pressure(0.1 mm Hg)are used as experimental sample.     

常压射流等离子体处理PET膜诱导自由基研究

为了考察常压射流等离子体(APPJ)处理对PET膜表面诱导自由基及其引发接枝共聚反应的效能,采用电子自旋共振技术(ESR)对APPJ处理前后PET膜表面生成的自由基及其衰变行为进行测试分析,并与接枝率测试结果进行对比。结果表明:纯He气体的APPJ处理更易引发PET膜表面生成自由基,处理时间越长,膜表面自由基浓度越高,自由基产物的稳定性受存储条件影响显著,自由基浓度越高的样品对应的接枝率也越高。     

老年痴呆症的病因学研究进展

老年痴呆症是一种病因未明的神经退行性疾病。病因研究表明，老年痴呆症的发病可能与脑胆碱能功能丧失，炎症过程、自由基、细胞因子等多种因素有关。     

银耳多糖的提取及其清除自由基作用

讨论了采用热水提取、乙醇沉淀、sevag法获得银耳多糖的方法.并在体外化学模拟系统反应中,观察该多糖消除羟自由基、超氧阴离子自由基以及防止油脂质氧化的性能.试验表明:银耳多糖清除羟自由基的作用明显,50%清除量为0.112 mg/m l,对超氧自由基的清除能力随着多糖浓度而升高,50%清除量为0.264 mg/m l,油脂抗氧化性能介于VE和VC之间.     

等离子体流动控制技术研究进展

基于等离子体气动激励的等离子体流动控制技术,可显著改善飞行器/动力装置的气动特性,已成为国际上空气动力学和气动热力学领域的研究前沿。简要介绍国外等离子体流动控制研究的重要进展,主要介绍国内在等离子体冲击波流动控制理论、等离子体气动激励特性、等离子体气动激励扩大压气机稳定性、等离子体气动激励减弱超/高超声速激波强度等方面的研究进展,并指出了未来发展需要解决的重大问题。     

基于化学平衡的等离子体助燃计算与分析

研究了非平衡等离子体助燃的机理,并用最小Gibbs自由能理论对注入粒子后甲烷的燃烧进行了计算。对注入不同量粒子后燃烧温度和燃烧产物的分析证明,等离子体所具有的化学动力学特性可以加快反应的进行,增加燃烧温度和降低燃烧污染物的排出,从而验证了等离子体在航空发动机燃烧室中助燃的可行性。     

稳定自由基Galvinoxylg值的测定

本文用ＥＳＲ－３型波谱仪测定了由作者合成的稳定自由基Ｇａｌｖｉｎｏｘｙｌ的ｇ值其测定结果比文献中Ｃｏｐｐｉｎｇｅｒ给出ｇ值为２的结果更精确。     

运动干预癌症的自由基机制研究进展

在总结国内外相关研究的基础上,论述了自由基代谢在运动对癌症发生、进展中的作用及其可能机制,认为运动通过增强清除自由基能力和适应、耐受氧化损伤能力,调节DNA和重要生命物质的修复过程而干预癌症的发生和进展,并因运动要素和组织类型而存在差异。在此基础上指出了存在的问题和今后可能的研究方向。