等离子体工业的崛起与发展

等离子体工业的崛起与发展ＲｉｓｅａｎｄＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＰｌａｓｍａＩｎｄｕｓｔｒｙ￥／／马振国（清华大学电机系，北京１０００８４）一、等离子体技术的研究进展等离子体是由大量相互作用但仍处在非束缚状态下的带电粒子组成的宏观体系，是和固态、液态...     

半导体桥等离子体的光学诊断

为了克服半导体桥(SCB)等离子体尺寸小、存在时间短的局限性问题,用发射光谱法和增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了SCB等离子体的特性.原子发射光谱表明SCB等离子体成分包括铝原子、铁原子、铜原子、铜离子、硅原子和硅离子.根据Stark展宽法,用AlⅠ 394.40nm计算等离子体的电子密度为1016cm-3.等离子体尺寸约为500～2 000 μm.在延时为1μs时刻,等离子体径向速度约为1 km/s,轴向约为0.7 km/s,在5μs时降到最小.研究结果为优化桥体设计和改善装药条件等研究提供了依据.该方法提供了一种瞬态小尺寸等离子体的诊断途径.     

外磁场作用下的射频等离子体鞘层

采用流体近似和迁移－扩散近似分别研究了外磁场作用下射频等离子体的离子和电子动力学。特别指出了外磁场对鞘层中离子通量和能量分布的支配作用。     

等离子体腐蚀去胶的探讨

首先介绍等离子体腐蚀与采用湿法腐蚀相比所具有的优点,并且在简化工艺流程和缩短工艺周期方面作出细致的说明;对氧气流量为0．05L／min～0．5L／min时腐蚀光刻胶的整个过程中的腐蚀现象进行了描述,绘制出了腐蚀速率曲线图,并进行了理论分析。     

非均匀等离子体中的Zakharov方程

从基本的双流模型出发，通过在电子流体运动方程中引入碰撞阻尼项，在考虑驱动力场影响后导出一组方程，并在方程把线性和非线性Ｌａｎｄａｕ阻尼的影响考虑进去，得到非均匀等离子体中修正的Ｚａｋｈａｒｏｖ方程并说明了它的适用条件。     

相对论各向同性磁化等离子体的格林函数

磁化等离子体二体关联方程的格林函数中包含的色散函数为３×３矩阵，这对实际问题的计算和分析带来了显的复杂性，当动量分布函数各向同性时，情况将大为简化，本导出了格林函数的解析表式。     

在电弧不稳定性研究中一类方程的解

用级数展开法给出了电弧等离子体柱螺旋不稳定性研究中出现的一类方程的精确解。对具有各种非齐次项的情况求得了解析解。对弧柱内外相应的方程求得了方便计算的求解公式。     

毛细管消融等离子体及其射流压力特性研究

为研究消融等离子体及其射流在点火和增强火药的燃烧效应时对电热发射内弹道过程的影响,通过实验得到了毛细管内消融等离子体及其射流压力随时间的变化规律,并对脉冲等离子体射流产生的推力进行了初步测试,采用推力计算公式结合等离子体射流的动力学参数对射流的推力进行了计算.实验结果表明:毛细管内消融等离子体及其射流的压力幅值取决于放电能量,射流的压力相对毛细管内等离子体的压力有一定的滞后,并且耗散得更快;脉冲射流产生的推力具有冲击震荡效应,其最大值和射流压力基本同步;利用推力计算公式得到的推力和实验结果具有一致性.     

DCPJ—CVD等离子体炬通道中的电弧行为

运用电磁学和热流体学的方法研究了直流大阳极喷嘴长电弧通道等离子体炬中电弧的行为，并通过实验证明了温度梯度与电场梯度作用于流体时所产生的特殊现象，结果表明：电弧弧柱的高温效应剧烈排斥冷气流的混入，使ＣＶＤ过程受到抑制，新产生的胶体粒子在热泳现象作用下逐渐沉积于通道内壁上，改变不同气体的进气位置以及减小温度与电场梯度并增设径向旋转磁场，可有铲地解决上述问题。     

非均匀等离子体中Langmuir孤子的传播

利用矩方法对非均匀等离子体中修正的Ｚａｋｈａｒｏｖ方程进行了求解，得到了孤子解，并讨论了各种阻尼对孤子运动的影响。同时考虑各种扰动的影响后，得出了一个关于孤子运动变化的新特征。     

等离子体中高频场对电导率的影响

该文详细探讨了等离子体的电导率在高频调制场的作用下，产生反常电阻的情况，通过求解双流体方程组和Ｚａｋｈａｒｏｖ方程得到了电导率的解析表示。     

等离子体显示技术在大屏幕电视中的应用

随着低压寻址技术的发展以及驱动电路集成化的提高及全色图象技术的进步,等离子体显示器制造技术已在新一代薄型壁挂式电视中崭露头角.目前,全色平板式显示技术唯一商业化的应用是液晶显示技术(LCD).利用薄膜晶体管的排列来控制液晶材质晶向的AM-LCD可提供全运动彩色视频信号所需的响应时间和色饱和度.AM—LCD技术最初是用于2英寸和3英寸便携式电视显示.之后,生产厂商又为计算机开发了9.5英寸和10.5英寸的显示器,现在又开始生产12英寸显示器.     

直流电弧等离子体对超微粉制备的影响

介绍了利用直流电弧等离子体制备金属超微粉的研究结果，说明在Ａｒ＋Ｈ２混合气氛中所制备的金属超微粉，其产率和尺寸不仅随金属特性不同而改变，同时也被气氛中Ｈ２含量多少所影响。     

高频放电等离子体处理及测试实验装置研制

介绍了自行研制的高频放电等离子体处理及测试实验装置。该装置可用于高频等离子体对固体材料表面处理及处理过程的动态测试,其中包括等离子体参数测试、质谱分析、FTIR测试和ESR测试。     

等离子体技术在军事和航天领域的应用

目前,等离子体技术发展方兴未艾,在工业和家电领域已经得到了广泛应用,在军事和航天领域的也有着广泛的应用前景。本文跟踪等离子体技术发展动态,详细介绍了等离子体技术在军事和航天领域的发展概况和应用前景。     

微波ECR等离子体参数测量及分析

利用双探针测试了微波ＥＣＲ等离子体参数，发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度，等离子体参数受气压影响亦很大。测量结果与理论分析一致。     

磁化等离子体密度及其分布对飞行器隐身的影响

本文研究了磁化等离子体中等离子体密度分布对飞行器隐身的影响，并举例说明了三种不同的密度分布在高频，甚高频以及超高频段对飞行目标的影响，得到飞行器的最佳隐身必须选取适当的分布．     

伴燃等离子体射流的计算公式

从等离子体的基本方程出发，提出了煤粉锅炉点火与伴燃用等离子体射流的计算公式。本文的结果为进一步进行等离子体点火装置的优化设计及结构分析提供了新的手段。     

冷等离子体冶金中的粒子输运现象研究

介绍了冷等离子体冶金效应的实验方法和结果,列出了反应粒子的输运方程,较详细地分析了它们之间的耦合关系,在讨论了输运方程的求解过程中,证明各种粒子的输运速率是与提效果紧密相关的。提供了对硅的提纯结果和工艺参数,列出了氯原子的输运速率和硅粉温度关系的计算结果。     

大气压脉冲放电等离子体的研究现状与展望

近年来,大气压脉冲放电等离子体研究受到了人们的格外关注.研究表明与交流驱动相比,脉冲放电产生大气压等离子体具有许多优势,如它的VUV、氧原子、及臭氧的产生效率高;峰值电流密度、电子密度、及电子产生效率也更高;在对介质表面处理时能达到更好的处理效果和更高的效率;还更易产生均匀的大面积等离子体;所产生等离子体的非平衡性更高;灭菌效果也更好等优点.但是,对于脉冲放电的放电机理,放电模式,及脉冲参数(上升沿和下降沿、重复频率、脉冲宽度等)对放电效果的影响,现在的研究还非常有限,且很零散.这一方面是由于大气压放电诊断本身就很困难,另一方面,由于脉冲放电快速的时空演化过程进一步加大了对其诊断的难度.再者,对其研究还受到脉冲电源参数的限制.本文对国际上大气压脉冲放电等离子体最新研究的代表性研究成果做了一个综述,并对今后的研究方向提出了几点建议.