分段隧道式循环热风石英坩埚干燥系统

本文介绍了一种隧道式石英坩埚干燥系统,采用循环热风进行加热,可以实现程序分段控温,使清洗后的石英坩埚分别经过低温干燥、中温干燥和高温干燥,从而使石英坩埚逐步加热到后续工序的生产要求。     

铸造多晶硅生长过程中氧的传递过程研究

定向凝固法生长铸造多晶硅系统中,氧的平衡涉及到三个界面,它们是坩埚与熔体界面、熔体与气相界面以及晶体与熔体界面。因此氧的传递包含可能的三个过程:(1)氧从坩埚中向硅熔体中进行扩散;(2)氧的分凝导致氧从熔体中进入凝固的晶体中;(3)氧在熔体表面以SiO的形式挥发。     

铝分层诱导晶化非晶硅的研究

铝诱导晶化(AIC)法是一种低成本、低温制备高质量多晶硅薄膜的方法.采用磁控溅射和自然氧化法在石英衬底上生长铝/三氧化二铝/非晶硅结构的材料,然后进行低温(低于硅铝共熔温度577℃)退火处理.通过共焦显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)和X射线衍射(XRD)手段进行表征.结果表明,退火后薄膜分为两层,上层是铝、非晶硅和多晶硅的连续混合膜,随退火时间增加,上层晶化率快速增加;下层形成了完全晶化的大尺寸多晶硅晶粒,晶粒结晶质量接近单晶硅;增加退火时间,下层晶粒增长很缓慢;降低退火温度,下层晶粒尺寸明显增大;形成的多晶硅薄膜均具有高度(111)择优取向.并且,进一步地对上述退火过程中样品的变化行为作出分析.     

掺铝P型单晶硅尾料真空冶炼提纯研究

利用真空蒸发和定向凝固技术去除掺铝P型单晶硅尾料中铝杂质的方法,通过晶相仪、EBSD和ICP-AES检测,被证实是非常有效的.铝含量检测结果表明:提纯后的铝含量沿多晶硅铸锭纵向由下到上逐渐增高,且总量较提纯前有较大幅度的降低.     

定向凝固制备多晶硅柱状晶的研究

为了控制定向凝固过程中柱状晶的稳定生长,结合真空定向凝固技术,在一定的工艺参数下,利用真空定向凝固设备成功制备出具有单向凝固组织的多晶硅材料,通过对制备的多晶硅锭从纵截面和不同位置横截面的微观组织进行研究,分析得出了定向凝固过程中多晶硅垂直于底部的柱状晶和大晶粒形成的最佳工艺参数,通过X射线衍射检测,显示晶体择优取向为<111>面,文章还利用晶粒淘汰机制和柱状晶合并机制合理解释柱状晶体长大过程.     

电弧等离子体冶炼提纯工业硅(英文)

开发了一种把电弧等离子体冶炼和电磁感应搅拌熔体相联合的在高纯石墨坩埚内冶炼提纯工业硅的硅冶炼提纯技术.掺入到电弧等离子体工作气体流中的反应性气体在硅熔体液面处与杂质反应生成挥发性杂质化合物.工业硅中难去除的杂质是B,P和Al.用由水蒸气构成的反应性气体精炼熔融态工业硅来降低其中B和P的含量,随后定向凝固移除其他杂质.用此方法冶炼处理工业硅,其中的B,P,Al,Fe,Ti,Ca和Cu的含量从7.67,73,1931,2845,166,235和56mg/kg分别降低到5.85,29,202,676,36,89和9mg/kg.硅的纯度由原来的99.46%提纯高到99.93%.     

基于RS485总线的坩埚液位控制系统

目前,坩埚法拉丝在玻璃纤维的生产工艺中得到了广泛的应用.坩埚内玻璃液的液位是影响玻璃纤维质量好坏的关键因素之一.为了更好的检测和控制坩埚内玻璃液的液位,保证玻璃纤维的生产质量,介绍一种基于RS485总线的坩埚液位控制系统.该系统采用上位机和下位机的结构,两者通过RS485总线连接.     

铝电解用SiC-Si_3N_4绝缘侧壁材料耐腐蚀性能测试方法

研究了氮化硅结合碳化硅材料耐腐蚀性能的测试方法.这种方法是在冰晶石-氧化铝熔盐体系中通入二氧化碳气体来模拟实际电解过程中电解槽内部的工作状态.试样置于盛有高温熔盐的石墨坩埚中,二氧化碳气体的通入造成试样的动态腐蚀,测定电解质和二氧化碳气体共侵蚀作用下的试样体积变化率.与静态电解质腐蚀方法所得实验数据比较,试样腐蚀程度高很多,说明二氧化碳气体对试样的耐腐蚀性能影响很大.应用该方法对三个不同厂家所生产的氮化硅结合碳化硅材料进行动态腐蚀测试,并采用该方法制定的测试标准对试样的耐腐蚀性能进行评价.结果表明,该测试方法简单,易操作,且能够真实模拟电解槽内衬材料在铝电解槽中的腐蚀状态,并且对于试样的性能有...     

氟油(掺氧)等离子蚀刻多晶硅、氮化硅

本文介绍了氟油(掺氧)等离子蚀刻多晶硅、氮化硅的实验装置及工艺参数;讨论了高频功率、电极形状、源瓶结构、蚀刻过程产生淀积物的处理以及系统气密性对蚀刻质量的影响.同时,从自由基理论出发,提出了氟油(掺氧)等离子蚀刻多晶硅、氮化硅的机理,并应用此机理对功率、氟油流量、氟油和氧气的比例与蚀刻速度的关系进行了理论解释.     

铝电解用SiO-Si3N4绝缘侧壁材料耐腐蚀性能测试方法

研究了氮化硅结合碳化硅材料耐腐蚀性能的测试方法.这种方法是在冰晶石-氧化铝熔盐体系中通入二氧化碳气体来模拟实际电解过程中电解槽内部的工作状态.试样置于盛有高温熔盐的石墨坩埚中.二氧化碳气体的通入造成试样的动态腐蚀,测定电解质和二氧化碳气体共侵蚀作用下的试样体积变化率.与静态电解质腐蚀方法所得实验数据比较,试样腐蚀程度高很多,说明二氧化碳气体对试样的耐腐蚀性能影响很大.应用该方法对三个不同厂家所生产的氮化硅结合碳化硅材料进行动态腐蚀测试,并采用该方法制定的测试标准对试样的耐腐蚀性能进行评价.结果表明,该测试方法简单,易操作,且能够真实模拟电解槽内衬材料在铝电解槽中的腐蚀状态,并且对于试样的性能有较好的评价.     

无接触熔炼电磁约束压强计算及熔体外形确定

在对高导电率材料提纯过程中引入无接触电磁约束熔炼技术,可以避免熔体与坩埚接触,有效地阻止坩埚带来的杂质污染.从熔体局部径向压强平衡方程出发,提出电磁约束压强的概念和计算方法,通过模拟计算确定熔体外部形状.使用自制水冷铜坩埚,以铝为原料,在大气条件下实现了无接触电磁约束熔炼实验.结果表明被约束的熔体外部形状与计算结果相符,说明所提出电磁约束压强的计算方法是正确的.     

p-Si TFT的电场增强MILC制备技术

采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,并采用该工艺制备了p沟道薄膜晶体管器件,其迁移率为65cm2/(V·s),开关态电流比为5×106.采用拉曼光谱分析、X射线衍射、扫描电镜等微观分析手段对多晶硅薄膜进行了分析,结果表明加电场于两电极之间有促进多晶硅薄膜晶化的作用.采用EFE-MILC技术获得了大的晶粒尺寸,并用此技术制备了p沟多晶硅TFT.表明EFE-MILC技术是在低温下获得大晶粒尺寸p-Si薄膜和高性能p-SiTFT的好方法.     

表面改性对氮化硅粉体及其涂层影响的研究

采用正硅酸乙酯水解法在氮化硅粉体表面包覆二氧化硅进行表面改性,并用改性后的粉体在石英基体表面涂层,通过IR、TG-DTA、XRD等对其结果进行了表征,结果表明氮化硅粉体在硅溶胶中达到了良好的分散,且改性后的氮化硅粉体的抗氧性提高,烧结温度降低,且制得涂层表面光滑,附着力良好,与基体结合牢固.     

真空冶金法提纯锑掺杂单晶硅埚底料的实验研究

采用真空定向凝固技术,在不同真空定向凝固条件下,对拉制锑掺杂的单晶后的埚底料进行提纯并得到铸锭.对不同生长条件下铸锭的生长形貌进行分析.同时,通过ICP-AES测定了铸锭纵向的杂质元素的分布.结果表明,杂质Sb从底端到中上端由于定向凝固的作用呈现浓度升高,从中上端到顶端由于真空蒸馏的作用呈现浓度降低.     

基于LabVIEW的多晶硅太阳能电池噪声精确测试方法

介绍了多晶硅太阳能电池的噪声测试方法,利用其噪声进行可靠性筛选,设计了一套完整的太阳能噪声测试系统,自动测量了太阳能电池噪声,详细研究了多晶硅太阳能电池噪声测试方法及过程.实验结果证明,运用噪声测试可以快速、准确、无损地对多晶硅太阳能电池进行可靠性筛选.     

硅单晶的杂质分布和坩埚沾污率

对于原材料含有多种杂质,石英坩埚对熔硅有沾污,晶体截面和坩埚截面并非常数的情况,分析和计算了拉硅单晶时熔体中杂质浓度的变化和单晶中的杂质分布。理论上必须同时考虑多种杂质的污沾、蒸发和分凝过程。实验测定了硅单晶中电阻率分布,与理论相符合。利用这里提出的分析方法,可以确定出石英坩埚的沾污率,并可粗略估计单晶中各种杂质的分布情况以及原材料所合杂质的情况。并且利用复拉单晶的办法,试验了几种测定坩埚沾污率的方法。各种方法所测得的坩埚沾污率值相近,为(1.0—1.5)×10~(11)硼原子/秒·厘米,相应的石英坩埚硼合量约为10~(-6)克硼/克石英。     

浅谈36对棒多晶硅还原炉电源系统及常见故障分析

多晶硅还原炉电源系统是多晶硅生产环节中及其重要的的电气设备,对于保证生产的顺利和产品的工艺要求,起到了至关重要的作用,本文结合我公司的实际情况,重点介绍一下还原炉的电源设备情况和常见的故障分析。     

准噶尔盆地东部石炭系巴塔玛依内山组火山岩气孔充填作用

通过薄片鉴定、电子探针、地质温度计、面孔率等手段对准噶尔盆地东部地区巴塔玛依内山组火山岩杏仁体进行研究。结果表明:火山岩内气孔充填物包括硅质、沸石、绿鳞石、绿泥石、皂石等,杏仁体充填以复成分为主,单成分少见,单成分杏仁体见硅质和绿鳞石杏仁体两种,复成分杏仁体包括石英→沸石、石英→绿泥石、石英→绿鳞石→皂石等10种;气孔内充填的绿泥石形成温度介于84.7～123.6℃,为低温充填,综合分析认为巴塔玛依内山组中基性火山岩气孔充填为后生流体沉淀结晶的结果;气孔充填使巴塔玛依内山组火山岩储层质量明显变差,约94.5%的原生气孔空间完全丧失;充填作用虽然使火山岩储集空间丧失,但是残存的杏仁体内孔、杏仁体收缩孔仍具有一定的储集能力,流体在气孔内沉淀结晶的同时,也伴随着火山岩溶蚀作用的进行,过程中产生的溶蚀孔也在一定程度上对气孔体积的减少起到补偿作用。     

自生复合高强度电车线的研究

电车线 (又称接触导线 )是电气化铁路接触的主要元件 .该 Cu- Cr二元合金系作为自生复合铜电车线基体合金 ,采用定向凝固连铸技术使其内部组织形成在铜基体相上分布呈链状 Cr相的自生复合显微组织结构 ,从而使材料既沿导电方向保持铜基体相导电基本特性 ,又获得强化相 Cr相的强化作用 .定向凝固连铸技术是在连铸技术基础上强化了结晶模热流控制 ,实现了结晶口处定向温度梯度场 ,从而将定向凝固与连铸有机结合起来 ,在实验室成功研制出自生复合电车线样品 ,为制备自生复合电车线提供了技术手段 .该实验室样品的综合性能指标 σ2b·σr,比国…     

提高太阳能电池板光电转化率的研究

文章论述了太阳能电池板的发电原理及如何应用其作为发电系统,提出了提高多晶硅太阳能电池板光能利用率的多种方法。本文重点讨论了如何使用追光系统来提高太阳能电池板光能利用率等方法。