分离式干涉镜的激光干涉仪测量系统分析

目前常用来测量长度的激光干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。最近出现了一些其它的测量系统,它们与激光干涉仪测量系统有着本质上的不同。本文研究了线性和直线度测量模式下分离式干涉镜的激光干涉仪测量系统的优点,并分析了电子靶标测量系统对测量精度的影响。     

激光反射镜薄膜散射的测量

为了测量激光反射镜薄膜的散射率，评定激光反射镜薄膜的光学性能，研制一种以球面反射镜为聚光元件和利用光电接收转换系统通过相对测量方法测量薄膜散射的装置。文章阐述这种激光反射镜薄膜散射测量装置的测量原理、结构和测量误差分析。实际测量结果表明，该装置的测量灵敏度优于４×１０－６，相对测量误差优于±１０％。     

激光测径仪测量阀类零件误差分析

精密测量是机械工业发展的基础和先决条件之一,而激光测量已经被广泛运用到精密运动控制系统当中,激光测量误差直接影响到产品的性能,该文从激光测径仪的测量原理、使用环境、温度以及工装方面分析测量误差产生的因素和影响。随着激光测量技术的使用,激光技术应用越来越广泛几乎涉及到当今科技的各个方面,如何在测量过程中避免和减小测量误差也成为了一个新的问题。该文仅以美国生产的Z-MIKE激光测径在使用过程中出现的测量误差进行原因分析,供大家参考借鉴。     

易变形件测量装置的研制

以夫琅和费衍射原理为依据，在实验的基础上，提出了用激光测量易变形件——薄壁套筒外径的新的读数方法。按本文提出的测量读数方法设计的激光测量易变形件、薄壁件尺寸的装置，具有结构简单、造价低廉、操作方便、测量结果可靠等优点。     

非正交系坐标测量系统

为在有限的空间内实现具有特殊要求的球壳类工件的自动非接触测量，将机器人技术与激光非接触测量技术相结合，研制了一种新型的非接触式非正交系坐标测量系统。该系统以串联机械手作为测量主体，采用激光位移传感器和CCD摄像头进行非接触测量，可实现球壳类及回转类工件的几何尺寸和表面缺陷的非接触高精度测量。实验数据表明该测量系统已经达到较高的测量精度。     

激光在易变形件尺寸测量中的应用

对于弹性件、薄壁件等易变形件尺寸的测量，常规的测量方法存在测量时间长、人为主观误差较大、自动化程度低等不足。本文以密封圈内、外径的测量为例，介绍用激光测量弹性件、薄壁件等易变形件尺寸的方法。根据夫朗和费单缝衍射测量原理，用数显容栅尺测量衍射条纹，用计算机进行数据处理，并用万能工具显微镜进行了对比测量。测量结果表明，激光法测量具有测量装置结构简单、测量结果精确度高、非接触和自动化测量等特点。     

全息光栅衍射测量光学系统的研究

提出以双频激光为光源，利用全息光栅衍射的多普勒频移进行二维位移测量的方法，对测量光路的多种方案进行探讨，筛选了最佳方案。     

动态测量装置光学设计中几个问题的探讨

本文从激光和光学工程角度讨论了动态测量装置中光学设计的几个问题，给出一个实用的设计方案。     

基于图像处理的激光中心实时滤波算法

为了激光线结构光在复杂３Ｄ曲面测量系统中激光中心的计算精度，提出了基于图像处理的激光中心快速滤波算法，对激光亮带的搜索和亮带区域的平滑滤波同时进行，以消除传统图像边缘检测算法和整帧图像平滑处理计算数量量大的缺点。     

电子束曝光机工件台结构的设计研究

根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性，将机械驱动系统、激光测量和计算机组成一个闭环控制系统，利用计算机不断采样叠代，选择合适的校正系数适时校正，实现了快速运动精确达到预定位置。采用双频激光高精度测量定位，从误差分析出发，对结构进行了改善，保证了最终精度。     

基于光纤技术的叶端定时传感器

叶端定时测量是一种新型的在线实时测量叶片振动的有效方法，激光光纤叶端定时传感器是整个测试系统设计的关键，该文研究了叶端定时测量方法，并对应用于高速旋转汽轮机叶片振动在线实时监测的光叶端定时传感器进行了设计研究和试验，研究了一个具有高分辨、大频宽和高信噪比的激光光纤传感器的设计方案，并且得到了实验室验证。     

基于无衍射光及虚拟探测器的三角测量系统

提出一种新型激光三角测量系统。该系统用无衍射光作测量光束，用虚拟探测器扩展探测器尺寸。与传统激光三角测量相比，该系统在保持高测量精度及高分辨率的同时，扩展了测量范围。且系统机构简单，测量速度快。     

应用激光闪光法测量薄膜材料的热扩散率

目的是将用于测量片状试样的热扩散率的激光闪光法推广至测量薄膜试样。应用15纳秒脉冲Nd：YAG激光及响应时间0.9微秒的（Hg,Cd)Te红外探测器等建立了闪光法热扩散率测量系统，并应用此系统对微米量级厚度的不锈钢薄膜进行了测量。同时针对将激光闪光法应用于薄膜时所出现的问题，如激光的有限脉站时间及有限吸收厚度效应，测量系统的滞后效应，以及增强红外吸收及辐射用表面黑化膜的影响进行了分析并提出了解决方法。     

半导体激光器在粒子尺寸测量中的应用研究

半导体激光器在粒子尺寸测量中的应用研究葛宝臻王建萍张以谟李贺桥（天津大学现代光学仪器研究所３０００７２）激光粒子尺寸测量技术以其快速准确的优点得到了迅速发展。传统的激光粒度仪是以Ｈｅ－Ｎｅ激光器为光源；不仅体积庞大、稳定性较差，而且由于激光管寿命较短...     

全息透镜分光法五自由度测试系统

基于激光全息技术，激光准直技术、激光漂移补偿技术和磁光调制技术的综合运用，研制了以单一激光束为基准，同时测定目标五个自由度偏差的测试系统。该测试系统用于机床变形，风洞应变天平体轴加载自动校测等多个自由度的准直和微小偏移量的测量。     

FAST项目中激光惯性融合测量技术的研究

激光测量和惯性测量都可以对物体位置、速度、姿态等物理参数进行测量.其中,激光测量有着测程远、精度高等特点;而惯性测量也有着自主性高,不易受干扰、采样率高等特点.根据FAST项目中对测量的实际要求,分析了在馈源舱动态测量任务中已有的激光测量系统的特点与不足,提出了引入惯性测量系统与激光测量系统结合以达到更好测量效果的方案,并对方案的可行性与实现方法进行了研究.     

光学薄膜表面激光等离子体参量干涉测量原理

该文全面地讨论了径向轴对称激光等离子体的物理参量的测量原理。提出了应用马赫－曾德尔激光干涉装置测量光学薄膜表面激光等离子体折射率分布的方法。以等离子体折射率作为突破口，依据等离子体形成机制、逆轫致吸收、Ｓａｈａ方程、等离子体状态方程和Ｇｌａｄｓｔｏｎ－Ｄａｌｅ公式等，建立了一套诊断等离子体参量，包括温度、密度、压力、电离度、电子密度、吸收系数和光学厚度等的理论方法。     

中频差Zeeman双折射双频激光干涉系统的实验研究

Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MHz的Zeeman双折射双频激光器为干涉仪的光源,建立了中频差双频激光干涉仪测量系统。经过与商用HP5528A双频激光干涉仪的比对测量实验得出,中频差双频激光干涉仪实验测量系统测量线性度小于0.002%,测量的标准不确定度小于0.1μm,证明了中频差双频激光干涉系统的可行性和针对这种光源采用的设计方案的正确性。     

管内切向旋流的衰减特性研究

旋流强度是旋流研究中的一个关键性参数，它对旋流的应用特性有着决定性影响，文中以水为工质，用激光多普勒测速仪（ＬＤＶ）对管内由切向喷射方法产生的切向旋流进行了详细测量，根据测量结果对切向旋流的衰减特性进行了系统的研究和分析，并与文献中的有关结果进行了比较，得出了旋流强度的经验公式和旋流衰减的一般规律．     

三维曲面激光双三角测量法

三维曲面轮廓的测量，传统方法都是采用表面轮廓仪或三坐标机测量，改进的方法有的是将激光三角测量头装在三坐标机上代替触针从而实现非接触测量，但这种改进方法仍然受到三坐标机本身的限制。本文在深入研究激光三角测量原理的基础上，提出了一种三维曲面的激光双三角测量法并给出了设计要点。