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低能量PLD方法沉积的a—C薄膜结构及光学性能研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用低能量脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜、X射线衍射谱膜为非晶态,喇曼散射实验表明膜无明显类金刚石特征,紫外-可见分光光度计测试结果表明:膜在紫外、可见光区折射率低于石英、玻璃等材料,红外透过率谱显示膜在红外区有宽范围,显著增透作用。 相似文献