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相似文献
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1.
用真空蒸发SnO2-ZnO,获取超微粒结构的SnO2-ZnO薄膜.实验发现w(SnO2)w(ZnO)=80%20%薄膜有较低的电阻率,对乙醇有较高的敏感性,是较好的酒敏材料.  相似文献   

2.
利用XPS方法,分析四种由不同CVD温度(250~550℃)淀积在n-Si衬底上形成异质结的SnO2透明多晶薄膜的表面。定性和半定量分析表明,表面存在三种氧物种,在加热吸附H2前后,相对含量发生变化,变化大小与制备温度有关,根据实验结果和分析,研究薄膜H2吸附机理,讨论SnO2薄膜的气敏与SnO2/n-Si异质结光伏的关系以及制备温度对薄膜吸附反应性能的影响。  相似文献   

3.
用喷涂法和溶胶—凝胶工艺制备PT/SnO2(Sb)/SiO2薄膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
用喷涂法在石英玻璃衬底上制备Rs为100-200Ω/cm^2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(TP)。薄膜。TP膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应。  相似文献   

4.
粉末溅射SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性   总被引:1,自引:1,他引:0  
用粉末溅射方法制轩了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2;Pt双层膜。实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性。单层膜厚度和双层膜导电层及气敏层厚度对灵敏度有明显的影响。通过对掺杂单层膜和双层膜所敏特性的比较,对粉末溅射SnO2薄膜的气敏响应机理进行了探讨。  相似文献   

5.
液态源掺杂对SnO2薄膜特性影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
在单晶硅片上生长SiO2绝缘层,再用蒸发的方法在SiO2层上淀积超微粒SnO2薄膜.采用液态源扩散方法对SnO2薄膜进行掺杂.实验表明,采用此法掺杂可精确控制掺杂浓度,此法工艺简便。可靠,使掺杂和热处理一次完成,掺杂后的薄膜气敏特性得到较大的改善.  相似文献   

6.
SnO2薄膜的喷涂法制备   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用SnCl4 水解溶液,用喷涂、退火的方法制备SnO2 薄膜,并研究了SnO2 薄膜的电特性和掺杂浓度的关系  相似文献   

7.
采用准分子激光诱导CVD淀积SnO_2透明导电薄膜,并在其生长过程中进行掺杂Sb的实验,研究了薄膜生长速率及薄膜电阻率与激光能量密度的关系,得到了电阻率为1.49×10 ̄(-3)Ω·cm的高质量的SnO_2薄膜。  相似文献   

8.
把CO2激光聚焦在玻璃基底上的小区域内,热解SnCl4·5H2O来实现SnO2薄膜的沉积。用X-Y扫描获得了选择性薄膜图形。薄膜的电阻率约为1×10(-2)Ω·m,可见光谱区透射率为75%~80%.用X射线衍射对膜层进行了物相分析,判定SnO2薄膜基本为多晶结构,其最优方向为(110)。此外,还用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌。  相似文献   

9.
用CVD法在(111)和(100)单晶硅衬底上沉积SnO2或SnO队:Pd薄膜.在不同温度下,测量SnO2/Si表面吸附H2或CO等还原性气体后光电压的变化.结果表明:SnO2:Pd/Si的光电压变化,可以灵敏检测H2、CO等气体,讨论了SnO2:Pd/Si的气敏机理.  相似文献   

10.
用高温固相反应法合成了(Sr1- x Mgx )2 P2O7 ∶Sn(3.3×10- 2 )和(Sr0.9Mg0.1 )2 P2O7 ∶xSn两个体系系列样品,在紫外线激发下,详细地测量了它们的发射光谱,讨论了Mg 含量对(Sr1- x Mgx )2P2O7 ∶Sn 和Sn 含量对(Sr0.9 Mg0.1 )2P2 O7 ∶xSn 体系发光性能的影响,认为(Sr0.9Mg0.1 )2P2O7 是Sn2+ 较好的一种基质材料.  相似文献   

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