光外差干涉磁盘表面粗糙度测量仪

根据外差干涉计量术的原理,研制了非接触式的光外差干涉磁盘表面粗糙度测量仪.其垂直分辨率小于1nm,横向分辨率为2μm,对标准样板和计算机磁盘表面的测量结果也很令人满意.     

非接触式表面粗糙度测量仪

以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器，光学系统和计算机系统构成。其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时，在线，动态检测和控制。     

表面粗糙度测量仪的工作原理分析及其改进方案

分析了传统表面粗糙度测量仪的基本原理 ,对采用计算机系统的改进方案进行了讨论 ,并指出其发展方向。     

光纤表面粗糙度测量仪线路及其智能化

本文研究了一种新型光纤表面粗糙度测量仪主要线路的设计、调整和仪器智能化等问题。改进后的线路使仪器的测量范围扩大,能测量R_α=6.3～0.005μm的表面粗糙度,示值稳定性可达0.075％。     

磁盘表面粗糙度非接触测量仪通过部级鉴定

由机一系标准化与计量测试教研室、计算机系外部设备教研室联合承担研制的“七五”国家重点科技攻关课题“磁盘表面粗糙度非接触测量仪”     

非接触式位移测量仪的研制

该文通过研究非接触式测距离的方法,探寻非接触式测量距离的实现手段,剖析三角形原理及其应用,研究实现非接触式位移的测量,介绍了仪器的主要部件功能及制作方法,具有性能稳定,结构简单,操作简单,携带方便等特点。     

高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪

提出了一种高精度表面粗糙度非接触式轮廓仪.该仪器在6JA干涉显微镜的基础上,采用相移干涉技术、外同步技术和有效算法,以消除背景光强不均匀、人眼瞄准误差、数值孔径等因素的影响,并在条纹对比度很低的情况下也能获得良好的结果.实验结果表明,测量精度比原仪器提高10倍,测量时间仅需3s,垂直分辨率和重复测量精度优于1nm.     

表面粗糙度测量技术综述

表面粗糙度对加工件的性能有着很大的影响。由于机械、电子及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量及结构小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位。通过对表面粗糙度测量技术的发展历史与发展现状的追述,阐述了一种常见的表面粗糙度测量仪的工作原理和性能,并对其相关问题作了讨论。     

基于虚拟仪器的汽车刹车盘表面粗糙度的测量

介绍了基于虚拟仪器开发的汽车刹车盘表面粗糙度测量系统,给出了该系统的硬件和软件实现方法,分析了测量中误差产生的原因并提出了相应的解决办法,该系统具有测量精度高、效率高、可靠性高等优点.     

散斑法测量表面粗糙度R_q的研究

围绕光学测量表面粗糙度Ｒ＿ｑ的精度提高问题，应用Ｌｅｇｅｒ理论，侧重讨论了投射到测量表面的两束激光相干光束之间的夹角δｘ的变化对测量结果的影响，指出了一条提高测量精度和扩大测量范围的有效途径。     

获取路面谱的一种新方法

通过理论分析和实际路面的测量,阐述了直接在汽车车桥上安装传感器测量路面谱的一种简便方法,并通过与用五轮仪测量路面谱方法的结果对比,得出了此种方法在一般汽车性能试验中的实际应用价值．     

激光扫描粗糙度测量仪的研制

介绍激光扫描粗糙度测量仪的测量原理、结构及结果。本测量仪根据激光在工件表面的反射散射原理,应用激光扫描技术、数据采集、A/D转换和定标曲线的计算机拟合,整个测量过程在单板机控制下自动完成。测量粗糙度Ra的分辨率为0.001μm,测量重复精度为0.006μm。     

光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤式表面粗糙度测量仪研制过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算、零点漂移、信号噪声、不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算、数据处理和测量智能控制。     

基体表面粗糙度对低温磁控溅射TiN的影响研究

研究了在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程以及摩擦学性能的影响.研究结果表明,低温磁控溅射沉积处理一般不改变基体原始表面形貌,对基体的机加工状态有遗传性或复制性.摩擦磨损试验表明,随着基体的表面加工精度提高,表面粗糙度降低,摩擦副的磨损明显减小,摩擦因数也有减小的趋势.     

光学外差法检测超光滑表面粗糙度

随着加工技术的发展,超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统,采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束,提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态,不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷,保证了系统的稳定性,且同时使接收端光束的偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单,实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明,系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ．