一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.     

微机电系统科学与技术发展趋势

阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵与应用范畴,着重介绍了国外ＭＥＭＳ的研究情况,研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了ＬＩＧＡ加工、刻蚀技术等微制造技术。总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研制情况,并提出发展我国微电机电系统的几点建议。     

微机电系统的发展

始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是21世纪的核心技术之一．介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状．     

《微机电系统》课程教学方法的探讨

根据《微机电系统》课程的特点,对其教学内容、教学方式和实验教学等方面进行教学探讨,以提高课程的教学效果。     

谈谈如何改进《微机电系统》课程的教学方法

分析了《微机电系统》课程的特点,提出了对其教学内容、方法和手段等方面的改进建议,以提高《微机电系统》课程的教学质量。     

微机电系统课程的实践教学与方法研究

针对微机电系统设计与制造课程的特点及教学对象的特殊性，提出了与教学内容、教学方法、实践教学以及考核办法相关的一系列改革措施，实践表明，学生的学习积极性大大提高，教学效果得到明显改善。     

对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考

近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展。介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨。     

微机电系统技术及其应用

微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域 ,具有广阔的应用前景。在概述微机电系统发展状况的基础上 ,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征 ,并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论。     

基于微机电系统运动传感器在人体运动测量中的应用

人机工程学理论发展起来后,在工程设计中对人的测量也越发的全面。工业生产的过程中,人作业的过程是随着人体运动而持续的,这些运动信息不但能够将人体的自身运动规律反馈,而且能够使用在人体与工作环境关系的研究领域当中,所以在人机工程学的研究过程中,现实性意义明显。     

体内微机电系统无线能量传输技术的耦合特性研究

首先介绍体内微机电系统无线能量传输技术的原理和构成。在互感基础上建立四种拓扑补偿的数学模型。用Mat-lab进行计算和仿真,研究了负载和工作频率对反映阻抗特性的影响以及电磁耦合结构参数如耦合系数和初次级绕组内阻等对系统性能的影响。表明耦合系数增大,可以大大增加系统传输效率;与次级绕组内阻相比,初级绕组内阻对系统传输效率影响更大。因此减小初级绕组内阻,可以显著提高系统传输效率和性能。     

电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计

提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RF MEMS)开关结构形式．开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成。由于采用了永磁铁单元，可以实现对开关的双稳态电磁控制，从而降低了开关的功耗。对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明，含有加强筋结构的开关模型，在12μN力的作用下，可以使悬梁两端产生20μm的位移，此时系统的固有振动频率约为5．7kHz。     

基于MOEMS技术光开关的研究与进展

光开关是光通信网络的重要功能器件，基于MOEMS技术的光开关是最具发展前景的光开关之一．本文在简介不同种类光开关原理特点的基础上，详细分析了MOEMS光开关的设计、性能指标、结构、分类等，并给出了这一领域最新的研究与进展状况．     

全光网络中的光开关技术及应用

在整个光通信系统中，光开关是较为重要的光无源器件，在光网络系统中可对光信号进行选择性操作。光 开关的研究日益成为全光通信领域关注的焦点，总结了光开关在全光网络中的应用，介绍了光开关的基本工作原 理及光开关技术的进展。     

基于新型MEMS技术的实时飞行仿真系统微控制器设计与实现

设计开发了一种基于新型MEMS技术的实时飞行仿真系统微控制器．首先设计了用以姿态控制、数据采集、控制律解算及接口通讯的微控制器系统的软件和硬件，在软件设计中采用了模块化思想，大大降低了微控制器软件设计的复杂度，同时给出了该软件的流程图．动静态仿真实验表明，所开发的基于MEMS技术的微控制器可完全满足实时飞行仿真系统对实时性和仿真精度的要求，从而验证了该设计方案的可行性和有效性．     

塑料光纤的研究进展与应用前景

塑料光纤具有带宽高、韧性好、抗干扰能力强、易接续等优点,在短距离(1~2 km)传输中有明显优势。首先介绍了塑料光纤的背景和基本特征,然后分析了塑料光纤研制、生产的研究进展,以及在光纤到户、汽车、照明、工业控制等领域的应用,最后展望塑料光纤在国内的发展前景。     

高速光纤通信系统中高阶PMD补偿方法的研究

简要分析了偏振相关色散对光通信系统性能的影响,在分析二阶段补偿方法的局限性的同时,对高阶PMD及其补偿问题进行了分析与讨论,提出了一种三阶段高阶偏振模色散补偿方案,从理论上分析了它同时补偿偏振相关色散和偏振主态旋转的可能性,并就工作方式、控制算法和补偿理论进行了较为详细的分析与描述.     

MEMS反射镜建模及其控制实验研究

从经典二阶振荡系统的传递函数入手,根据MEMS反射镜的开环瞬态响应实验,对模型的参数进行辨识,考察了模型在静态状况下静电力和弹簧扭矩的关系.推导了阻尼系数和实验曲线之间的关系.这个关系对阻尼系数的辨识不需要考察微镜的尺寸和空气压力,从而可以减轻计算量并且保证了精度.最后,通过仿真和实验结果来验证参数辨识的正确性.在实验和仿真结果中,系统的超调量被大幅度减小,稳定时间可以控制在7 ms以内,验证了模型参数辨识的正确性.     

微机电系统微米间隙的预击穿和击穿特性研究

为了预测和评估微机电系统(MEMS)中微电极结构的绝缘性能,采用MEMS加工工艺,制备了电极间隙为5～40 μm的金属铝薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜(SEM)进行了微电极表面的微观分析.研究结果表明:预击穿过程的电流-电压曲线说明,在击穿之前电流的变化主要包括自由带电粒子的定向迁移阶段、电流密度达到饱和阶段以及碰撞电离持续发展形成电子雪崩阶段;场致电子发射的Fowler-Nordheim曲线表明,当微电极的间隙大于5 μm时,其击穿特性仍然符合巴申曲线,与相关文献的研究结论一致;微电极击穿阈值均大于相同间隙的宏观金属电极的击穿阈值;微电极击穿后在阳极表面有坑洞产生,而在阴极表面存在溅射沉积现象.     

IM—DD数字光纤通信系统设计的软件方法

扼要介绍了ＣＣＩＴＴ（国际电报电话咨询委员会）图解法的基本原理及其软件方法实现光纤通信系统设计的关键措施和突出特点．