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设计了一种同轴腔微波等离子体反应器,推导了谐振腔内电磁场分布表达式,对谐振腔中的电磁分布进行了数值计算,得到与理论推导结果相对应的场强分布图。同时采用HFSS软件对本文设计的同轴谐振腔等离子体反应器进行电磁场的模拟仿真,优化出谐振腔的最优尺寸和场强分布图。软件模拟与理论推导结果吻合,说明了本方案设计的可靠性。本文设计的谐振腔固有品质因数可达17800,峰值场强高达9.29×103V/(m·W),且分布均匀,微波能量集中,有利于反应气体产生放电。 相似文献
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用模匹配法分析铷原子频标中微波腔加载复杂结构介质的谐振特性.通过导出HE111模的本征方程,计算不同结构参数对应的谐振频率,并与CST仿真结果进行对照.该计算结果与CST仿真结果完全吻合.结果表明,玻璃泡的外径的变化,玻璃泡内填充介质相对介电常数的改变以及玻璃腔泡的移动对该介质加载微波腔的谐振频率的改变具有一定作用. 相似文献
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提出了微波腔体在生产线上检测应用时的一种间接耦合技术,该技术克服了微波腔在X频段工作时与同轴电缆直接耦合所带来的干扰误差,提高了测量稳定度,使调试,定标更方便。 相似文献
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根据谐振腔理论,证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模,并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况,改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合. 相似文献
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微波耦合效率(Pi-Pr)/Pi是微波离子源的重要参数,它与磁场强度和分布关系密切。通过对比实验研究了不同等离子体离子腔尺寸、不同引入窗厚度时对微波耦合效率的影响,当离子腔尺寸为100mm,窗厚度为30mm时,耦合效率为100%(磁场分布在最佳模式)。此外还研究了耦合效率与真空度的关系,通过二极多孔引出电极引出系统引出离子,其引出电压为1.8kV,引出束流为30mA。 相似文献
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分析讨论了串联谐振和并联谐振的谐振频率,并给出了谐振时电阻、电感、电容元件上的电流和电压的大小,从谐振时电路呈纯电阻特性入手,对RLC谐振电路进行了理论分析,从而找到了一种求解谐振电路的简便方法。 相似文献
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分析求解Maxwell方程。分别对矩形谐振腔和圆柱形谐振腔两种谐振腔的不同的谐振模式重要参数进行了分析计算。通过电磁场仿真重点对谐振腔内的电磁场进行编程计算,仿真分析微波等离子体推力器无加载谐振腔内的电磁场特性。为确定推力器最简单适用的谐振腔形式以及与其相应的谐振模式提供依据。 相似文献
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方凤才 《天津师范大学学报(自然科学版)》2014,(3):47-51
针对双调谐滤波器的参数设计问题,提出一种基于调谐频率设计双调谐滤波器的方法.利用双调谐滤波器与2个并联的单调谐滤波器阻抗等效的原理,研究双调谐滤波器中串联谐振支路电感、电容和单调谐滤波器谐振频率、电容的关系,从而确定双调谐滤波器串联支路和并联支路的谐振频率.利用单调谐滤波器的谐振频率是双调谐滤波器的零点,确定并联支路的电感,结合并联支路的谐振频率确定并联支路的电容.该方法可以简化双调谐滤波器的设计运算,实例展示了该方法双调谐滤波器阻抗特性曲线,仿真分析表明:依据该方法设计的双调谐滤波器的滤波效果良好. 相似文献
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从电磁场方程出发,推导出用多极理论计算轴对称介质加载微波谐振腔谐振频率的本征值方程,给出用多极理论分析轴对称介质加载微波谐振腔的基本原理和计算过程。三个工程实例的计算结果表明:用多极理论分析轴对称介质加载微波谐振腔,不仅具有较高的计算精度,而且可以很方便地应用于各类轴对称介质加载微波谐振腔对称模式本征值的分析与计算,多极理论是分析轴对称介质加载微波谐振腔谐振频率的一种有效方法。 相似文献
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本文研究等离子体柱中非线性气球模。导出了描述柱位形下等离子体中气球模的非线性方程组,并求出该方程组的局域涡旋解。这类新解由柱对称和反对称两部分组成,称为气球柱涡旋。当涡旋中心离柱轴距离远小于涡旋半径时,它退化为单涡旋;而在相反的情况下,它又退化为通常的偶极涡旋。涡旋角速度允许区强烈地依赖于磁场力线的曲率。 相似文献
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微波放电等离子体性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用自行设计建立的微波放电实验系统,运用静电双探针对产生的等离子体进行了测试,得承均匀磁场中微波输入功率、气体压强、气体种类等条件对等离子体参数及其分布的影响,并对实验结果答了简要分析。 相似文献
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戴苏明 《苏州大学学报(医学版)》1998,14(3):33-38
由辐射性能一致的漫射表面组成的腔体,在温度一致的条件下,其辐射行为可以归结到由腔体开口的表现来描述,这就是所谓空腔效应。本文从辐射表面之间的换热规律出发,推导出反映空腔效应的定量概念-空腔因子,建立了空腔因子与腔体形状和腔体材料的关系。 相似文献
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夹层减震结构系统及其子系统复模态分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对高层建筑的一种减震结构形式-粘弹性夹层结构系统,提出一个子系统复模态迭加方法,用该方法对一夹层结构系统实例做了参数设计及减震效果分析,并与基于实模态迭加法的计算结果及模型实验测量结果进行了比较。 相似文献
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对用于碰撞脉冲锁模的非共振环形腔作了理论描述和分析。使用展开为周期性薄透镜波导、等效厚透镜和等价g~*参数腔等三种方法推导出模参数、约束稳定和热稳定条件的简单表示式.讨论了象散和象散补偿问题,引入调整量δ后可使有关表示式得以简化。 相似文献
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为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响,结果表明: ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离,碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的 ;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400W),放电气压存在一个最佳值(p=0.07Pa). 相似文献