主入射角椭偏法测硅片膜厚和折射率

本文包括四部分内容:(一)描述了主入射角椭偏仪的实验理论,(二)对主入射角椭偏法的原路返回型椭偏仪进行了描述,这种椭偏仪无需补偿器(λ/4波长片),便于测椭偏谱,(三)计算了硅片上各种膜的(ρp,Ψ)对(n~1,d)的理论曲线,(四)进行了φp—tgφ法与⊿—tgΨ法测薄膜的实验比较.     

环境—透明薄膜—基板系统的椭偏角ψ和△对于δ_2、■_1、n_2的依赖关系

以椭圆偏振测量的基本公式为基础,利用计算机,研究了环境—透明薄膜—基板系统的椭偏角(?)和△对于δ_2、(?)_1、n_2的依赖关系,讨论了入射角、基板的折射率等实验参数的最佳选择问题。     

应用激光椭圆仪测定Ga_(1-x)Al_xAs外延层的组份及其表面天然氧化膜的厚度

我们应用DJS-130电子计算机及其控制的绘图仪,在光波长λ_0=6328、入射角φ_0=70°的参数下,计算并绘制了适用于不同x值的Ga_(1-x)Al_xAs外延层及其表面天然氧化膜折射率的椭偏列线图。通过对图的分析,得到了椭偏参量(ψ、⊿)对体系光学参量的响应情况。在此基础上,确认了应用激光椭圆仪测定Ga_(1-x)Al_xAs外延层组份x值的方法简便。x值的测定范围为x≤0.55,不确定性⊿x≤±0.02,     

用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度

本文提出了应用双入射角的反射型椭偏术,可克服椭偏仪一般只能测定膜层厚度小于1周期值的缺点。该技术已成功地应用于微机控制自动消光法椭偏仪上,能自动测定厚膜的膜厚和折射率。经大规模集成电路生产中使用,效果良好,且能提高测量精度和简化操作。     

Euler方程φ(xy)=k_1φ(x)+k_2φ(y)(k_1≠k_2)的正整数解

讨论了一个形如φ(xy)=k_1φ(x)+k_2φ(y)(k_1≠k_2)的具体方程φ(xy)=5φ(x)+7φ(y)的可解性,给出了其一切整数解.并根据这一方程的解的情况,给出了(x,y)=(k_1+k_2,k_1+k_2)是方程φ(xy)=k_1φ(x)+k_2φ(y)(k_1≠k_2)的1组整数解的结论,这里的k_1,k_2都是正整数.     

利用椭圆偏振法测定金属薄膜光学常数的初步研究

本文由椭圆偏振参量ψ和Δ表征的金属光学常数的数学表达式出发,在入射光波长为6328A的条件下,对Au(金)、Ag(银)、Al(铝)、Cu(铜)四种金属薄膜的n、k和R值进行了实验测定,给出了它们随膜层厚度D和入射角φ_0的变化关系,并与已知的有关结果进行了比较,进一步说明了椭偏法用于金属反射薄膜光学常数的研究也是可靠的。     

椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析

应用椭偏光谱法，测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数．利用Delphi语言编程对实验数据进行处理，其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比，各测量点绝对误差为0．01nm，该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理．     

椭偏术测定吸收薄膜的n、k、d值-多入射角法

本文提出了一种多入射角椭偏术无损测定吸收薄膜ｎ、 ｋ、 ｄ的方法（ＱＷＤ－８４法）。叙述了它的基本原理和数据处理方法，探讨了测定技术中的几个要点，给出了测定流程图，并对玻璃和硅衬底的一些吸收薄膜进行了测定和比较。测定结果表明：该法是一种一次性无损实测吸收薄膜ｎ、ｋ、ｄ值的有效方法，它系统可靠、方便易行，对薄膜参数的测定和成膜工艺的研究有较重要的价值。     

电解质在非水混合溶剂中溶解度和溶剂化的研究——盐—甲醇—非电解质

本文测定了KCIO_3,NaNO_2,NaNO_3三种盐在甲醇—苯,甲醇—甲苯,甲醇—环己烷,甲醇—四氯化碳和甲醇—1,4—二氧六环以及KCJ在甲醇—苯和甲醇—甲苯中溶解度,与非电解质的摩尔分数X_(Ne)的关系符合经验公式log(s_o/s_m)=kX_(Ne),其中s_o和s_m分别为盐在纯甲醇和混合溶剂中的溶解度。同时得到了与非电解度体积分数φ_(Ne)的经验公式log(s_o/s_m)=k_φφ_(Ne),其中K_φ称为第二介质常数。盐的溶剂化数近似地符合公式n_ n_=-2 log(s_o/s_m)/logφ_P。本文从改进的Born公式,推导出第二介质参数k′的理论计算公式 k'=Ne~2/2.303×4RT(1/r_ _ 1/r_- _)D_o-D_(Ne)/D_o~2式中N为Avogadro常数,e为电子电量,R和T具有通常意义,γ_ 和γ_-分别为正负离子的晶体半径,_ 和_-分别为正负离子在溶液中的半径比晶体半径为大的增量,D_o和D_(Ne)为甲醇和非电解质的介电常数。计算的k′和实验的k_φ数值相近,k′对k_φ有一定的预示。     

双层复合钝化膜厚度测量的物理原理

本文给出了一种直接测量双层复合钝化膜厚度的方法.由于不是在制膜过程中采用陪片的间接测量,因此简化了手续,也减少了误差.这种直接测量双层薄膜的方法,不需要高级复杂的设备,仍然只使用椭偏仪,因此可适用于一般的生产及科研工作.它与单层介质膜的椭偏法相比,这种方法需要改变一次入射角,所得公式也与单层情况显然不同.文中讨论了这种测量方法的物理原理,所得公式在一级近似条件下可以将公式直接推广,以适用于更多层的透明介质膜,为了提高测试的精确性,我们又进一步对一级近似作了修正.根据修正后的公式,我们用电子计算机取得了一套数据.凡折射率在1.2—2.2范围内的双层膜都可使用,操作也较为方便.这套数据中,当入射角为70°双层介质的折射率相等时,所得(φ,△)—(n,δ)关系与单层膜所得结果完全符合.这不仅理论上验证了公式,也核对了电子计算机的处理过程.另外,我们又直接测量了硅衬底上的Al_2O_3—SiO_2—Si结构的双层复合膜,分别确定的Al_2O_3,SiO_2的折射率和厚度,与用陪片间接测试结果一致.进一步检验了公式与数据的正确性.     

企业精神与产品质量提高

本文论述了市场经济条件下，企业精神对保证产品质量的重要作用，提出了培育企业精神的措施．     

圆杆的颈缩研究

本文研究弹塑性圆棒的颈缩,材料被认为是可压缩的。运用有限变形理论。获得了分岔荷载。     

关于自相关函数计算法的探讨

本文系统地阐明了求自相关函数的几何法、代数法、分析法等方法。并从形与数两个不同的侧面及其结合上对自相关函数的算法进行了探讨,以期使自相关函数的计算得到较好的解决。     

全民健身发展动力的认识视角

体育健身活动作为精神生活的重要内容,正成为目前我国人民需要层次变化中引入注目的聚焦点,本文旨在现实地探索人们在社会转型期的生活选择活动的直接目的,了解体育健身活动与生活目的的现实关系,指出人的需要递进规律是构成人们对体育健身生活化的起点和归缩。     

微分包含解的稳定性

本文证明了：在Ｂａｉｒｅ分类的意义下，大多数微分包含的解都是稳定的。     

GMS云图定量资料的应用

目前GMS云图资料提供的是模拟量,模拟云图资料在天气分析与预报中已有很多应用。由于人眼对于灰度等级的分辨率较低,对于模拟云图的目视分析主要在于云的形态及移动变化情况,大量有用信息未能被利用。本文利用DIPIX图像处理系统将模拟云图重新量化,并利用其现有软件对所得数字云图作了一维直方图分析和二维分类。对于云的物理性质和空间结构有更多的了解。可以看出其较直接使用模拟云图的优越性。     

柳江盆地构造地貌的内营力分析

通过对柳江盆地及其相关构造地貌的分析，阐明了控制其发育形成的内营力作用状况．     

圈与圈张量乘积的联结数

木文给出了圈与固张量乘积的联结数的计算公式,并给出了证明.     

相似技术动作程序教学在体操教学中的运用研究

根据体操技术动作的内在规律，编制相似技术动作教学程序，把要学习和掌握的动作技能置于教师的控制下，使教学过程的顺序性、经济性、实效性均达到最佳程度．     

西河沿岸植被与河岸的治理

西河位于南充市西郊,是嘉陵江的一条支流,近几年来,由于缺乏管理,污染极其严重。为综合治理西河,我们对河岸陆生维管植物及其生境进行了调查,并进而提出了对河岸治理的相应措施,供治理西河参考。