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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
综述了通过气相法制备陶瓷薄膜的方法,介绍了热力学在薄膜生成时的应用,讨论了基片温度和沉积速率对薄膜结构的影响,并对薄膜与基片间的结合问题进行了简单论述。  相似文献   

2.
CVD法制备SiO2薄膜工艺条件的研究   总被引:4,自引:1,他引:4  
在Al2 O3 陶瓷基片上以正硅酸乙酯 (TEOS)为原料 ,高纯氮气作载气 ,采用低压冷壁式设备和化学气相沉积(CVD)方法制备SiO2 薄膜 ,研究了基片温度、TEOS温度和沉积时间对SiO2 薄膜沉积速率的影响 .采用XRD ,XPS和SEM技术对SiO2 薄膜的组成和结构进行了分析  相似文献   

3.
采用Monte Carlo方法,模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程.建立了电子碰撞使氢分解的模型,给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布.结果对EACVD淀积金刚石薄膜的研究有重要意义.  相似文献   

4.
TiO2薄膜的光催化特性   总被引:12,自引:2,他引:12  
低压利用四异丙醇钛水解法制备了TiO2薄膜,将TiO2固定化并尽可能保留其尺寸效应,联系制膜条件和膜的表性,研究了TiO2薄膜的光催化活性,利用Raman,XRD,AFM和UVvis等手段探讨了不同膜厚,晶型,衬底对膜催化活性的影响,结果表明,随着衬底温度的升高,TiO2由非晶型转变为锐钛矿,光催化活性提高,随着TiO2薄膜厚度的增加,催化活性降低,在玻片,Si,SnO2,Al为基片所制TiO2薄膜中,以Al为基片的TiO2薄膜的光催化活性最好。  相似文献   

5.
采用Monte Carlo方法,模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型,给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布.结果对EACVD淀积金刚石 薄膜的研究有重要意义.  相似文献   

6.
我们用气体离子化淀积技术制得类金刚石薄膜,并研究了使用乙炔气体时的工艺条件。薄膜的性能与淀积过程中的加速电压、基片温度、磁感应强度等条件密切相关。在某种条件下薄膜的威氏硬度可大于兰宝石,并在电绝缘、耐腐蚀性等方面接近金刚石的性能。  相似文献   

7.
羰基金属气相沉积工艺条件及膜结构研究   总被引:4,自引:4,他引:0  
在Al2O3陶瓷基片上以Mo(CO)6为源采用低压冷壁式设备和金属有机气相沉积(MOCVD)方法制备Mo2C薄膜,探讨了该薄膜结构受温度、压力和沉积速率等工艺因素影响的关系.  相似文献   

8.
用MOCVD法制备TiO2薄膜   总被引:4,自引:0,他引:4  
用低压MOCVD法,以四异丙纯钛为源物质,高纯氮气作为载气,氧气为反应气体,制备出了TiO2薄膜,考察出了沉积温度,基片距离均对沉积速率有影响,发现在不同反应条件下TiO2薄膜生长行为受动力学控制或受扩散控制。  相似文献   

9.
使用等离子体增强化学气相沉积(PE-CVD)的方法,以TTIP (Ti(OC4H7)4)为单体,用氧气为载气,以脉冲偏压为辅助在室温的玻璃基片上沉积无定型TiO2薄膜,分析探讨在射频等离子体增强化学气相沉积TiO2薄膜的过程中,基片上施加脉冲偏压和远离脉冲偏压的情况下成膜的比较.在沉积的过程中.利用USB-2000型光纤光谱仪对等离子体的发射光谱进行测量.定性分析等离子体沉积过程中的成分组成.用UV-1901探讨薄膜的光学特性,发现紫外和近紫外区域有一定吸收;用扫描电镜分析薄膜表面形貌的变化.可以看到偏压下的薄膜致密无孔,而远离偏压下的薄膜形貌粗糙;用红外光谱分析薄膜的结构组成,可以看到明显的T1-O吸收峰.脉冲偏压下得到的薄膜在化学、光学以及电学方面有很好应用前景.  相似文献   

10.
文章采用电子束物理气相沉积法在单晶Si(100)基片上制备了单层SiC薄膜和Al2O3/SiC双层膜,然后在不同温度下经氩气保护退火。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)对所制备的薄膜进行了结构和表面形貌分析。研究表明:退火后SiC薄膜由非晶态转为晶态,随退火温度的升高,薄膜结晶更充分,薄膜表面平均粗糙度变小;双层膜与单层膜相比,其SiC衍射峰有所增强,薄膜表面更加平滑。  相似文献   

11.
图集的统一协调,对图集质量有很大影响。本文是作者在编制北京市农业区划地图集的实践基础上,根据地图信息传输论的观点,对农业区划地图集的统一协调的内容及方法进行了探讨。试图总结编制这类图集的统一协调模式,以供读者编图时参考。  相似文献   

12.
研究了国家法的抽象正义观与民间法的情理正义观,认为西方国家法的抽象正义观与东方民间法的情理正义观存在实质的不同,原因在于思维方式、超验与经验传统、政治结构的差别。在现代法治理念下,传统民间法所代表的正义观将向混合正义观转型,西方法治所代表的国家法抽象正义观是其骨架。  相似文献   

13.
许多科学家包括诺贝尔奖获得者李政道教授都预言,真空是未来物理学的一个重要研究对象.十七世纪的伽利略时代人们曾讨论过"真空"是否存在的问题.当时的学术界分成两派,一派以帕斯卡为代表,认为真空存在,另一派以笛卡尔为代表,认为真空不存在,最后实验证明"真空存在派"正确.现代研究表明,真空并非一无所有,这样就产生了一个新的问题"排除了真空物质后的空间",即"真空的真空"是否存在.本文探讨了与"真真空"有关的问题,提出了一些观测实验方法,这些方法可以帮助我们最终解答"真真空"的存在性问题.  相似文献   

14.
给出了一维非自治时滞系统点态退化的一个例子,拓宽了该领域的研究。  相似文献   

15.
在人与自然界的关系的演进过程中,形成了与不同文明时期相适应的人-自观念。从"天人合一"到"人定胜天"再到"和谐共生",这是人-自观念演进的肯定、否定、否定之否定的辩证发展过程,也是一个合乎规律的过程,它们都是时代的产物,都包含着不同程度的合理的因素,我们必须对它们进行具体的辩证的分析。  相似文献   

16.
对于行政许可违法的法律责任问题,人们往往是从行政许可实施违法的角度进行研究,而对于设定违法及其责任追究的探讨却相对薄弱。然而。行政许可设定一旦违法,其对相对人和社会公共利益的损害将会更大,因此,对许可设定的违法及其责任问题进行研究,以避免违法行政行为的发生,促进政府依法行政,不仅必要而且是非常有意义的。  相似文献   

17.
曲面“侧”是一个重要而难以理解的概念,本文对曲面“侧”概念的讲授方法进行了探讨,给出了曲面“侧”概念的“参照物”理解法,通过实践证明,效果良好。  相似文献   

18.
老年人生活空间移动性影响要素研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
 老年人生活空间移动性是老年人在日常生活中能动生活状态的重要表征。在梳理老年人生活空间移动性相关概念、测度方法基础上,分析了物质环境要素和非物质环境要素对老年人生活空间移动性的影响;提炼出有效支持老年人生活空间移动性的中观环境规划、微观环境设计和政策文化扶助层面的策略;指出了老年人生活空间移动性的研究建议和发展方向。  相似文献   

19.
20.
利用对位异构体的对称性由核磁共振氢谱测定了工业十二烷基苯在硝硫混酸中的硝化选择性,发现一硝化产物中对位异构体的比例为75% ̄80%。以月桂酸和苯为原料,经氯化、酰化和还原合成了正十二烷基苯。在同样条件下研究了正十二烷基苯的硝化,由核磁共振氢谱和气相色谱分析,发现一硝化产物中对位异构体的比例仅为60%。根据空间位阻效应,对结果进行了讨论,并与甲苯,乙苯,异丙苯等短链烷基苯的硝化结果进行了比较。  相似文献   

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