十字型微谐振梁多场耦合振动及信号分析

微机电系统（MEMS）又称微系统或微电子机械系统，是在微电子技术基础上发展起来的一种高科技微型器件或系统。MEMS集光刻、腐蚀、LIGA、硅和非硅表面微加工、精密机械加工等技术于一体，其尺寸在微米量级。利用微加工技术生产的微传感器以结构简单、灵敏度高和工作稳定等特点而广泛应用于工程实际中。微传感器通常采用静电激励与电容检测方法检测信号，即利用谐振梁振动时的位移变化导致电极之间的距离变化，从而使电极之间的电容值产生变化，检测到的电容变化频率即为谐振梁振动的频率。为解决微传感器电容检测信号微弱、检测精度较低的问题，提出了一种十字型微谐振梁。为研究微谐振梁的多场耦合效应，在考虑范德华力、电场力的情况下建立了谐振子的多场耦合非线性动力学方程。采用林滋泰德-庞加莱法求解获得其非线性振动的动态位移，分析了多物理场参数对于谐振子振动位移平均值以及电容变化量的影响规律。运用微纳加工手段制作出十字型微谐振梁，采用静电激励-电容检测方法进行了谐振频率和振动位移导致的电容变化量测试。结果表明：十字型谐振梁增大了极板面积，电容变化量增加，其信号强度更强。当面积增大75%时，电容变化量为原来的4.2倍，信号强度...     

一种新型微机械红外热探测器的吸收层

在对新型微机械悬臂梁红外热探测器进行理论建模的基础上,研究了一种适合于此种红外热探测器的吸热层材料——碳纳米管.利用碳纳米管的红外吸收特性,在微机械悬臂梁上生长碳纳米管薄膜作为吸热层,提高了微机械悬臂梁红外探测器的红外吸收能力.研究结果表明,选用碳纳米管薄膜作为微机械悬臂梁红外热探测器的吸热层比选用传统的红外吸收层材料探测分辨率提高了10%,这种基于微电子机械系统技术的传感器与集成电路工艺是兼容的,成本低廉且适合批量生产.     

MEMS在多物理场仿真和实验测试方面的进展 第二卷

硅是地壳上最丰富的半导体,性质优越而工艺技术比较成熟,绝佳的电学特性和机械特性成就了MEMS（微机电）技术的发展,开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。     

微电子机械系统(MEMS)技术及其应用

本文阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态 ,微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用     

微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用.     

微型机械的前景与挑战

微型机械是一个全新的领域 ,从微型人造小昆虫、微型飞行器到微电子机械系统 ,无一不展现出奇特的功能 .微型机械的前景十分诱人 ,但也带来了新的问题 ,带来了新的挑战     

微电子机械系统（MEMS）器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统，一个新兴的高新技术领域，并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。     

德科学家发明超强记忆新材料

德国基尔大学研究人员新发明了一种镍钛铜记忆合金,其变形次数可以达到千万次不会断裂,而通常合金材料变形几千次就会断裂。这一新材料在微电子和光学器件、传感器、医疗器件等众多领域将有广泛的应用前景。科学家早在上世纪60年代就发明了镍钛记     

微电子技术的又一次革命——微电子机械系统（MEMS）发展展望

一、引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalSystem的4个字首组成，可译为微电子机械系统。MEMS的起源可以追溯到60年代，1989年后MEMS一词就渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。与MEMS一词同时流行的还有MicroMachine（微机械）和MicroSystem（微系统）。它们都以微小（Micro）为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地与MEMS通用。一般地说，MEMS具有以下非约束性的特征：（1）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏（Macro），即传统的、大于1cm尺度的“…     

微型传感器在汽车工程中的应用

介绍了基于微机电系统(MEMS)技术的微型传感器的特点和发展概况,以及应用在汽车发动机控制、安全系统等方面的微型传感器的原理、特点和主要技术参数。并简要介绍了高温微电子在汽车上的应用。同时,预测了未来汽车微型传感器的发展趋势和市场应用前景。     

无线传感器网络及其热点研究

作为物联网核心技术的无线传感器网络具有十分广阔的应用前景。随着微电子技术的进步,低成本的无线传感器网络将会逐渐普及。介绍了无线传感器网络体系结构、特点和标准,并对一些研究的热点问题进行了探讨。     

TM550059发展中的传感器技术

ＴＭ５５００５９发展中的传感器技术［刊］／赵志诚（沈阳仪器仪表工艺研究所）／／仪表技术与传感器──１９９５，（１）．５～７ＴＭ５５传感器技术是一个正在迅速发展的新兴技术。本文从微电子机械系统、工业过程自动控制、新的功能材料及传感器集成化与小型化等方面...     

浅探机电一体化的技术

随着科学技术日益走向整体化、交叉化和数字化以及微电子技术信息技术的迅速发展,机电一体化技术的应用也越来越广泛,机电一体化技术是集计算机、机械、电子、信息、光学、控制等多学科的交叉综合的一项技术,其未来的进步和发展依赖并促进相关技术的进步和发展。本文针对机电一体化技术的应用及发展进行简要探索。     

MEMS技术在微型热泵中的应用

微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷.微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上.对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用.     

静电声和超声传感器的进展(英文)

对 2 0世纪声学测量静电 (或电容 )传感器的实验和理论的进展作了简短综述。重点放在微加工传感器及其理论建模。本文还讨论了传感器的分类 ,当前发展趋势和应用前景 ,显示了微加工声和超声传感器正将声学测量推进到一个全新的发展阶段。     

浅谈机械加工中微小零件的微细切削技术

随着微电子、信息及机械等技术的不断发展,机械加工中的微细切削技术也获得了较快发展,微细切削技术作为一种低成本高速度的微小零件加工方式,已成为制造技术发展的必然趋势,本文概述了微小零件特点与微细切削技术机理,分析了微细切削技术的发展现状,讨论了微细切削在机械加工微小零件中所面临的技术问题。     

煤矿机电一体化技术应用及发展研究

目前，对机电一体化的定义有各种各样的认识，随着生产和科学技术的发展，它将被赋予新的内容。机电一体化不是机械技术和电子技术的简单叠加，而是为达到取长补短、互相补充的目的而将电子设备的信息处理功能和控制功能融合到机械装置中，机电一体化产品因多项工艺相融合在一起，使知之更具有系统性、完整性、科学性和先进性。体现了“技术”和“产品”的内容，是机械系统和微电子的有机结合，是赋予了新的功能和性能的新一代产品。现代煤炭工业发展的强大动力来源于科技进步，机电一体化技术的推广与应用越来越具有举足轻重的作用，必将对我国煤矿机电一体化技术的发展与进步起到积极的推动作用。     

微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。     

从微雕到毫微技术

在一粒米、一根发上展现神奇世界的微雕艺术,已令人大加赞叹;而一项高新科技的毫微技术,一兴起就更引起世人的广泛关注。这是因为毫微技术不仅正以其不亚于微雕的工艺、而且还正以其富具应用价值,极其广泛地深入了人们的生活领域。毫微技术是一种运用单个原子大小的物质材料制造微型机械的技术。由于它的加工对象是非常微小的零部件,往往要以毫微米进行计算(1毫微米等于百万分之一毫米),因此,它所应用的技术手段和加工工具与一般的机     

从招投标工作看机电一体化的现状及发展方向

随着微电子技术、传感器技术、精密机械技术、自动控制技术以及微型计算机技术、人工智能技术等新技术的发展,以机械为主体的工业产品和民用产品不断采用诸学科的新技术,在机械化的基础上,正向自动化和智能化方向发展.在招标工作中,越来越多的用户对传统机械产品提出了智能化、自动控制等更高层次的要求.以机械技术、微电子技术的有机结合为主体的机电一体化技术是机械工业发展的必然趋势.