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相似文献
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1.
二氧化锡薄膜结构对光学气敏特性的影响   总被引:6,自引:0,他引:6  
研究了SnO4薄膜的光学特性及有关光学参数的推导,建立了光学气敏的数学模型。较详细地研究了不同结构的SnO2薄膜接触还原性气体后光透射率的变化。  相似文献   

2.
用液相结晶和高温分解法制备偏离化学计量比的二氧化锡材料,对此二氧化锡进行掺杂,制成由一定原料配方组成的厚膜浆料,以此浆料用丝网印刷技术制备SnO2厚膜气敏元件。然后,对系列元件进行气敏特性测试,所制备的SnO2气敏元件表现出对乙醇气体的选择敏感性。  相似文献   

3.
二氧化锡超微粒子气敏薄膜的复数阻抗谱研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
用直流气体放电活化反应蒸发法制备了二氧化锡超微粒子薄膜,测量了薄膜的阻抗谱,验证了超微粒子薄膜的内部模拟等效电路。研究了温度、还原性气体以及热处理对阻抗谱的影响,并用氧吸附理论和晶界热垒理论定性地解释了这些现象。  相似文献   

4.
5.
采用均匀沉淀法合成了超微粒锡酸锌(Zn2SnO4)气敏材料,利用浸渍法对Zn2SnO4材料进行了掺杂,用XRD和TEM对其微结构进行了研究,实验结果表明,合成材料为均匀颗粒状,粒径小于0.1μm,该材料对可燃气体具有高的灵敏度,通过某些贵金属掺杂可提高Zn2SnO4对C2H5OH气体的选择性,SiO2的掺杂可大幅度提高Zn2SnO4对氢气的灵敏度,Zn2SnO4材料有可能在可燃气体、选择性酒敏元件上取得应用。  相似文献   

6.
报导了SnO2薄膜及其掺杂膜片在乙醇中的气敏光学效应与透射光谱特性;提出了一种新的理论模型来解释SnO2薄膜的气敏光学效应的作用机理,并与实验结果一致,从而证明了该模型的正确性。  相似文献   

7.
本文报道了掺杂Pd和Pt等贵金属的SnO_2气敏元件置于NO_x气氛中,灵敏度发生明显下降的现象。分析认为,其主要原因是元件中的贵金属受到了NO_x污染.XPS分析表明,污染后的Pd3d_(5/2)已确有化学位移。  相似文献   

8.
为了更深入地研究半导体气敏器件的气敏-光学特性,进一步提高其性能,地导体气敏元件的机理及光波在导电媒质中的传播,本文在实验基础上,建立了氧化物半导体气敏片的光学特性数学模型,导出了光通过膜片时上对透过率与膜片生长的若干主要因素的定量关系。  相似文献   

9.
脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术,本文研究分别以SnO2和纯锡作靶,用此技术生长的SnO2膜的结构及对氢、乙醇的气敏性,探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。  相似文献   

10.
根据气敏光学特性的要求,用可控气压喷涂和高温处理的新方法,制成SnO2膜。膜面平整均匀,晶粒结构细密,缺陷较少,其光学特性比其它方法制成的薄膜好,使用的设备及工艺简单。  相似文献   

11.
溶胶—凝胶法制备SnO2气敏薄膜的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
以SnCl2.2H2O及乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法制备SnO2纳米薄膜,探讨了制膜的工艺条件用XRD,SEM,TEM,AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质,同时考察了薄的晶相结构、晶粒尺寸,表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系。  相似文献   

12.
采用溶胶-凝胶技术,利用旋转涂膜法制备二氧化锡薄膜。结果发现,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度。并对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了分析和研究。  相似文献   

13.
铂掺杂对氧化锡超微粒子薄膜表面结构及气敏特性的影响   总被引:1,自引:1,他引:0  
用直流气体放电活化反应蒸发法制备了氧化锡超微粒子薄膜(I),再用直流平面磁控溅射法掺杂Pt。Pt的掺入使I的晶粒增多,电导下降,还使薄膜的气敏特性到显著改善,讨论了Pt掺杂对薄膜灵敏度影响的机理。  相似文献   

14.
二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性   总被引:1,自引:1,他引:1  
用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布,并分析了它对薄膜电阻的影响,透射电镜分析表明随沉积温度升高,二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态,其电阻庇随之减小,掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应。  相似文献   

15.
用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备研制气敏传感的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析,结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。  相似文献   

16.
本文对SnO2和掺有3%B2O3的SnO2超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品,其结果并不一样。SnO2膜的感湿特性差,而掺杂的SnO2膜具有较好的感湿特性,而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。  相似文献   

17.
本介绍了用S-G法制备了ZnO/TiO2多层薄膜的方法,并研究了其在几种还原性气体中的气敏透射光谱,发现其对氨气具有优良的选择性,且其光学透过率在一定浓度范围内随氨蒸汽浓度增加而显地单调上升,敏感波段扩展到整个可见光区域。这是一种有实用价值的气敏光纤传感材料。本亦讨论了该多层薄膜的气敏光学机理和高选择性的机理。  相似文献   

18.
钴添入SnO2中可增大对乙醇气体的灵敏度,但同时带来一些不利因素。将石墨添加到不同钴含量的SnO2基酒敏陶瓷中可以改善其电气性能,克服钴的副作用。通过对样品室温电阻的大小、时间稳定性和老化性三个方面进行研究,得到的结论是:在1060℃添加1%Wt左右的Co2O3,并掺入1% ̄5%Wt的石墨,其各项指标均较好。  相似文献   

19.
用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
用PECVD法制备了具有较高灵敏度与选择性的H2薄膜元件。  相似文献   

20.
采用PECVD方法制备Fe2O3/SnO2双层气敏薄膜,利用浸渍方法对稀土元素(La,Nd,Sm,Er,Yb)与铝配制的乳浊液进行表面修饰.测试结果表明,修饰后的双层薄膜对乙醇或丙酮具有较高的灵敏度与选择性。  相似文献   

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