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以叔丁酚改性酚醛树脂与双叔丁氧碳酸酐为原料,合成了一种化学增幅感光性高分子,摸索出这类合成反应的最佳条件,进而配制出一系列化学增幅抗蚀剂组成物,并对其感光性能及光解动力学进行了研究。 相似文献
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冷压印光刻中高分辨率抗蚀剂的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
在集成电路的冷压印光刻中,为了获得高分辨率抗蚀剂,着重对溶剂挥发固化型、化学交联固化型和紫外光照交联固化型材料,从复形分辨率、涂铺均匀性、脱模性、流动性、物理粘度、刻蚀比率、固化速度、固化方式和固化收缩率等方面进行了分析和研究。经过对比,得出低粘度光固化树脂具有薄膜厚度容易控制且均匀(误差为O.3%)、固化速度快(小于O.2min)和固化收缩率小(3%)等特性,其对冷压印光刻工艺的匹配性明显优于溶剂挥发固化型和化学交联固化型材料。因此,最终决定采用低粘度光固化树脂作为冷压印光刻工艺中的抗蚀剂。 相似文献
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厚层抗蚀剂光刻是一种制作深浮雕结构的微细加工技术。综述了近年来厚层抗蚀剂光刻技术的最新进展,从厚层抗蚀剂光刻工艺原理以及计算机模拟诸方面分析了该技术区别与传统光刻的一些特点,并对其应用的研究现状进行了总结,最后指出了进一步发展厚层抗蚀剂光刻技术的关键问题。 相似文献
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抗蚀剂是由酚醛树脂成膜剂、重氮萘醌光敏剂、添加剂和溶剂四大类组成,为提高集成电路等器件制作的生产量,就要缩短曝光时间,增加抗蚀剂的感光灵敏度,光敏剂的结构及加入量将影响胶的感光性、曝光量、操作宽容度和耐热性等.本文对正性抗蚀剂合成过程中加入光敏剂的效果作一报道,以设计出一条提高其酯化度的工艺路线。 相似文献
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为了提高微压印的质量,改进工艺参数优化模具结构,对微压印抗蚀剂的填充行为进行了数值计算和可视化实验研究。实验在三维离焦数字粒子图像测速系统中进行,由此提取了抗蚀剂中的荧光示踪粒子的坐标,通过时间解析算法获得了示踪粒子的三维粒子场,利用粒子跟踪测试技术获得了示踪粒子的速度场。数值模拟中采用了计算流体动力学软件,同时考虑了表面张力和接触角等因素,并根据模具特征划分了不同的压印区域,以分析、预测压印模型中的抗蚀剂填充行为。研究结果显示:数值模拟与实验结果吻合较好,抗蚀剂速度最大值在模具尖角与支撑基板之间,抗蚀剂速度水平方向上的实验最大误差为6.6%,竖直方向上的最大误差为9.6%;模具侧壁下方粒子运动轨迹的演化方向决定着抗蚀剂的体积转移方向和最终的填充形貌。该结果可为深入研究微压印中抗蚀剂流动提供参考。 相似文献
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周亮 《云南大学学报(自然科学版)》2002,(Z1)
随着印制电路板 (PCB)行业的飞速发展 ,液态光致抗蚀油墨已逐渐成为精细导线图形制作的主要方法 .综述了液态光致抗蚀油墨的组成、特性及其诱人的发展前景 相似文献
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为了探索玄武岩纤维和抗车辙剂复合添加对沥青混合料的增强效果,本文通过室内试验研究复合改性沥青混合料的路用性能,并与单掺一种改性剂的沥青混合料进行对比。试验表明与单掺玄武岩纤维沥青混合料相比,复合改性沥青混合料动稳定度提高320%,冻融劈裂强度比提高5%,疲劳破坏寿命提高14.6%;与单掺抗车辙剂的沥青混合料相比,复合改性沥青混合料低温抗弯拉应变提高53%,冻融劈裂强强度比提高8%,疲劳破坏寿命提高31.5%。玄武岩纤维与抗车辙剂复合改性能明显提升善沥青混合料路用性能。 相似文献
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化学冷烫剂是一种无毒无害的冷烫剂,并且冷烫时间短、不用电、对毛发无断无叉的一种较安全、使用方便的理想烫发剂。1制法(1)氯乙酸2kg氯乙酸中加入5kg水,并不断搅拌下使氯乙酸溶解,待完全溶解后滴加纯碱溶液(用适量的水把纯碱溶解),调节氯乙酸溶液的pH值至6-7为止。(2)硫脉硫腺1.6kg中加水skg,并倒入搪瓷桶中,加热,再加入已中和好的氯乙酸溶液,继续升温至85-90℃,不断搅拌半小时,然后用倾斜法留下沉淀物。归)氰化钡氰化钡s.zxg中加入固体烧碱1.65kg(30%烧碱溶液5.skg左右),放在搪瓷桶中,再加入硫腺溶液15kg,… 相似文献
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合成了含有缩酮保护基团的共聚物聚N-十二烷基丙烯酰胺/1.4-二噁螺环[4,4]壬烷-2-亚甲基甲基丙烯酸酯pDDMA/DNMMA,并用Langmuir技术构建了单层和多层纳米超薄膜,用表面压(π)和静态弹性模量(Es)随平均重复单元面积(A)的变化研究了聚合物在气/液界面上的表面行为。研究结果表明,共聚物pDDMA/DNMMA能在水面上紧密排列,形成稳定的分子取向规整的Langmuir分子膜,其单层膜的厚度为1.6nm;分子的主链平躺在水面上,分子的侧链基团以与水面呈62°夹角向上伸展。与π-A曲线相比,Es—A曲线能更清楚直观地反映单分子层在挤压过程中微观结构的变化。Es-π曲线的研究为优化拉膜工艺条件提供了可靠依据。排列紧密的单分子膜在-定的表面压下,可单层、多层均匀的转移到固体基板上,形成规整有序层状结构的LB膜。 相似文献
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用旋转圆盘试验机研究了4种金属材料的抗空蚀性能。结果表明:亚稳态金属材料Fe-Mn-Si合金,Fe-Cr-Mn-Ni和Fe-Cr-Ni不锈钢空蚀中分别诱发了密排六方晶体结构马氏体和体心立方晶体结构马氏体,其抗空蚀性能依次分别为0C13Ni5Mo的不锈钢的7.3倍,1.8倍和1.6倍;空蚀诱发马氏体相变有助于提高材料的抗空蚀性能,并与空蚀过程中动态相变对应力的响应密切相关;马氏体相变及其逆转变引起的能量耗散和伪弹性大大提高了Fe-Mn-Si合金的抗空蚀性能。 相似文献
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桨叶多发生穴蚀,而有关形状记忆合金抗穴蚀方面的研究较少,为此选用CuZnAl、TiNi涂层、热处理TiNi涂层等几种形状记忆合金材料制作的试件,利用磁致伸缩激振穴蚀装置研究其抗穴蚀性能.试验结果表明TiNi涂层的抗穴蚀能力优于CuZnAl合金,热处理TiNi涂层的抗穴蚀能力优于未经热处理的TiNi涂层. 相似文献
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通过对北碚区茅庵林场内火烧毛竹林地和未烧毛竹林地的土壤抗蚀性和渗透性进行试验并进行相关分析,结果表明;(1)与未烧林地相比,火烧林地的土壤〉0.5mm和〉0.25mm水稳性团聚体相比分别降低了23.80%和17.33%,水稳性指数降低了47.73%,渗透速率降低了65.60oA.(2)火烧林地〉0.5mm和〉0.25mm水稳性团聚体含量与初渗速率及平均入渗速率为正相关,即其水稳性团聚体含量愈高,入渗速率愈慢,而未烧林地则相反.森林火灾较大程度改变了土壤的抗蚀性和入渗特征,通过对其研究可更合理地恢复灾后森林结构和功能. 相似文献
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浴剂主要是以硫酸钠、氯化钠、硼砂、碳酸碳盐等无机盐类混合物为主要原料,再加入油类、香料及色素等辅辩配合而成的日用品。它具有软化水质、增强水的洗净能力,能增添浴水的色泽和芳香,使浴者爽心悦目,添加温泉中含有的成分或其它药用成分,使之具有美容健身效果等特点,在国外非常流行。现简介如下: 一、护肤浴剂这类浴剂能调和浴水的香味和色调,使浴者心情舒畅,起到促进血液循环和恢复疲劳等功效。配方1 硫酸钠 58 (重量比%) 相似文献
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控释剂对表面酸蚀的牛牙釉质再矿化研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在模拟人工口腔中,含氟控释剂释放出的F^-与人工唾液中的Ca^2+等离子组成一个矿化系统,可对牛牙釉质早期龋进行再矿化,使硬度值上升,初步证实此中期控释系统(10 ̄15d)对人工龋有再矿化效果。 相似文献
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高水头泄水建筑物反弧抗蚀体型研究 总被引:1,自引:1,他引:0
针对高水头泄水建筑物反弧段的反弧末端易发生空蚀破坏的问题, 从改善体型的角度出发, 采用理论分析与数值计算的方法, 通过比较, 得出一种抗空蚀性能较优的反弧曲线形式, 便于在工程实践中推广应用。 相似文献
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精制润滑油装置中的抗焦剂性能 总被引:2,自引:0,他引:2
在糠醛精制润滑油装置中,结焦、腐蚀现象严重影响了设备的长周期安全运转,添加抗焦剂是解决这一问题的有效方法.本课题着重研究抗焦剂的抗结焦性能,并研制出一种性能较好的抗焦剂. 相似文献
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对贵州中部石灰岩喀斯特地区3种林分(常绿阔叶林,构树林和灌木林)林地土壤的抗蚀性指标进行主成分分析,并以农地土壤作对照,研究表明,用抗蚀性指标主成分分析综合指数表明3种林分林地土壤抗蚀性为:阔叶林(88.90)〉构树林(77.02)〉灌木林(62.69);表层土壤抗蚀性(97.14)高于亚表层土壤抗蚀性(67.30),土壤抗蚀性从表层向下呈下降趋势。通过聚类分析可将贵州中部石灰岩喀斯特不同土地利用类型不同层次的8土壤样本划分为抗蚀性强度不同的3类,与评价结果一致。 相似文献