等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究

用实验方法研究了在感应耦合等离子体(ICP)的干法刻蚀过程中，工艺参数对刻蚀速率的影响．研究结果表明，刻蚀速率随SF6气体流量、自偏压以及射频功率的增大而增大，但当SF6气体流量、自偏压达到一定值后，刻蚀速率开始降低．实验中对工艺参数进行了优化，在射频功率为500W、自偏压为150V、流量为50cm^3／s，以及SiO2和Si3N4的选择比为15的条件下。硅的刻蚀速率达到了0．80μm／min．     

等离子体刻蚀工艺的优化研究

本文基于对硅的等离子刻蚀（RIE）工艺参数的研究,得出了刻蚀速率与射频功率、刻蚀气体压强和刻蚀气体流量之间的关系曲线[1],优化了刻蚀硅的工艺条件。通过台阶仪的测量,实验结果表明优化工艺条件下的硅化物的刻蚀具有较高的刻蚀速率和较高的选择比。     

利用SiCl4/Ar/H2气体ICP干法刻蚀GaAs材料

利用SiCl4/Ar/H2气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀GaAs材料,研究反应气体流量、样品室压力、源功率RF1和RF2等参数对刻蚀速率的影响.结果表明:在反应气体SiCl4,Ar和H2的流量分别为2,4,1mL.min-1,样品室压力为0.400Pa,RF1和RF2的功率分别为120,500 W的最佳优化参数下,得到的刻蚀速率为486nm.min-1,且同时满足垂直而光滑的台面.利用该优化后的配方刻蚀GaAs衬底10min后,得到大面积的光滑表面,其粗糙度为0.20nm.     

分离富集技术在ICP光谱分析中的应用

近年来，仪器分析的发展突飞猛进，正如分析化学一样，仪器分析不仅应用于化学领域，而且已应用于其他很多学科领域之中。电感耦合等离子体发射光谱法（简称ＩＣＰ－ＡＥＳ）是一种成分分析方法，可对约７０种元素（金属元素及磷、硅、砷、硼等非金属元素）进行定性及定量...     

ICP新光源及其发展概况

本文重点介绍电感耦合高频等离子体光源的形成、应用和发展趋势。     

ICP—AES中无机酸非光谱干扰机理的研究

本文较深入地探讨了无机酸（ＨＮＯ３，ＨＣｌ，ＨＣｌＯ４，Ｈ２ＳＯ４和Ｈ３ＰＯ４）在ＩＣＰ—ＡＥＳ中非光谱干扰的机理。应用相关分析的方法对干扰因子与溶液提升量间的关系进行了分析，结果表明，无机酸引起的干扰效应主要是物理干扰，即由溶液的比重，粘度等物理性质的变化所引起，并建立了酸效应干扰因子与溶液提升量之间关系的酸效应方程。该方程可用于酸效应的校正，而无需采用参比样品的酸浓度匹配手段。     

频率组合对容性耦合等离子体SiO_2刻蚀的影响

使用两种频率组合(60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz)激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀的实验研究.结果表明,两种频率组合中,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频自偏压的增大而单调上升,然而,两种频率组合中SiO2的刻蚀速率随气体流量比的变化呈现出不一样的趋势:在6%流量比时,60 MHz/2 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最小值,而41 MHz/13.56 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最大值;随后60 MHz/2 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加有所增加,而41 MHz/13.56 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加呈现出先增加后减少的趋势,并且在20%之后表现出了沉积效果.60 MHz/2 MHz频率组合的SiO2介质刻蚀后的粗糙度优于41 MHz/13.56 MHz.     

ICP -AES测定魔芋粉中微量元素的方法研究

提出魔芋粉中多种微量元素的等离子体原子发射光谱 (ICP -AES)测定的方法 ,采取四种不同的样品消化方法 ,测试了不同样品消化方法下的精密度和回收率等。结果发现采用方法D消化样品具有灵敏 ,准确及多元素同时测定 ,操作简单 ,快速等优点     

硅的反应离子刻蚀实验研究

采用SF6和O2为刻蚀气体,在275m(torr)的反应压力下对硅进行了反应离子刻蚀实验研究。通过不断调节射频功率、刻蚀气体的流量等系列对比实验,研究、探索并优化了对硅的反应离子刻蚀工艺条件。实验研究得出的最优化条件:射频功率为120W,SF6和O2的流量为36cm3/s和6cm3/s。在该工艺条件下获得三个重要的刻蚀参数:刻蚀速率为1036nm/min,对氧化物的选择比为56.6,均匀性为4.41。     

三结砷化镓太阳电池干法刻蚀技术研究

通过采用Cl2/BCl3/Ar作为刻蚀气体对三结砷化镓太阳电池隔离槽干法刻蚀工艺进行研究。针对单参数对刻蚀速率及刻蚀形貌的研究,摸索出最优工艺参数。研究结果表明采用合适的工艺参数,可以实现隔离槽一次刻蚀,并且干法刻蚀技术制备的二极管电性能良好,能经受环境适应性试验和可靠性验证。利用干法刻蚀技术,刻蚀精度大为提高,刻蚀形貌也大为改善,二极管制备合格率提高了2.5%以上。     

感性绕组直流电阻快速测试仪的研制

提出了一种动态测量感性绕组直流电阻的新方法,该方法通过采样被测绕组充电过程中电压、电流信号,借助于V／V、I／V转换、自动程控放大器A1,A2、采样保持器S／H、多路切换开关MPX、模数转换器A／D、单片机等器件,实现了快速测量感性绕组直流电阻的目的。该法对测试电路电源、外串电阻要求不高且不需要预先测量被测绕组的电感量,一次即可完成直流电阻的测量。直流电阻表达式中,不含微分项,简化了要求,从而易实现,易编程,有较高的精度。组成的测量装置表明方法是可行的。     

入境废塑料17种重金属元素含量检测分析

为了研究入境废塑料中重金属元素的含量情况,在宁波口岸抽取了16个样品,检测了17种重金属元素的含量。结果表明,抽取的入境废塑料中含有一种或多种重金属元素,其中铝、铅、钡等重金属元素的含量较高。废塑料中的重金属会带入到再生利用制品中,目前检验检疫标准中也没有对入境废塑料中重金属元素含量进行明确规定。文章对宁波口岸入境的废塑料进行重金属元素检测分析,供有关部门建立相应标准作参考。     

Application of Automated Guided Vehicle (AGV) Based on Inductive Guidance for Newsprint Rolls Transportation System

Introduction AutomatedGuidedVehicles(AGVs)findapplication inindustrialindoorandoutdoorenvironmentstransporting rawmaterialsfromthewarehousetotheshopfloor, componentsfrommachinetomachineandthefinished productsbacktothewarehouse[1,2].Owingtothegreat applicationofAGVs,theywillplayanimportantroleinthefuture.Thistendencyhasattractedattentionofmany researchersintheareaofengineering,computerscience, locomotion,andsoon[2,3,4].Inthispaper,aneffective approachtoapplyAGVstotransportnewsprintrollsi…     

水下铁磁性腔体外部感应磁场研究

在水下铁磁性腔体上测量地磁场必须消除干扰磁场的影响,其中感应磁场是干扰磁场的主要组成部分,它随着腔体方位的变化而变化。分析腔体感应磁场的有限元计算方法,建立二维、三维数学模型,重点是采用有限元积分法添加了Neumann边界条件,得到了腔体感应磁场方程。通过将二维模型的解析解与数值解相比对,验证了二维和三维感应磁场方程的正确性,从而运用数值计算方法得到腔体位置、姿态变化时感应磁场的分布。     

中高压铝电解电容器用阳极箔腐蚀扩面技术研究

隧道型腐蚀扩面技术是制造高比容中高压阳极箔的最经济、最有效的方法.中高压隧道型腐蚀的前处理中添加助剂可以使腐蚀孔分布更加均匀,从而获得高腐蚀比电容;盐酸是一次腐蚀点蚀发孔的关键成分,添加硫酸可使点蚀孔密度增加、极限长度缩短.二次腐蚀可扩大一次腐蚀生成的蚀孔孔径.     

应用于高压设备测温系统的感应取电电源设计

使用数字无线传感器是一种有效的监测高压电气设备温度状态的方法。为了实现高压设备无线测温系统的完全独立工作,设计了一种基于高压母线感应取电的电源。该电源由母线取电装置和锂电池组成,可以实现对无线测温模块的不间断供电。完成了电源的硬件电路设计,并对母线取电装置的硬件参数作出了优化计算。经过PCB实验板的实际运行和仿真实验,证明本电源可以满足设计要求,应用本电源可以很好地提升无线测温系统的运行可靠性。     

多沟道电荷耦合器件的研究进展

介绍了两沟道和三沟道BCCD的工作,并对其实现多光谱成像的应用前景进行了分析和讨论．研究结果表明：利用不同材料制成的单片BCCD可以分别在0．5～0．83μm和0．6～1．8keV区域实现多光谱成像．     

林语堂翻译《浮生六记》之“女性崇拜”情结

大凡研究林语堂的学者,常常触及《红楼梦》对林语堂女性观的形成以及其文学创作的巨大影响,而对林语堂在翻译中所受到的影响却鲜有提及。《浮生六记》是林语堂先生的代表译作,而这两部作品最大共同之处就是对女性的尊重。本文试图从林语堂所译的《浮生六记》中探寻其问的“女性崇拜”情结。     

柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究

设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10 kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求.