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硅压阻式低压传感器研制 总被引:3,自引:0,他引:3
以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0~20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。 相似文献
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硅压阻式加速度传感器的结构研究 总被引:2,自引:0,他引:2
结合实际器件设计,对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁,四梁和双岛五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较,得到了理论计算的灵敏度,固有频率和阻尼等特性,器件的测试结果与理论计算基本相符,目前三种结构的器件都已实用化,封装后的小于1g。该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据。 相似文献
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低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种低g值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构,通过理论分析与计算,说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。 相似文献
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针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用. 相似文献
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蔡明华 《青岛海洋大学学报(自然科学版)》1995,25(1):91-96
分析压阻传感器灵敏度温漂特性。根据灵敏度与温度成指数或近似线性有关系,设计两种实用实用温度补偿电源,实现对灵敏度温漂的补偿。 相似文献
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针对普通压力变送器精度低的缺点,在原理分析的基础上,提出了非线性误差正负不同时完整的补偿电路及参数选择方法,实现了低成本、高精度的测量.经实验表明,其非线性误差降低很大.补偿电路简单易行、性能可靠、经济实用. 相似文献
8.
通过对固态压阻传感器的理论分析和实验,证明固态压阻传感器非常适用于酒阀静态试验台啤酒液位的测量. 相似文献
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樊延虎 《延安大学学报(自然科学版)》2000,19(1):36-38
讨论了压阻式气压传感器在大气压力探测中的应用问题 ,设计了一种探测电路 ,并对其原理和性能时行了分析 ,得到了好的研究结果 相似文献
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采用溶胶-凝胶浸渍提拉法制备出纳米钇-铝共掺杂氧化锌(Y-AZO)透明薄膜,利用XRD、EDX、SEM、UV-Vis测试对薄膜进行了表征.结果表明:Y-AZO晶粒为六角纤锌矿结构,当Al的掺杂量高于或等于Y的掺杂量、退火温度为500℃时可以得到不含杂质的均匀透明的薄膜,且薄膜在400~780 nm 可见光范围内平均透过率在87%以上. 相似文献
12.
本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证了理论结果的正确性。 相似文献
13.
用有限元法计算了国产200MW汽轮机高、中压转子的温度场、应力、临界裂纹尺寸、寿命消耗等。分析计算了重庆电厂8次典型的冷态启动以及多条自拟启动曲线,详细讨论了升速过程中的几个主要问题,提出了在转子温度较低阶段还应该用断裂力学法来评价启动过程。 相似文献
14.
周有洲 《华南理工大学学报(自然科学版)》1988,(4)
本文根据各向异性弹性理论分析了压阻式传感器的压阻特性。利用计算机,解决了矩形器件的分析计算问题。给出了典型的计算结果和应用。简要地介绍了编制的计算机程序,可供分析和设计时使用。 相似文献
15.
本文对形如Mf±Ng(M≥0N≥0)形式的函数的拟导数(Mf±Ng)′x的存在性及其与Mf′x±Ng′x的关系进行了研究,所得结论是一些相关文献中结论的完善和推广 相似文献
16.
水泥与减水剂相容性的流变学研究 总被引:3,自引:1,他引:3
通过考察水灰比、减水剂类型、水泥等因素对水泥与减水剂相容性及净浆流变性能的影响,研究相容性与浆体流变性能的关系,阐述了相容性的流变学含义.研究结果表明:掺减水剂的水泥净浆的流变特征符合一般宾汉姆流型或牛顿流型.Marsh筒法检测的流速是浆体屈服应力和黏度系数的综合反映;饱和点掺量与饱和点Marsh时间分别代表了浆体屈服应力和黏度系数降低至最小恒定值时对应的减水剂最小掺量,以及最小黏度系数的大小. 相似文献
17.
贾荣宝 《合肥工业大学学报(自然科学版)》1996,(4)
与传统的重结晶法相比,复盐共沉淀转晶法是生产试剂钼酸铵的一种理想的新方法。其特点是复盐共沉淀除杂质和将多种晶型结构的钼酸铵混合物转为单一晶型结构的仲钼酸铵,解决了试剂钼酸铵生产中的关键难题。 相似文献
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严家森 《西华师范大学学报(哲学社会科学版)》1994,15(2):147-150
讨论了无穷维欧氏空间的正文变换与镜面反射的关系;正交变换、对称变换、对合变换的关系以及n维欧氏空间的正交变换的不变子空间的正交补也是它的不变子空间的性质,在无穷维欧氏空间的情形. 相似文献
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