X射线光刻机的开发研制

X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制动机，提出在X射线光刻机设计中要注意的几个主要问题。     

碘化汞室温X射线探测器的研制

碘化汞室温Ｘ射线探测器的研制李正辉，邹联隆，曹瑞钦，李伟堂（材料科学系）自本世纪７０年代初Ｗｉｌｌｉｎｇ等首先用碘化汞（ＨｇＩ２）晶体制成室温半导体核辐射探测器［１］以来，该晶体在生长和应用等方面都取得了很大的进展［２～４］．由于ＨｇＩ２晶体有效原子...     

小型化管激发X射线荧光仪的研制

新一代的小型化管激发X射线荧光测量仪,是为适应地质大调查的需要而研制的.该仪器采用了低功率小型X射线管及35kV高压电源构成的可控X射线源,小型低功耗电致冷Si-PIN半导体探测器,袖珍型计算机为工作平台构成X射线荧光能谱分析系统,根据工作环境的要求,在驻地可直接使用笔记本微机,使其功能强大,直接成图成像及解释.在野外使用掌上电脑,实现仪器的便携化及原位测量.分析元素范围可从S(Z=16)至U(Z=92),检出限为1/106～1/105,可用于地质矿产调查、大比例尺化探测量、环境调查、工业、考古等领域.     

便携式Si（Li）X射线探测器的研制

报道了所研制的便携式Ｓｉ（Ｌｉ）Ｘ射线探测器，其能量分辩为１５３ｅＶ，液氮保持时间为４０ｈ，充满液氮后的重量为８．２ｋｆ，已用于携带式同位素激发Ｘ射线荧光分析仪中。     

海底X射线荧光探测系统的研制

研制的海底 X射线荧光探测系统是以新型电致冷 Si- PIN半导体探测器为 X射线探测器 ,以放射性同位素源为 X射线荧光激发源 ,在无液氮冷却条件下 ,能够实现对水底沉积物的原位测量 ,且一次测量可同时完成 5种以上 ,甚至多达十余种元素的定性、定量测定。其检出限可达 (10～ 2 0 0 )× 10 - 6 ,分析精度可达 2 %～ 10 %。     

单色软X射线木材密度计的研制

在直接发描械Ｘ射线木材密度计基础上，研制了单色软Ｘ射线木材密度计。相对直接扫描式Ｘ射线木材密度，它具有木材质量吸收系数大，灵敏度、准确度和精确密度高，射线管电压电流可调及多次测量叠加等优点，为材性改良等研究提供了崭新手段。     

X射线脉冲星的观测事实

综述有关Ｘ射线脉冲星的基本观测事实及最新进展,涉及双星、中子星及强磁场等方面的观测证据。并介绍了中子星及其伴星质量的测定。     

合肥光源深X-射线光刻模拟

论文对合肥同步辐射光源开展深度X-射线光刻进行了理论模拟。利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响。为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响，构建了一个Monte Carlo模型并进行了模拟。计算结果表明，合肥光源深度光刻的图形精度较高。     

三维残余应力及深度分布的X射线分析和计算

针对X射线法在测定铍等轻元素材料内部残余应力及其深度分布时的不足，研究一种分析和计算轻元素材料内部全三维残余应力及其深度分布的新方法，提出了包括考虑平衡条件和表面边界条件的基于线弹性理论的一种模型方程，对分析和计算原理，实验装置和实验作了介绍，编制出相应的计算机数据处理程序，能够对轻元素材料表面及内部任何一点进行全三维残余应力分析和计算，文中最后用铍的实验数据对程序进行了验证，结果表明，正应力分量σ11，σ22随黉度的变化较大，而切应力分量σ12，σ13和σ23及正应力分量σ33均很小。     

He—Ne激光对鲱鱼DNA X射线衍射谱的影响

用He-Ne激光处理鲱鱼DNA，测试处理前后鲱鱼DNA的X射线衍射谱。结果显示处理前后鲱鱼DNA的X射线衍射谱发生了明显变化。为激光生物学效应的机理解释提供了实验依据。     

X射线Bragg-Fresnel元件中金属吸收层的热变形问题

研究 X射线 Bragg- Fresnel元件中金属吸收层的热变形问题 .给出因 X射线辐射引入的热载荷所产生的金属吸收层衍射图形尺寸膨胀量及金属吸收层热应力的计算结果 .探讨 X射线 Bragg- Fresnel元件基底材料的选择和厚度尺寸与元件在热载荷作用下热变形的关系     

SSRF显微NEXAFS光束线站初步设计

设计光子能量范围为250－750eV，可覆盖C，N，O，F的K边办以及过渡金属直至Fe的L边，设计的空间分辨率为50－150nm，具备发展到30nm的能力，重点考虑了相干辐射的传输，分析了水平和垂直方向的相空间匹配问题，引入冗余照明的概念，以实现波带板的空间相干照明以及降低束线对光源不稳定性及元件振的要求，设计输出光通量可达10^9phs/(s.0.1%BW)，谱分辨率（E／ΔE）标称值3000，并可根据不同实验调整，实验站设计样品可放在真空，氦气和大气环境中工作。     

高频X射线机中DICOM图像生成的设计方法

针对DICOM3.0标准复杂、内容繁多,软件设计较难的问题,提出了一种高频X射线机中DICOM图像文件生成的程序设计方法。首先分析了DICOM文件的数据结构,然后提出了一种DICOM文件生成的具体程序设计方法:先构建一个数据元结构体的模板数组,用于存储图像的特征值、传输语法、像素数据等,再将各类数据依次写入DICOM文件中。该程序设计方法除了能将BMP文件转换成DICOM文件外,还能将JPEG文件转换成DICOM文件。该程序设计严格遵循DICOM3.0协议,所生成的DICOM文件通过DICOM浏览软件ezDICOM软件实现了显示。程序设计基于VC++6.0。     

基于STM32的接种分离装置控制系统

为实现高效、精确、自动化的接种分离,设计了一种以ARM系列STM32F407型单片机为核心,配备相应传感器、执行器的全自动控制系统。该系统可控制接种分离装置中的各个执行部分的动作,并与外部扫码器、RFID射频读卡器、触摸屏以及PC机进行数据交换处理,以实现样本采集、细菌培养、实验数据存储以及授权扣费等功能。本仪器取代了传统的人工操作,真正实现无菌操作,减少了医务人员感染病毒的几率,填补了目前国内技术空白。     

自动售货机的逻辑电路设计与仿真

自动售货机是能够根据投入的钱币自动售货的机器,文中给出了利用数字逻辑电路设计自动售货机的具体过程,并通过Muhisim软件平台进行仿真调试,验证了设计的正确性．     

粉末多晶X射线衍射积分强度公式的研究

分析了粉末多晶X衍射积分强度公式常见推导方式中存在的问题 ,即近似条件不明确 ,物理图象欠清楚。采用本文总结的正空间———倒空间———正空间分段分析方法 ,提出了一个物理图象清晰的新的推导方式 ,最后同样得到粉末多晶X射线衍射积分强度公式     

X射线与胶片作用的定量分析

介绍一种测定工业射线胶片重要参数 (感光度、平均斜率及增感系数 )的方法 .通过一次射线曝光获得 14对光学密度与曝光量的对应值 ,用这一组数据就可得到一条完整的特性曲线 ,从曲线上可求出胶片的感光度、平均斜率、灰雾度、宽容度和最大黑度 (即最大光学密度 )等参数 .如果曝光时在胶片的一半加上增感屏 ,还可同时获得有增感屏时的特性曲线 ,从两条曲线上可求出胶片加铅箔增感屏的增感系数 .测量了不同电压下的增感系数 ,结果表明 ,随着管电压的增加 ,2 0 0kV后 ,增感系数快速增加 .