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多晶硅压力传感器温度自补偿性能研究 总被引：3，自引：0，他引：3
介绍了多晶硅压力传感器的温度特性。重点研究了ＬＰＣＶＤ．Ｐｏｌｙ－Ｓｉ膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响。通过理论分析和实验研究，找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值。获得了工作温度高，温度特性好的压力传感器，实验结果与理论分析相符。 相似文献
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MEMS压力传感器的温度补偿 总被引：1，自引：0，他引：1
研究了恒流激励条件下批量温度补偿的方法.零点的温度补偿是通过在桥臂上并联阻值较大且恒定的电阻来实现的,而灵敏度的温度补偿则是在整个桥臂上并联阻值较小且恒定的电阻来实现的,补偿后零点温漂为0.004%～0.015%FSO/℃,灵敏度温漂为0.0035%～0.024%FSO/℃,这表明这种补偿方法具有良好的效果. 相似文献
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介绍一种新型的单片式电容传感器,同时应用此传感器研制出一种薄膜动态测厚系统,这种装置必将大大提高生产厂家的生产率,提高产品的质量;使经济效益得到明显的提高. 相似文献
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介绍一种新型的单片式电容传感器,同时应用此传感器研制出一种薄膜动态测厚系统,这种装置必将大大提高生产厂家的生产率,提高产品的质量;使经济效益得到明显的提高。 相似文献
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本文是根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系,来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。 相似文献
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光纤光栅应变传感器的温度补偿 总被引：2，自引：0，他引：2
为建立经过钢套筒封装后的光纤光栅应变传感器的温度补偿方法,从封装传感器的微观结构出发,利用光栅与封装套筒在界面上力学作用机理推导出封装传感器的波长变化与环境温度、应变变化值之间的关系式.给出了应变传感器进行应变测量时的温度补偿公式与工程实施方案.室内的标准实验证明:对于封装的应变传感器进行应变测量时,采用建立的温度补偿公式与实施方案能够正确剔除温度影响,得到真实的应变值,如果采用传统的裸光栅温度补偿方法在温度变化幅度较大情况下将导致严重的系统测量误差. 相似文献
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介绍了利用微波无损检测技术测量玻璃钢管壁厚的基本原理及其测量系统 .依据此类玻璃钢管壁厚检测信号的特征 ,建立了壁厚与测试信号幅值之间的关系式 ,探讨了减小该方程式计算误差的途径 ,并给出了改进方程式的方法 .分析结果表明 ,该方法简便易行 ,测算精度较高 ,对于玻璃钢管道及容器等壁厚的检测是有效可行的 相似文献
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微波冷冻干燥过程中光纤测温技术的研究 总被引：6，自引：0，他引：6
分析了半导体吸收波长随温度的变化特性,选用红外发光二极管作为信号光源,光纤采用石英光纤,设定这类半导体吸收式光纤温度传感器的基本参数,建立了半导体材料ＧａＡｓ的透过率与温度关系的数学模型．采用一种基于双波长原理的输送回路来减少测量误差,研制成功了一套半导体吸收式光纤测温系统．在０～１００℃内进行了实验测试．结果表明,改进后的光纤温度传感器可以替代传统的热电偶在微波场中进行实时测温 相似文献
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本文分析氯化钻溶液热色效应的特点,利用这一效应设计了一种医用光纤温度传感器,由实验数据分析钻盐溶液配比变化对传感器输出的影响. 相似文献
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微波介质特性高温测量方法研究 总被引：2，自引：0，他引：2
简要介绍了目前温度高达1000℃以上的介质材料复介电常数测量技术的发展现状，分析了高温介质材料复介电常数测量中的关键技术，给出了多种材料复介电常数随温度变化的曲线。 相似文献
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吕文选 《厦门大学学报(自然科学版)》1989,28(1):39-43
讨论了用微波腔体微扰方法测厚度的分辨率.计算及实验均表明,腔体微扰方法测量厚度具有高的分辨率(0.2μm),文中分析了整机产生误差的主要原因和减小误差的方法,指出扫频源的非线性对精度和稳定性的影响。 相似文献
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分析了颜色传感器TCS230的测量机理,推导和分析了基于三基色的温度测量模型;分析了系统测温误差的原因,同时给出了系统的校正方法与标定方法.实验证明,系统具有较高的计算精度和实用性. 相似文献
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李建朝 《河南科技大学学报(自然科学版)》1997,(2)
本文介绍了采用国产热敏电阻为敏感元件，利用ＰＩＣ１６５Ｘ系列单片机为控制元件所设计的智能温度传感器的原理、组成和应用。该智能温度传感器成功地应用于玉米淀粉加工过程中的发酵工艺的实时监控等项目中，其原理也可用于其它智能传感器。 相似文献
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分析了一种微波源调频噪声测量方法的原理．研制了一套微波源调频噪声测量系统，并结合实际设计出一种独特的定标方法进行定标．使用该系统实测了一个２２．６８ＧＨｚ锁相稳频信号的调频噪声 相似文献