准分子激光在医疗中大显身手

准分子激光在医疗中之所以得到广泛应用,就在于它和生物组织作用的独特机理——光化学分解作用,从而解决了许多临床治疗的难题。准分子激光是一种波长短、峰值率高的紫外线激光,由于其损伤小,人们又称它为“冷激光”。医学上应用的准分子激光主要有XeCl,308nm;Arf,193mm;KrF,248nm。而最常用的准分子激光源是XeCl激光,有机物体     

强准分子激光脉冲对金属表面形貌的影响

本文介绍了用强准分子激光脉冲在大气下垂直入射到４５号碳素钢、纯铝、黄铜等金属表面，观察到材料表面形貌的不同形态的变化。     

相对论电子束泵浦真空紫外离子型准分子及碱金属蒸汽二聚物准分子激光研究

采用独特的相对论电子束泵浦手段成功地首次观测到碱金属卤化物及稀有气体－碱金属体系离子型准分子Ｘｅ＋Ｒｂ，Ｋｒ＋Ｒｂ，Ｋｒ＋Ｌｉ等以及碱金属卤化物离子型准分子Ｃｓ２＋Ｆ－等１１种新型准分子的真空紫外辐射，并在世界上首次实现了至今未能实现的Ｎａ２的紫带，Ｋ２的黄带和Ｒｂ２的红带准分子的受激发射，为电激励金属准分子激光器的开发奠定了基础。     

准分子激光对聚氯乙烯塑料打标的研究

用３０８ｎｍ准分子激光对聚氯乙烯塑料制品进行了打标实验,结果获得了清晰的标记图案．并且该打标方式效率高,速度快,图案清晰,对周围的热影响很小．通过实验优选了打标的能量密度值．对打标过程进行了分析,初步分析了该打标过程中激光作用的机理．     

准分子激光角膜原位磨镶术治疗高度近视

目的：观察准分子激光角膜原位磨镶术治疗高度近视的疗效.方法：采用美国117型准分子激光仪联合自动微型板角膜切削刀使角膜曲率发生改变,从而改变角膜屈光度,提高视力.结果：97.9%患者术后裸眼视力达到术前矫正视力.结论：准分子激光角膜原位磨镶术治疗高度近视早期效果令人满意,远期效果尚待更深入研究.     

准分子激光微细加工

准分子激光对无机和有机材料都有着很好的消融和蚀刻性能 .本文主要描述了准分子激光消融和蚀刻在微细加工方面的应用     

准分子激光光刻AZ1350SF正胶的实验研究

80年代,准分子激光一出现,世界上各先进国家就开展了准分子激光光刻的研究工作。目前,美、日等国准分子激光光刻水平已低于0.4μm的分辨率。他们研究中采用准分子激光多为KrF和XeCl激光,光致抗蚀剂有MP2400,PMMA,PMGI和NOVOLAK等,XeCl激光暴光时采用的是重氮型光刻胶AZ2400。我们采用XeCl准分子激光(波长为308nm)对美国正胶AZ1350SF进行光刻研究,研究中获得一些重要实验结果。     

准分子激光屈光矫正理论研究

详细剖析了国际上最先进的美国ＬａｓｅｒＳｉｇｈｔ飞点扫描式准分子屈光矫正治疗仪的工作过程,分析了准分子激光与生物组织的相互作用机制,从理论上推导出精确的屈光矫正公式。     

用准分子激光对漆包线精细剥漆的研究

对不同能量密度、不同频率的准分子激光作用漆包线的情况进行了实验研究,得出用激光精细剥漆的最佳能量密度,且用最佳能量密度对不同粗细、不同漆厚的漆包线进行剥漆处理,发现剥漆所需的脉冲个数与漆厚有着密切的关系．初步分析了各种实验现象．结论对准分子激光应用于电子工业生产和进入自动化具有重要意义．     

准分子激光对304不锈钢表面的改性研究

将深紫外波段的248 nm的KrF准分子激光作用于304不锈钢,通过调制激光能量、脉冲频率、轰击时间等实验参数,研究了不同参数下的样品表面硬度及表面显微形貌,探讨了激光处理后的材料表面硬度和激光参数以及表面显微形貌之间的关系,分析了激光表面处理对304不锈钢硬度调制的优化参数.     

准分子激光诱导下 a-Si : H 膜的电导率异常

用ＸｅＣｌ准分子激光器对ａ－Ｓｉ∶Ｈ薄膜进行了低能量密度下的辐照处理,测量了激光辐照区内薄膜的电导率随能量密度与脉冲数的变化．研究表明,能量密度在７５ｍＪ／ｃｍ２附近的激光辐照可导致膜的电导率大幅度升高,这种电导率异常是膜表层形成了ｎｍＳｉ晶粒分散于ａ－Ｓｉ∶Ｈ基底中的混合相的反映．     

准分子激光诱导下a—Si：H膜的电导率异常

用ＸｅＣｌ准分子激光器对ａ－Ｓｉ：Ｈ薄膜进行了低能量密度下的辐照处理,测量了激光辐照区内薄膜的电导率随能量密度与脉冲数的变化。研究表明,能量密度在７５ｍＪ／ｃｍ＾２附近的激光辐照可导致膜的电导率大幅度升高,这种电导率异常是膜表层形成了ｎｍＳｉ晶粒分散于ａ－Ｓｉ：Ｈ基底中的混合相的反映。     

气体放电增强准分子激光溅射反应沉积AlN膜

使用氦气放电增强准分子激光溅射反应沉积ＡｌＮ薄膜,讨论了脉冲能度,氮气放电基底温度等因素对膜的性能的影响,实验结果发现,当ＤＥ＝１．０Ｊ．ｃｍ＾－２,Ｐｎ２＝１００×１３３．３３Ｐａ,Ｔａｕｂ＝２００℃,Ｖ＝６５０Ｖ,ｆ＝５Ｈｚ,ｄｓ－Ｔ＝４ｃｍ时,高质量的ＡｌＮ薄膜被成功沉积于Ｓｉ（１００）基片上,Ｘ射线衍射和光谱分析表明,所制备的薄膜具有高取向性的ＡｌＮ（１００）多晶膜,禁带宽度约为６．２ｅＶ     

准分子激光淀积装置真空系统的设计

设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气的情况下将样品转移至主室。文中描述了关键部件的功能与结构。     

准分子激光沉积(Ba1-xSrx)TiO3铁电薄膜

通过准分子(308mm)激光将(Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜剥离沉积在Si(100)基片上.随着沉积温度的增加,BST薄膜的结晶性显著提高.在600 ℃附近沉积的BST薄膜(400 nm)有良好的结晶性,介电常数为300,损耗因子为0.015,漏电流密度达到2×10-10 A/cm2,电荷存储密度QC为35 fC/μm2(外电场12.5 kV/cm).研究了MFS结构的C-V特性和I-V特性,BST/Si之间存在很好的界面,表现出良好的电性能.     

聚硅烷在XeCl准分子激光作用下光降解及亚微米光刻的研究

采用３０８ｎｍＸｅＣｌ准分子激光研究了聚硅烷溶液和聚硅烷薄膜的光降解反应，利用玻璃片为基底，旋转涂布，分别以酚醛树脂和聚氨酯为平坦层，以聚硅烷为成像层和阻挡层，构成双层工艺，进行接近式曝光，用混合溶剂显影，并通过Ｏ２－ＲＩＥ处理，最终得到了亚微米的光刻图形。     

准分子激光前端光束形态控制技术研究

在高功率准分子激光系统中,前端光束形态直接决定着系统输出的光束形态,并直接与靶物理需求密切相关。主要介绍了窄脉冲准分子激光前端光束形态控制的实验研究进展,基于散射法获得了满足系统要求的部分相干源, 直接利用三束激光脉冲堆积获得了平顶整形脉冲,并结合放大实验结果对上述实现方法进行了评价分析。     

基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展

微流体芯片作为一种新型的生物芯片被广泛应用在生命科学等领域,而准分子激光在生物芯片加工过程中有着快速、可控和高效的特点,正逐渐应用于微流体芯片的制造,并有着广阔的发展前景。简要介绍了微流体芯片的技术特点,重点介绍了近年来国外基于微流体芯片制作的准分子激光微加工技术的研究进展和应用,分析了影响准分子激光加工微流体芯片技术发展的因素,并对此技术的今后发展趋势进行了展望。     

未行准分子激光屈光性角膜手术的原因探讨

探讨了未行准分子激光角膜屈光手术的具体原因。对519例患者经术前系统检查和沟通后未行手术的原因进行了总结分析。519例中主观原因未行手术者占56.3%(292/519),客观原因者占43.7%(227/519);其中心理因素占53.4%(156/292),手术动机占35.3%(103/292),经济因素占6.8%(20/292),年龄偏小占4.5%(13/292);角膜厚度不足占56.8%(129/227),最佳矫正视力不良占13.2%(30/227),可疑圆锥角膜占10.6%(24/227),眼底病变8.8%(20/227),干眼5.7%(13/227),高眼压占1.8%(4/227),其他占3.1%(7/227)。准分子激光屈光性角膜手术具有高度的选择性和严格的适应症。