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相似文献
 共查询到18条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
采用直流气放电活化反应蒸发法,沉积成SnO2超微粒子薄膜。以不同能量的离子束轰击薄膜表面,用扫描电子显微镜、俄歇电子能谱仪等,分析了离子束作用对SnO2UPF表面形貌和化学组成的影响,同时研究了离子束作用前后,SnO2UPF对乙醇的气敏性质的变化。  相似文献   

2.
利用XPS方法,分析四种由不同CVD温度(250~550℃)淀积在n-Si衬底上形成异质结的SnO2透明多晶薄膜的表面。定性和半定量分析表明,表面存在三种氧物种,在加热吸附H2前后,相对含量发生变化,变化大小与制备温度有关,根据实验结果和分析,研究薄膜H2吸附机理,讨论SnO2薄膜的气敏与SnO2/n-Si异质结光伏的关系以及制备温度对薄膜吸附反应性能的影响。  相似文献   

3.
研究了在聚氯乙烯(PVC)中,Sb_2O_3-ZnSn(OH)_6,Sb_2O_3-ZnNH_4PO_4,ZnSn(OH)_6-ZnNH_4PO_4二元体系的协同阻燃性能,以及Sb_2O_3-ZnSn(OH)_6-ZnNH_4PO_4三元系的阻燃性能,采用混料回归实验设计,导出了三元系氧指数与阻燃剂含量关系的数学模型,经计算机计算并绘制出了氧指数等值图,该体系中Sb_2O_3-ZnSn(OH)_6,Sb_2O_3-ZnNH_4PO_4复配具有正的协同作用,而ZnSn(OH)_6-ZnNH_4PO_4复配则表现为负的协同作用。  相似文献   

4.
MOPECVD法制备超微颗粒SnO2薄膜   总被引:3,自引:1,他引:2  
以SnCl4液体为锡源用MOPECVDE方法制备出了SnO2薄膜,用X射线衍射仪和透射电镜(TEM)分析了薄膜的晶体结构和SnO2晶体的颗粒度,优化出制备超微颗粒SnO2薄膜的最佳工艺,并给出此膜蒸发上电极,制成SnO2气敏器件,测量其对乙醇的气敏特性,实验证明减小SnO2晶体的粒度可以改进元件的气敏特性。  相似文献   

5.
SnO2:Sb薄膜型材料的气敏性研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
研究了用轴流式等离子体化学气相沉积制备的SnO2:Sb掺杂薄膜的气敏效应。该薄膜对NO2气体有较好的气敏性,在常温下响应时间快,在170℃恢复时间可小于15s。灵敏度达6左右。还测定了SnO2:Sb薄膜对CO,H2,酒精气体以及右油液化气的气敏效应,并对以上结果进行了分析。  相似文献   

6.
研究了磁等离子化学气相沉积的不同工艺条件对SnO2薄膜导电性能的影响,实验结果表明,外加适当位移,大小的纵向磁镜场,可使等离子体化学气相沉积技术中制备SnO2薄膜所需的氧气流量降低,沉积时间缩短,且制得的薄膜电阻大大降低,轴向分布均匀性明显增加,对以上结果进行了分析和讨论。  相似文献   

7.
我们用PECVD方法制备出SnO_2薄膜,透射电镜TEM分析表明沉积温度由高到低时,SnO_2膜从多晶态转变为非晶态,并且其电阻率随之增加;沉积时氧气流量增加时,SnO_2的电阻率增加。  相似文献   

8.
复合氧化物SrTiO3—TiO2氧敏材料的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
将具有氧敏特性的SrTiO3与TiO2复合化,采用电子束蒸发方法,制备了SrTiO2-TiO2薄膜,研究了其氧敏特性。实验结果表明,复合氧化物SrTiO3-TiO2薄膜的n-p型转换点比SrTiO3薄膜的n-p型转换点高,氧敏特性有所改善,从而提高了贫燃共氧灵敏度曲线的线性化。  相似文献   

9.
将具有氧敏特性的SrTiO3与TiO2复合化,采用电子束蒸发方法,制备了SrTiOz-TiO2薄膜,研究了其氧敏特性。实验结果表明,复合氧化物SrTiO3-TiO2薄膜的n-p型转换点比SrTiO3薄膜的n-p型转换点高,氧敏特性有所改善,从而提高了贫燃区氧灵敏度曲线的线性化。  相似文献   

10.
本文对SnO2和掺有3%B2O3的SnO2超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品,其结果并不一样。SnO2膜的感湿特性差,而掺杂的SnO2膜具有较好的感湿特性,而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。  相似文献   

11.
介绍了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备SnO2超微粒薄膜;着重探讨了其有机染料敏化后的光电性质,并结合SEM图的观测和紫外吸收光谱的分析,初步讨论了电池结构等因素对微粒薄膜光电性能的影响  相似文献   

12.
等离子体化学气相淀积法(PCVD法)制备的复合膜SnO2/Fe2O3界面电导特性是由于非平衡反应生成的过渡层的结果。其电导机理可用半导体薄膜理论来阐明:当锡在Fe2O3中的浓度低时,由于准自由电子补偿机制起作用,电导率升高;当锡与铁在过渡层中浓度接近时,杂质散射和晶界电阻增大,电导率急剧减小。  相似文献   

13.
采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和气敏元件,通过XRD和XPS实验分析了复合薄膜材料的物相结构及表面化学状态,测试了该气敏传感器的气体敏感性能,包括灵敏度、选择性等特性,实验结果表明,该复合薄膜气敏传感器表现出较好的气敏性能,对NO2有较好的灵敏度,对其他干扰气体不敏感。对实验结果与气敏响应机理进行了初步的分析与讨论。  相似文献   

14.
报道了用飞秒光克尔实验系统测量镶嵌在聚乙烯醇(PVA)薄膜的二氧化锡(SnO2)纳米晶簇的光学非线性的实验结果,平均粒径为10nm和2~3nm的SnO2晶簇的三阶非线性极化率χ(3)分别为4.301×10-14和1.728×10-13esu,并对其原因进行了分析.实验还表明SnO2/PVA薄膜的光学响应是很快的,为50fs.由于聚乙烯醇薄膜的性能稳定,易于生产,上述结果显示它可能成为制作光器件的优良基质.  相似文献   

15.
以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 .  相似文献   

16.
掺杂Sb的SnO2基陶瓷导电薄膜的研制   总被引:3,自引:0,他引:3  
对 Sn O2 陶瓷导电薄膜的特性、导电机理、制备、应用进行了叙述 ,并且利用喷涂热解工艺制备了 Sn O2 陶瓷导电薄膜 ,探讨了掺杂剂Sb的掺杂量、喷涂溶液的浓度对 Sn O2 导电薄膜电阻值的影响  相似文献   

17.
用真空蒸发SnO2-ZnO,获取超微粒结构的SnO2-ZnO薄膜.实验发现w(SnO2)w(ZnO)=80%20%薄膜有较低的电阻率,对乙醇有较高的敏感性,是较好的酒敏材料.  相似文献   

18.
射频反应溅射纳米SnO2薄膜气敏特性研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越.SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰,在200×10-6体积浓度下接近30.对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究,初步探讨了元件稳定性及其敏感机理.  相似文献   

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