纳米级压电陶瓷微位移系统的研究

介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统,该系统由压电陶瓷微位移工作台和计算机控制的专用驱动电源组成,系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关。阐述了以压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点,并用已研制成的高精度高分辩率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制。     

超精密加工机床的关键部件技术

超精密加工是为了适应现代高科技发展需要而兴起的一种机械加工新工艺,它的发展利用了机床、工具、计量、环境技术、光电子技术、计算机技术、数控技术和材料科学等的进步成果,它是先进制造技术的重要支柱之一。     

现代的精密和超精密加工技术

论述了精密加工和超精密加工技术的发展 ,现代精密和超精密加工的加工范畴、加工方法 ,及其在先进制造技术中的作用和地位 ;分析了各种因素对超精密加工精度的影响     

精密可控微位移器试验研究

本文利用压电陶瓷逆压电效应研制成功了精密可控微位移器.在静动态试验下效果良好,其线性度、稳定性、回零性和滞后量均达到了理想程度,可用于机床误差补偿和热变形补偿系统中.     

现代的精神和超精密加工技术

论述了精密加工和超精神加工技术的发展,现代精神和超精密加工的加工范畴、加工方法,及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了各种因素对超精密加工精度的影响。     

超精密微量进给刀架的研制

介绍一种新型超精密微量进给刀架,该刀架采用双簧片铰链结构的弹性变形体,刀尖高度可实现０～０．３ｍｍ微量调整．实验结果表明,该刀架具有良好的静、动态特性,其轴向静刚度为１００Ｎ·μｍ(－１),行程为０～５ｍｍ,重复定位精度不超过±０．０２μｍ．ｘ方向、ｙ方向的固有频率最低为４．３６ｋＨｚ和４．０５ｋＨｚ．能够满足超精密加工的需要．     

基于微纳米摩擦学的超精密加工技术研究进展

回顾了超精密加工机理研究的几种主要方法，重点介绍了结合微观摩擦磨损和分子动力学模拟的微纳米加工材料去除机理的研究现状。在此基础上，简单讨论了微摩擦磨损与微纳米切削加工的关系，试图说明当切削深度小到接近于刀具的刃口半径时，微纳米切削加工中刀具与工件的作用过程近似于滑动摩擦作用过程，基于微摩擦学的微纳米加工机理的研究是合适的、有意义的。     

压电式微位移补偿机构

设计了一种压电式微位移补偿机构．采用压电陶瓷作为微位移驱动器，柔性铰链为导向机构，对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿，实现了工作台二次精密定位．提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器．可使工作台定位精度达0．01μm．满足许多精密、超精密加工场合需要。     

超精密研磨砂轮结构的优化设计

超精密平面研磨中工件的加工精度受到研磨轮结构参数的影响。为了得到最高的加工精度和最合理的砂轮磨损曲线，必须研究研磨轮的结构参数。通过研究研磨轮的加工精度系数曲线和磨损系数曲线得出：对于大量生产的研磨机床，研磨轮磨损是加工精度的主要影响因素，研磨轮应采用正三角形放射线结构；对于高精度小批量的研磨加工，加工精度系数是主要影响因素，研磨轮应采用反三角形放射线结构。     

精密和超精密加工中粉尘微粒的影响与防止

阐述了粉尘微粒在精密和超精密加工中对加工精度和表面质量的影响,及如何减少粉尘微粒的影响,以保征精密和超精密加工的加工精度和表面质量。并讨论了精密加工和超精密加工中洁净区域气流组织的形式。     

Optimization of Honing Wheel Structure Parameters in Ultra-precision Plane Honing

Free abrasive particle machining in simple machine such as: honing, polishing can get higher surface finish mirror, but surface error, and working procedure is hard to control. Therefore, the vertical disposed ultra-precision plane honing method by ultra-particle diamond honing wheel is put forward to. The results of experiments indicate: plane-honing wheel has higher machining accuracy and machining efficiency. But at the same time the structure parameters of honing wheel effects on machining accuracy. B...     

一种基于软件寻位的数控加工技术

针对传统定位加工技术存在的问题,提出了新的软件寻位加工概念,研究了软件寻位加工中工件寻位问题的求解方法,给出了典型的软件寻位加工控制方法,介绍了软件寻位加工系统和实际加工实验结果,理论研究和实际加工结果表明,所提出的原理和方法是可行的,其主要优点是：通过主动获取工件信息、自动求解工件状态及实时生成加工轨迹,可实现对工件的位姿自适应加工,因而无需使用精密夹具和人工找正,可使单件小批零件的总加工周期比采用夹具的常规达到位加工方法缩短50%以上,具有良好的应用前景。     

高线性数字式电容微位移传感器

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器，采用屏蔽电缆和电容保护环技术，有效降低杂散电容的影响．采用数据滤波技术对采样数据进行处理，提高了测量的准确性和重复性．实验结果表明：该电容微位移传感器的分辨力为0．01μm，全量程线性度0．05％，性能较传统电容位移传感器有较大提高．     

Analysis of the Rotary Ultrasonic Machining Mechanism

Ultrasonic machining (USM) is considered as an effective method for machining hard and brittle materials such as glass, engineering ceramics, semiconductors, diamonds, metal composites and so on. However, the low material removal rate due to using abrasive slurry limits further application of USM. Rotary ultrasonic machining (rotary USM) superimposes rotational movement on the tool head that vibrates at ultrasonic frequency (20 kHz) simultaneously. The tool is made of mild steel coated or bonded with diamon...     

偏正无关光纤干涉仪及其微位移测量应用

提出了一种与偏振无关的新型光纤干涉仪,采用端面镀膜的光纤自聚焦准直器,结合球凸透镜构成共光路光纤干涉仪,其探测光与参考光在同一根普通单模光纤中共光路传输,有效消除了偏振衰落影响。通过理论建模分析,并采用高精度的压电陶瓷作为稳定信号源,搭建了微位移测量平台,实测了三角波驱动电压信号与对应的干涉信号。研究了不同扫描电压下,压电陶瓷位移和驱动电压的关系。实验结果表明,该光纤干涉仪可实现微小位移的精密测量,在超精密机床振动、微型机械、传感等方面具有应用价值。     

大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用

超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.     

超精密加工领域国内外发展状况分析比较初探

超精密加工技术的发展程度决定了我国综合国力的发展步速,因此正确、直观、深入的了解超精密加工的国内外发展状况并进行分析比较,对于加快我国工业发展是十分必要和重要的.     

电容式数字微位移传感器的研究

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器,采用屏蔽电缆和电容保护环技术,有效降低杂散电容的影响。采用数据滤波技术对采样数据进行处理,提高了测量的准确性和重复性。实验结果表明:该电容微位移传感器的分辨力为0.01μm,全量程线性度0.05%,性能较传统电容位移传感器有较大提高。