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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 78 毫秒
1.
多晶硅压力传感器   总被引:2,自引:0,他引:2  
研制一种多晶硅压力传感器.它采用一氧化硅介质膜隔离代替p-n结隔离,提高了工作温度;通过控制掺杂浓度,改善了温度特性.实验表明,该传感器灵敏度高,工作温限高,温度漂移小.  相似文献   

2.
主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。  相似文献   

3.
硅压阻式低压传感器研制   总被引:3,自引:0,他引:3  
以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0~20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。  相似文献   

4.
厚膜压力传感器的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
用厚膜工艺制造压力传感器。研究了厚膜是民阻浆料的是电阻率与压阻系数的关系,承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韬Al2O3陶瓷,大大地提高了压力感器的性能,对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法。  相似文献   

5.
利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。  相似文献   

6.
用厚膜工艺制造压力传感器.研究了厚膜电阻浆料的电阻率与压阻系数的关系.承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韧Al2O3陶瓷,大大地提高了压力传感器的性能.对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法  相似文献   

7.
鉴于传统的硅基MEMS压阻式压力传感器普遍存在温度漂移和时间漂移误差,本文采用恒温控制和恒流源自校正方法针对上述问题设计和研究了一种MEMS压力传感器抗干扰系统。首先,简单介绍了传感器的各项参数和温漂、时漂原理。其次,设计并制作了传感器相关外部抗干扰电路。最后,对该系统进行实验测试。结果表明,抗干扰系统能减小传感器温漂和时漂误差,热零点漂移的绝对值由恒温前的0.0652%FS/℃降至恒温后的0.00788%FS/℃,热灵敏度漂移的绝对值由0.118%FS/℃降至0.0153%FS/℃,时漂补偿后预测误差由-3.436~0.875 kPa降低至-2.086~1.765 kPa。该设计对MEMS压力传感器温漂、时漂补偿等抗干扰方面的研究具有一定参考价值。  相似文献   

8.
为提高C型压力传感器性能,利用有限元方法,对C型结构传感器加工过程中出现的边缘R角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。  相似文献   

9.
低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍一种低g值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构,通过理论分析与计算,说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。  相似文献   

10.
结合扩散硅压阻式压力传感器的研制.根据硅的压阻效应原理,利用方形硅膜的应力分 布公式,论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施.  相似文献   

11.
用改进单纯形算法求解振筒式压力传感器准确度的优化模型.经计算机解算求得最佳拟合方程及国产某振筒式压力传感器的准确度数据  相似文献   

12.
圆容栅传感器结构改进及其精度分析   总被引:3,自引:0,他引:3  
圆容栅传感器是一种角行程传感器,其动栅和定栅是平行放置的两个圆盘,实现了动栅和定栅的完全覆盖,有效避免了灰尘和潮气的入侵。文章在理论分析基础上,对圆容栅传感器结构进行了改进,探索进一步提高其测量精度的途径。与传统的直行程容栅传感器比较,不仅测量范围增大,动、定栅的相对移动灵活性增强,而且进一步增强了抗干扰能力。圆容栅传感器具有良好的应用前景和很高的推广使用价值。  相似文献   

13.
智能型二线制温度变送器   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了一种基于Microchip的低功耗单片机PIC16F877新型智能二线制热电阻(Pt1000)温度变送器的电路设计.分析了系统设计的理论依据和软硬件实现方案,采用温度补偿算法使补偿后的精度等级达到0 1%FS.结果表明:该智能式变送器具有精度高、可靠性好、现场显示,生产调试方便等特点,是老式二线制温度变送器的理想替代产品,具有广泛的应用前景.  相似文献   

14.
压力传感器线性度的有限元分析   总被引:5,自引:0,他引:5  
为了对衡阳钢管厂轧机的轧制力进行实时监测,设计了一套压力传感器.设计了由轧机的结构和工作条件决定的传感器结构,并对其进行标定(压力范围为0~5.88×105 N),得到了传感器弹性元件的线性度,并采用有限元法对其线性度进行分析.利用有限元法不仅可以得到弹性元件应变随压力变化的分布特性,确定最大应力区的位置,还可以通过考虑最大应变及应力集中,确定帖片位置,预测用实验仪器无法测试的压力范围 (0~2.45×106 N)内应变随应力的变化趋势.对实验结果与有限元分析结果进行比较,并对曲线趋势进行预测,结果表明所设计的压力传感器线性度好,能满足使用要求.  相似文献   

15.
以地面观测站点逐小时降水数据为参考,在小时尺度上综合评估对比了两套多卫星遥感降水(GSMa P_MVK,GSMa P_Gauge)产品在广西2010年5月一次极端强降雨事件中的表现。结果表明:1两套遥感降水都能够较好地把握此次降水的空间分布模式,其与地面的相关系数分别为0.73和0.75;2在广西全区,和地面观测数据对比,GSMa P_MVK和GSMa P_Gauge对降水量分别高估了24.34%和45.88%。在暴雨中心,两套遥感降水在成功捕捉到了降水时段变化特征的同时也对总降水量有所低估,低估率分别为17.50%和26.93%;3地面校正后的GSMa P_Gauge在减少了小雨事件漏报的同时也增加了多余的小雨事件;4虽然两套卫星产品对强降水存在一定程度的低估,但它们都能预报到泥石流的发生。  相似文献   

16.
Developed independently by China, HJ-1A/B satellites have operated well on-orbit for five years and acquired a large number of high-quality observation data. The realization of the observation data geometric precision correction is of great significance for macro and dynamic ecological environment monitoring. The paper analyzed the parameter characteristics of HJ- 1 satellite and geometric features of HJ- 1 satellite level 2 data (systematic geo-corrected data). Based on this, the overall H J- 1 multi-sensor geometric correction flow and charge-coupled device (CCD) automatic geometric precision correction method were designed. Actual operating data showed that the method could achieve good result for automatic geometric precision correction of HJ- 1 sat- ellite data, automatic HJ- 1 CCD image geometric precision correction accuracy could be achieved within two pixels and automatic matching accuracy between the images of same satellite could be obtained less than one pixel.  相似文献   

17.
随着油气开采难度的增大,对固井质量和固井水泥浆添加剂的要求越来越高,需要研制开发出新型高渗透水泥浆体系。借助美国产Fann50流变仪,研究了温度和压力对高渗透水泥浆流变性的影响,并与常规水泥浆进行了对比。分析结果表明,一定压力下,高渗透水泥浆的动切力、表观粘度随温度的升高而逐渐降低,流性指数减小;一定温度下,压力对高渗透水泥浆体系流变参数的影响不如温度明显。高渗透水泥浆比常规水泥浆体系具有更好的热稳定性。运用宾汉、幂律、卡森、赫切尔巴尔克莱(H B)、带剪切稀释系数等5种模式对实验数据进行了拟合分析,结果表明,H B模式是描述高渗透水泥浆高温高压流变性的最佳模式。  相似文献   

18.
着重讨论高精密放大器的系统构成及主要性能指标.它主要用于对称重传感器输出的微弱直流信号进行放大,并在一定范围可以调节放大倍数使该信号能够匹配模/数(A/D)转换器的标准信号范围.另外,当称重传感器空载或者加载容器时它都可以实现输出归零,同时当系统连续工作积累的漂移过大时它也可以使输出归零.  相似文献   

19.
气介式弯曲振动换能器的辐射声压及其指向特性   总被引:3,自引:2,他引:1  
讨论了边缘自由的薄板轴对称弯曲振动时的频率方程及其解.给出了频率方程的前 15 个根(σ= 028)和振动频率;推导出各阶振动模式的通用声压及其指向性表达式;绘出了薄圆板轴对称弯曲振动辐射声压的远场指向性图,为分析和设计复合弯曲超声换能器提供了理论依据  相似文献   

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