高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究

高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.      

光栅尺传感器细分的常用方法

本文分析了光栅尺传感器在硬件无法改变的前提下,为提高测量精度所采用的常用方法。     

数显光栅尺机床定位精度检测设计

数控机床作为一种机电设备,定期检测其误差并及时校正螺距、反向间隙等可切实改善生产使用中的机床精度,改善零件加工质量,提高机床利用率。本文提供了一种相对简易的一种精度检验方法,即利用数显光栅尺进行机床定位精度检测。     

基于激光传感器和光栅尺的波纹管尺寸高精度测量系统的应用

该文设计了一种基于激光传感器和光栅尺的波纹管尺寸高精度测量系统,通过运动机构将被测波纹管的二维几何尺寸,分解成水平和垂直坐标,被激光传感器和光栅尺分别测量,最后将数据拟合到一起,形成波纹管几何尺寸模拟曲线,通过计算得到被测量波纹管的长度、波高、波距等参数,可满足于对波纹管外形几何尺寸的高精度测量。系统采用C#设计人机交互软件,通过通信接口把激光传感器和光栅尺实时测量数据采集到上位机,并控制PLC和伺服电机完成测量周期扫描,全程可自动完成测试,与传统人工手动测量相比,大大地提升了工作效率和测量的准确度,适合在波纹管的批量生产和测试过程中使用。     

JR90无线数据采集系统

JR90数据采集系统采用星型网络拓扑结构,并用STD模板,组态灵活。通讯采用异频单工无线方式,复盖方圆50公里,采集的物理量可高达800个.系统采用并行传输、语音和警声报警等先进技术,软件丰富,功能齐全.系统的应用使调度手段科学化,数据信息及时、准确。文中还对通信处理机程序作了重点介绍.     

设备负荷测试微机数据采集及处理系统

本文介绍了应用IBM-PC微型计算机的多路数据采集和处理系统的工作原理,硬件结构及系统软件。该系统具有输入通道多,采样频率可调,采样数据量大,输出显示灵活等特点,已成功地应用于实测工作。     

基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法

提出一种使用回归分析提高绝对式光栅尺测量精度的方法.分析了影响绝对式光栅尺测量精度的因素以及提高其测量精度的方法;对JC09型绝对式光栅尺的测量值和真值进行回归分析,得到回归方程;对回归方程进行了显著性分析,并提出了修正方程;通过实验验证了该方法能够有效提高绝对式光栅尺的测量精度.实验结果表明:在绝对式光栅尺800mm测量长度内,测量精度由0~18.25μm提高到-4.21~5.72μm.另外,该方法具有成本低、计算量少以及易于实现的优点.     

基于FPGA的光栅尺信号处理模块的设计

本文介绍了一种利用ALTERA公司大规模可编程逻辑器件EPF10K10构成的多功能光栅尺处理电路。也介绍了电路的主要构成部分—四倍频细分、辨向电路、计数电路、接口处理的设计原理,同时给出了详细的电路和仿真波形。设计可以应用在直线电机中位置和位移的测量。     

综合测井数据采集及处理系统的研制--数据处理技术

该数据采集及处理系统具有自动采集测井数据、自动识别钻孔剖面地质构造与岩石岩性、解释结果自动显示等功能。采用数字滤波、曲线平滑等处理技术，消除了测井资料中的随机干扰。采用数理统计等技术，归纳出极值方差分层的数学模型，成功地对综合测井数据进行了自动分层处理。     

通用数据采集系统

介绍了具有通信功能的数据采集系统,并重点介绍了通信程序设计,给出了程序框图。     

冰箱温度数据采集与处理系统

分析了数据采集系统的结构,论述了冰箱温度数据采集与处理系统的设计方案,包括硬件设计和软件设计两大部分。提出以单片机(AT89C51)为核心,应用温度传感器(DS18B20)来检测冰箱各箱体内的温度值并通过单片机进行数据处理。同时为了提高系统的准确性,应用Delphi软件对整个系统的数据进行分析处理,使系统更加智能化。     

冰箱温度数据采集与处理系统

分析了数据采集系统的结构,论述了冰箱温度数据采集与处理系统的设计方案,包括硬件设计和软件设计两大部分.提出以单片机(AT89C51)为核心,应用温度传感器(DS18B20)来检测冰箱各箱体内的温度值并通过单片机进行数据处理.同时为了提高系统的准确性,应用Delphi软件对整个系统的数据进行分析处理,使系统更加智能化.     

汽车检测系统数据采集装置的设计

介绍了汽车检测系统数据采集装置的设计方案。讨论了两种数据采集方法,并给出相应的接口电路和程序框图。     

Windows 下数据采集系统的人机界面设计

研究利用ＢｏｒｌａｎｄＣ＋＋４．５的ＯＷＬ２．０类库,在Ｗｉｎｄｏｗｓ下设计界面和如何利用Ｃ语言在Ｗｉｎｄｏｗｓ下编写硬件中断服务程序的方法。在完全脱离Ｗｉｎｄｏｗｓ传统设备驱动程序开发软件包ＤＤＫ的情况下,充分利用Ｃ语言的库函数在Ｗｉｎｄｏｗｓ环境下直接对硬件进行操作;利用Ｗｉｎｄｏｗｓ的系统资源使高速数据采集系统与用户之间的界面更直观,使数据采集系统的使用更为方便,以求达到使用化的程度。     

通信系统实验中的数据采集与处理系统

开发了由３８６微机和数据采集卡组成的多用途音频信号采集与处理系统，其内容包括硬件设计和软件设计。该系统首先对音频信号进行数字化处理，再利用适当的软件完成各种调制、解调、滤波等处理过程，并能在显示器上动态显示其各中间处理过程及处理结果的时间波形、频谱图。该系统可为实验教学提供性能价格比较高的适应性较强的实验设备     

曲面测量中的高速数据采集系统的设计

在高速数据采集系统中、数据的传送方式至关重要。本文详细分析了DMA方式在曲面轮廓测量数据采集中的必要性，给出了DMA方式的硬件线路，叙述了其工作原理和编程方法。     

高精度沉降粒度数据采集和处理系统

阐述作者开发研制的沉降粒度分析仪数据采集和处理系统的核心部件——弹簧电子秤的结构,设计计算及主要性能指标;给出HY6060和AST286为主机的数据采集系统的硬件环境;介绍测量和数据处理,性能检测两个软件包的主要功能和使用;最后给出数据测试结果。     

距离码光栅尺带位移编码标记的线性测量系统应用研究

<正>德国HEIDENHAN(海德汉)光栅尺公司推出了一种带位移编码标记的直线光栅尺(distance-coded reference),这种线性测量系统返回参考点不需要参考点减速挡块,利用光栅尺上相邻的参考标记,就能确定参考点的位置,这就给使用者中带来了方便。1结合西门子840D系统HEIDENHAN距离码光栅尺原理及调试中应用。在840D系统中使用HEIDENHAN光栅尺的距离码回参考点功能时,必须在840D系统设定以下参数。(1)MD34000 REFP_CAM_IS_ACTIVE设为0表示回参考点时,