微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜

采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在ＣＨ４／Ｈ２，ＣＯ／Ｈ２和（ＣＨ４＋ＣＯ）／Ｈ２气体体系下合成了金刚石薄膜。结果表明，所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质。（ＣＨ４＋ＣＯ）／Ｈ２体系合成的金刚石薄膜具有较高的生长速率和晶面定向生长的特性。     

金刚石薄膜／立方氮化硼异质结的制备

利用高温高压合成的立方氮化硼单晶材料，采用恒浓度高温扩散方法制备ｎ型立方氮化硼半导体材料。通过化学气相沉积方法在ｎ型立方氮化硼上外延生长ｐ型金刚石薄膜。在基础上，通过欧姆接触电极的制作，制备出金刚石薄膜／立方氮化硼异质ｐｎ结，并给出ｐｎ结的伏安特性曲线。     

丙酮对金刚石膜生长速率的影响

采用灯丝热解化学气相沉积方法，在不同的碳源气体氢气中合成金刚石薄膜，并研究不同工艺条件下金刚石膜生长速率。结果表明，在较低的灯丝分解气体温度和较近的灯丝与衬底距离条件下，以丙酮为碳源气体合成的金刚石膜具有 的生长速率的较好的质量。     

金刚石合成技术的新发展利用燃烧的火焰在空气中合成金刚石

<正> 一、前言作为工业材料,金刚石发挥着极其重要的作用。也就是说:金刚石除具有最硬的特性外还具备耐磨损性,很高的折射性、光学性质(如透紫外线性、可见性和透红外性)及耐药品腐蚀性等等。因此在精密机械工程学、电子工程学、应用化学、光及医疗工程学等方面、得到广泛的应用。成为现代工业中不可缺少的重要材料。迄今为止,在气相法合成金刚石的范畴中,已报     

电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究

随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰性,高热导率,低热膨胀系数等优异性能,而金刚石--镍复合镀层正是具有上述的综合优点,于是成为这种切割工具的最佳材料.本文通过研究金刚石--镍复合镀沉积速率,分析了金刚石--镍复合镀的内在机理,得出了电镀金刚石--镍复合膜的沉积速率分布,有利于电镀出各种厚度的金刚石--镍复合膜,为进一步提高金刚石--镍复膜产品质量作了有力准备.     

含卤素源物质的金刚石薄膜淀积

含卤素源物质的金刚石薄膜淀积曹传宝（复旦大学）彭定坤，孟广耀（中国科学技术大学）关键词：金刚石，微波等离子体，化学汽相淀积，四氯化碳。０引言金刚石具有非常特殊的性质，它的硬度和弹性模量是已知材料中最高的，高导热性和高绝缘性兼备，有很高的电子／空穴迁移...     

氧氛围下PLD法沉积纳米金刚石薄膜

用固体脉冲激光 (Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2 O3(0 0 0 1)上沉积纳米金刚石薄膜 .用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析 .结果表明 :显微Raman谱出现三个峰包 :115 0cm- 1 、13 5 0cm- 1 、15 80cm- 1 ,分别对应着纳米金刚石特征峰、石墨的D峰和G峰 ;XRD衍射谱在 41.42°出现金刚石的 (10 0 )衍射峰 .实验结果表明 ,影响薄膜生长的关键参数主要是氧气压的大小和衬底的温度 .在氧气压为 6Pa和衬底温度为 5 5 0℃时 ,制备的薄膜质量较好 .对用PLD法在氧气氛围下生长的金刚石薄膜的生长机理进行了分析     

有机硅树脂薄膜及富氧燃烧体系

<正> 一、气体透过性有机硅树脂的优良特性之一,就是具有可使气体透过的性能。在一般情况下,应用高分子薄膜并使之两侧保持有化学位梯度,则物质就将以薄膜为筛子,向化学位低的方向移动。现在利用这一原理,应用薄膜进行液体分离的处理方法已经实用化了。同样,可利用薄膜来进行分离气体的工作,利用薄膜分离物质的关键问题,是其对拟分离物质的透过性和选择性。从下表可以清楚地看出,和其他的高分子材料相比,有机硅树脂具有非常优良的气     

影响微波等离子体炬法制备金刚石薄膜的参数

本文采用微波等离子体炬法制备了金刚石薄膜。并在一定的微波功率下,研究了Si基片到火炬喷嘴距离(L)对金刚石膜质量的影响,结果表明:距离L为6mm时沉积的金刚石薄膜的结晶性好、金刚石相纯度高。     

金刚石厚膜的制备方法及应用展望

热丝化学气相沉积是制备金刚石厚膜的传统方法,但是所得到的金刚石厚膜成品率低,限制了其作为刀具和散热片的应用。本文针对此方法进行设备改造,采用复合技术-射频等离子体辅助热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)提高金刚石厚膜的沉积速率和质量。同时,对金刚石厚膜的应用及展望进行了简要综述。     

聚偏氟乙烯膜的改性及其在水处理中的应用

<正>膜技术作为21世纪的水处理技术,在水处理领域具有广阔的应用前景。目前所使用的膜合成材料中,聚偏氟乙烯(PVDF)因具有优异的机械强度、良好的化学稳定性、抗紫外线辐照性、耐气候老化性及易成膜等优点,成为一种理想的膜分离材料,近年来吸引了国内外科研人员对其性能及应用技术进行各种研究和探索。但是,由于PVDF的表面能低,憎水性极强,所以在用于水体     

富氧燃烧体系——有机硅树脂在薄膜上的应用

<正> 一、气体透过性有机硅树脂的优良特性之一,就是具有可使气体透过的性能。在一般情况下,应用高分子薄膜并使之两侧保持有化学位梯度,则物质就将以薄膜为筛子,向化学位低的方向移动。现在利用这一原理,应用薄膜进行液体分离的处理方法已经实用化了。同样,有可能利用薄膜来     

超硬材料刀具的应用

<正> 超硬材料刀具(即人造金刚石复合、立方氮化硼复合刀具),广泛应用于切削加工高强度、高硬度、金属与非金属难加工的材料,对有色金属材料进行高精度,高光洁度切削加工,可取代磨削加工,具有超硬特性、高稳定性、高化学惰性与高导热性等独特优点。耐用度是普通硬质合金材料的30—50倍。世界科学技术的进步带来材料工业的不断发展,一些特殊性能和用途的材料相继出现,对机械加工提出越来越高的要求,同时机械工业本身的发展也急需使用高效率、高精度、高硬度和高耐用度的新型刀     

声学超材料声场增强与传感应用技术

声学超材料是一种新型的声学介质,它通过设计结构来实现天然材料所不具备的物理特性,获得人们所期待的超出常规的声学属性。在声学应用中,超材料经常被设计出各种结构以实现声波调控的目的。由于具有结构灵活、设计性强和超出自然材料的优异性能等优点,声学超材料受到了广泛的关注,也成为声学领域的一个热门研究方向。本文针对声场增强型声学超材料,结合超材料声学传感技术的研究发展,介绍了几种具有代表性的研究成果,主要包括基于F-P共振型声场增强、Mie共振型声场增强的声学超表面和渐变型声场增强的声学超材料。简述了它们的基本原理和功能特点,并对声场增强型声学超材料的应用前景进行了展望。     

利用生物技术得到金刚石单晶材料的可能性分析

随着社会发展,钻探中对超硬材料金刚石的需求日趋增加。目前人造金刚石都需在高温高压下合成。联想到蚕吐丝,蚌壳生珍珠,故笔者考虑是否能用生物或者生物技术,制取金刚石。本文从利用生物技术制取金刚石的角度出发,分析考虑了几种用生物技术制取金刚石的方法,为日后生物制取金刚石提供方法和思路,具有一定价值。     

超细颗粒金刚石生产技术研究

本研究通过添加微量元素和纳米粒子,调节温度压力参数控制金刚石成核数量,优选触媒材料及比例控制金刚石生长,并改变金刚石表面活化性能,解决金刚石团聚难题,提高提纯效率及产出率,最终生产出涵盖粒度35～1μm(400～8 000目)超细颗粒金刚石。应用结果表明,在超精加工和抛光方面,该金刚石较传统金刚石微粉加工效率可提升20%,使用寿命提高35%,工件表面质量得到大幅提高;在高强PDC方面,近乎球形的超细颗粒金刚石可以最大限度地提高微粉的堆积密度,有效提高复合片中金刚石颗粒间的键合,合成出的PDC耐磨性较传统微粉至少提升30%。     

CVD金刚石薄膜的界面能量分析

分析了CVD金刚石薄膜的界面能量情况,并由此研究了金刚石成核几率、晶核取向、附着强度与基底材料结构和性能的关系     

金刚石薄膜热敏器件特性

本文采用热丝ＣＶＤ方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致癌，结晶完整的金刚石薄膜，制成了金刚石薄膜热敏器件，对其热敏特性的测试结果表明，该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快，灵敏度高，性能稳定等优点。     

Mg掺杂Ga_(0.6)Fe_(1.4)O_3薄膜的制备及其多铁性能表征

GaFeO_3(GFO)是一种同时具有室温铁电和低温亚铁磁性的单相多铁材料,且其磁性转变温度可以通过调节Fe元素含量提高至室温,具有广阔的应用前景.研究发现,室温下Ga_(0.6)Fe_(1.4)O_3薄膜具有铁电性和弱磁性,但是由于薄膜的漏电流较大,制约了其实际应用.采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺成功制备了Mg掺杂的Ga_(0.6)Fe_(1.4)O_3薄膜,薄膜厚度约为100 nm,并对Ga_(0.6)Mg_xFe_(1.4-x)O_3(GMFO)薄膜的铁电性尤其是漏电性能进行了表征.研究结果表明:Mg离子掺杂的薄膜样品在室温下表现出铁电性,当x=0.05时,薄膜具有相对而言优良的铁电性能,矫顽电场强度(E_c)为25 kV/cm,剩余极化强度(P_r)为4.89μC/cm~2;适量Mg离子的掺杂可以使薄膜的漏电流密度降低2个数量级,x=0.05时,对应薄膜的漏电流最小,漏电流密度在10~(-1)～10~(-5) A/cm~2范围内.随着Mg离子掺杂含量的继续增加,薄膜的漏电流密度逐渐变大.压电力显微技术(PFM)测试结果表明,GMFO薄膜的力电耦合主要来自于薄膜的线性压电信号.GMFO薄膜具有室温弱磁性,当x=0.05时,薄膜具有最大的剩余磁化强度为9.8 emu/cm~3.该实验结果对于提高GFO多铁材料的性能,从而实现纳米器件的应用具有重要的指导意义.     

激光化学

<正> 激光是受激辐射产生的新型光源,由于它具有相干性、单色性、方向性、高亮度、高温度、高能量、短脉冲、宽复盖、可调谐等特有性能,越来越广泛的应用在各个领域。在化学方面的应用更有它突出的优点,比起热化学、电化学、经典光化学有很大进步。激光化学就是在激光作用下进行化学反应。如在激光解离、激光合成、激光分离、激光提纯、激光催化、激光引发、激光光谱等方面都有应用,展现了激光化学广阔的前景。