RF MEMS并联开关的结构设计及分析

针对传统的RF MEMS开关的开关速度慢、寿命短、功率处理能力低等缺点,设计了一种新的RF MEMS并联开关结构。这种结构不仅能提高开关速度和开关寿命,还能防止粘附和介质击穿问题。首先介绍了RF MEMS并联开关的结构设计,以及如何根据需要确定合理的尺寸;然后利用Coventor Ware软件对开关进行了静态特性分析和动态特性分析,重点分析了开关的吸合电压;最后利用Saber系统仿真法分析了改变开关的不同结构尺寸对吸合电压的影响。     

半导体开关与RF MEMS开关性能分析与比较

为找出影响微波开关性能的参数及其开关的发展方向,从物理机理上分析和比较了．半导体开关和RFMEMS（射频微电机械）开关的性能。提出了微波串联开关的理想模型,定义了开关的品质因数,应用器件物理理论和电容公式推出了半导体开关和MEMS开关的品质因数表达式,分析出影响开关性能的参数,提出改善的方法。通过相关权威测试的品质因数得出：RFMEMS开关比半导体开关具有更优的性能,与理论分析相一致。通过开关的性能比较,明确RFMEMS开关可广泛地应用到射频微波电路中,有好发展前景。     

一种频带可调的RF MEMS开关微波滤波器设计

将RF MEMS技术应用于集总模型,设计了一个基于RF MEMS开关控制通频带的微波滤波器。该滤波器的通频带可在3.43 GHz—6.39 GHz和6.81 GHz—10.57 GHz之间切换,等效于一个滤波器实现了两个或者多个滤波器的功能,同时又可充当电路的开关。相对于传统带通滤波器,基于MEMS技术,该滤波器具备便携化、小型化和多功能化等特点,尤其是更易于系统集成。仿真结果还表明,在通频带内传输系数低于-0.5 dB,该滤波器可应用于超高频通讯系统。     

基于RF MEMS开关的移相器设计

传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通路,以实现从0°-180°步进22.5°的相移功能.仿真结果表明,该移相器在5.8 GHz时,插入损耗在-0.3--0.7 dB变化,输入回损低于-20 dB,相移功能正确.     

电容式射频MEMS开关及应用

本文介绍了电容式射频MEMS开关的结构、工作原理和制造工艺流程,分析了开关的开启电压和电容比,最后描述了开关在移相器、可调谐滤波器及可重构天线方向上的应用。     

新型RF MEMS开关的动态表征

一种基于UV LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.     

毫米波MEMS开关自激励机理实验验证结构的模拟与设计

提出了一种新型的毫米波MEMS开关自激励机理的实验验证结构,该结构由一分四功率分配器和5个相同开关形成的阵列组成.通过CST Microwave Studio和HFSS电磁仿真软件完成了一分四功率分配器和开关阵列的设计.在频率为35 GHz时,一分四功率分配器的4个输出端口的隔离度小于-48 dB,同时由于结构的对称性...     

磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真

对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、激光镀覆等方法在衬底上制备磁性薄膜,并通过外加磁场实现开关动作.对采用永磁材料和软磁材料这两种情况下光开关的静态行为进行了分析和模拟.结果显示,尽管使用不同类型的磁性材料会对开关的响应产生影响,但其最大转角都可达到80°,远远超过静电驱动光开关所能实现的程度,同时它还避免了静电驱动中常见的结构“塌陷”现象.     

基于MEMS光开关的光分插复用结构设计

光分插复用设备（OADM）是波分复用（WDM）全光网的关键设备，实现全光交换一直是OADM设备制造商追求的目标，微电机械系统（MEMS）技术的出现为全光交换带来了新的概念，用新型MEMS光开关构造了一种OADM设备，实验表明，这种基于MEMS光开关的OADM设备在构造复杂程度和切换时间上明显优于传统结构的OADM。     

非硅MEMS惯性开关弹道特性

摘要：针对国内缺乏对MEMS惯性开关弹道特性仿真研究这一问题,利用 ANSYS软件对一种新型非硅MEMS惯性开关进行仿真研究,获得这种惯性开关弹道特性的仿真结果。结果验证了这种新型的非硅MEMS惯性开关具有高可靠性、更灵敏的碰目标响应,可进一步研究其实用价值。     

光栅光阀MEMS光开关系统设计

分析了光栅光阀(grating light valve,GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50%,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。     

MEMS光开关静电驱动结构的研究

对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计,考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大,会对光开关的性能产生一定影响,提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构,该种结构能够实现大面积微反射制作的同时,而不提高光开关的驱动电压,具有结构紧凑,便于集成的优点。采用该悬臂驱动结构,成功制作了8×8光开关阵列,单面微反射镜面积达到180μm×600μm,在65V的驱动电压下,能够实现微反射镜180μm的大位移。     

射频微机电并联电容式开关的参数性能分析

射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关。为了得到更好的开关性能,在设计过程中有必要对射频MEMS开关的相关参数进行优化。本文用ADS和HFSS仿真设计软件,对射频MEMS并联电容式开关的微波特性进行了分析和仿真,研究了MEMS开关的等效电路参数和结构参数的变化对RF MEMS开关微波特性的影响。仿真结果表明:等效电容参数和MEMS开关桥宽度是影响开关性能的关键参数,当开关的等效电容参数增加20 pF,或MEMS桥的宽度增加40μm时,RF MEMS开关的插入损耗则可能增加10 dB以上。     

基于MEMS技术的井下人员健康参数无线采集系统

目的为了确保井下工作人员安全生产和生体机能的监测。方法提出一种基于MEMS传感技术和无线射频技术用于矿井下人员健康参数采集的方法。结果基于此方法,研究设计了一种低成本、高效率、便携式的人体健康参数监控报警系统。结论无线MEMS传输技术为井下复杂环境数据采集提供共可靠路径,大大提降低了井下无线网络的组网成本。     

隔离开关自动转换装置设计

针对低压隔离开关试验中操作手柄力矩和行程时间的统一配合问题,对电感式接近开关进行了研究。隔离开关自动转换装置中的制动装置采用高可靠性的电感式接近开关,自动转换驱动是利用电容分相的原理控制电动机正向转动和反向转动,从而使被测隔离开关分合闸自动操作。依据国家标准GB/T 14048.3—2017研制了隔离开关自动转换装置,提高了产品试验时的稳定性和可靠性,保障了试验操作人员的人身安全和试验线路的设备安全,为生产企业进行产品研发论证提供了参考。     

基于PSPICE的软开关APFC研究设计

由于传统的硬开关APFC的开关管工作方式为硬开关状态,造成开关损耗大、开关管电流应力大和快恢复二极管开关噪音大。本文在Boost电路的基威上,利用改进型ZVT（Zero Voltage Transition）作为APFC的主电路,完成将电网输入端的交流变为直流,并在软开关条件下实现功率因数校正。对其进行仿真分析,验证了该设计方法的正确性。     

基于智能功率模块的开关磁阻电机控制器设计

针对开关磁阻电机控制器采用分立功率元件外围驱动电路复杂,可靠性较低的状况,本控制器系统功率变换器采用基于智能功率模块的＂H＂桥式主电路,与采用分立的功率器件相比,硬件电路更为简单可靠,改善了电机工作性能.同时,电机在低速和中速阶段采用不同的斩波模式,改善了电机运行效果.在调速控制方法上采用转速外环,电流内环的双闭环PI...     

MEMS开关中氮化硅薄膜工艺研究

分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻分割聚酰亚胺(PI)牺牲层、分层生长氮化硅薄膜及快速热退火等工艺减小薄膜残余应力,成功生长出了合格的氮化硅薄膜.     

基于RF唤醒技术的微功耗收发器设计

简单叙述了POCSAG与FLEX编码协议工作模式原理,详细论述了基于无线唤醒功能模式下的工作原理,对各种模式下的节电情况做了简单的比较分析;同时基于RF唤醒技术工作原理,提出了一种适用于干电池供电系统的新型节省功耗设计方案;分析结果表明,使用无源唤醒功能的无线通信设备电池使用寿命延长到一年以上。     

基于MEMS的惯性导航系统研究与设计

提出了一种基于MEMS的捷联式惯性导航系统硬件和软件设计方法。设计了以ARM9处理器为核心的硬件平台,介绍了核心处理器及惯性器件的选型,给出了硬件系统组成;提出了基于嵌入式实时操作系统的软件设计方法,给出基于该操作系统的多任务设计方法及导航算法流程;该导航系统能够实现MEMS信息的实时提取、计算、位姿输出。