高温气冷堆包覆燃料颗粒尺寸的光电测长法

包覆燃料颗粒是高温气冷堆燃料元件的重要组成部分，燃料颗粒（直径约１ｍｍ）的尺寸是重要的性能指标。光电测长法采用分辨率为０．０２μｍ的高精度光栅作为传感器，接触式直接量测被测物体，最大限度地减少了测量误差。光电测长系统由光电传感器测试头、样品工作台、台式光栅数显表和微机数据采集处理系统组成。测量２００个包覆燃料颗粒尺寸需要３０ｍｉｎ。测量的重复性偏差为０．０５μｍ。光电测长法完全能满足包覆燃料颗粒尺寸在线检测要求     

测量轴承摩擦力矩的实验装置及其精度

介绍一种能够精确测量轴承摩擦力矩的实验装置的结构，实验方法，数据处理公式及误差分析等，该装置测量精度高，重复性好，摩擦力矩和轴承载荷的测量误差〈０．３％，偏心矩测量精度０．１μｍ，偏位角误差也很小。     

一种性能可靠和易于实用的光纤微位移传感器

现在大多数光纤传感器尚停留在实验室阶段，本文给出了易于实用的光纤微位移强度型传感器的数学模型和实例．由于它简单、可靠并采用单片机控制，可根据不同对象灵活改变测量及输出方式，因而有着广泛的应用前景，测量精度达０．２～０．３μｍ。     

电容测微仪动态特性的改进及标定方法

目的 对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法 以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论 改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％,重复性精度优于０．１５％,测量精度优于０．１０μｍ,频响范围达４．２ｋＨｚ。     

NSRL电子储存环束流位置监测系统的改造与闭轨测量

对ＮＳＲＬ束流位置监测系统（简称为ＢＰＭ）进行了关键性的改造．改造后的测量系统的稳定性由０．５ｍｍ提高到３０μｍ，分辨率可达１０μｍ，可用于监测束流位置的漂移和轨道校正．     

动态光散射实验研究

建立一套频谱仪线路的动态光散射实验系统，讨论建立过程中若干关键实验技术问题，该系统可用于测量微小粒子及大分子的尺寸，测量范围为０．０１￣２．００μｍ。     

光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究

应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达１ｎｍ，可实现对表面Ｒａ从０．１６μｍ至０．０１μｍ的精确测量，在测试分析位移－电压动态响应特性基础上，讨论了微位移调制误差对仪器精度的影响，提出了改善响应线性度的方法，使仪器在工作频率范围内响应的线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量精度。     

激光扫描在线检测仪电控系统研究

针对目前自动检测手段较少且精度不高的状况，研制了激光扫描在线尺寸检测仪，解决了武器装备柔性制造系统的检测与监控中的关键技术问题。该检测仪的测量精度达到０．５μｍ，已形成系列化产品，投入生产应用。本文主要介绍了检测仪的电控系统，该系统采用单片机进行系统控制、数据采集、数据处理以及系统测量和误差分析等。     

光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究

应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达１ｎｍ，可实现对表面Ｒａ从０．１６μｍ至０．０１μｍ的精确测量。在测试分析位移－电压动态响应特性基础上，讨论了微位移调制误差对仪器精度的影响，提出了改善响应线性度的方法，使仪器在工作频率范围内响应的线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量槽度。     

一种用于伺服录写装置的超精密测量、定位系统

给出了一种伺服录写装置定位系统的实现方法，讨论了计算机控制下的超精密测量系统．给出了高数传率的并行十六位接口电路，分析了影响测量精度的因素，研究结果表明，系统测量精度为０．０２μｍ     

光纤γ辐照感生损耗的研究

对几种国产光纤进行了γ辐照感生损耗谱的测量．发现光纤经辐照后，在０．６～０．７μｍ波段产生强烈吸收峰，在０．８～１．２μｍ区域感生损耗变化平缓，大于１．２μｍ有上升的趋势；同时给出了多模梯度光纤在０．８５μｍ波长下辐照感生损耗随辐照剂量变化的经验公式．γ辐照引起的顺磁缺陷中心导致光纤γ辐照感生损耗的产生．     

薄孔壁厚和小孔径测量系统

由于相邻孔壁厚度的测量根据进刀量进行计算时精度很低，故提出了一种应用电容传感器对2个微小孔间相邻孔壁进行精密测量的系统．基于非接触式电容测孔传感器，研究了测头的电场边缘效应影响及保护环的宽度选择，设计了电容瞄准测孔传感器的测头对相邻小孔中心定位，利用电容差动测厚传感器测量孔壁，系统由1个瞄准测孔传感器和2个差动测厚传感器及三通道测量电路组成，处理数据后直接显示孔径和孔间壁厚．系统属非接触测量，无需修正测头及工件变形误差，实验证明，测量精度为0．5μm，     

STM式三维nm级轮廓仪的研究

基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差，进而提出了一种平滑反馈扫描技术．     

GaAs MSM—PD的实验研究

本文报道一种双肖特基势垒叉指电极型快速光探测器，其光敏面１５０×１５０μｍ２，指长１４０μｍ，指定１０μｍ，指间隔１０μｍ．实验结果表明：该探测器的光灵敏度为０．７０Ａ／Ｗ，暗电流为ｎＡ量级（ＵＤＣ＝１０Ｖ），其响应时间小于４０ｐＳ．     

泥螺 Bullacta exarata 生长生物学的初步研究

本文研究了浙江沿海泥螺的生长特征。结果表明：泥螺出膜面盘幼虫１６５．６×１４４．０μｍ，日平均生长７．０μｍ，匍匐幼虫日平均生长８．７μｍ，幼螺日平均生长２５．８μｍ，从受精卵化出膜至幼螺约需３０－４０天。在自然海区当年１１月初产卵孵化的幼虫至翌年３月壳高可达０．４ｃｍ，５月底至６月初即可达壳高１．２ｃｍ以上的采捕规格。成螺壳高（Ｈ）与壳宽（Ｂ）、体重（Ｗ）之间的回归关系：Ｂ＝０．７２５７Ｈ－０．０５６６（ｒ＝０．９８２０）、Ｗ＝０．４８７３Ｈ２．６４３０（ｒ＝０．７４２０）。     

镜头埋入深度的组合测量方法

根据精密摄像系统中摄像头实际安装工况，为了避免传统的点接触测量法的缺点，提出了多电容传感器组合的非接触式镜头埋入深度测量法．采用电容传感器测量，可实现非接触测量，仪器体积小巧，精度高达0．1μm,此外，利用多个传感器对环境敏感而漂移的同向性，抑制了单一传感器数据的漂移，提高了测量的稳定性。克服了单一传感器无法进行形位误差测量的缺陷，标定和现场实验证明了该方法的可行性，系统测量精度达到2μm．     

一种用于伺服录写装置的超精密测量,定位系统

给出了一种伺服录写装置定位系统的实现方法，讨论了计算机控制下的超精密测量系统。给出了高数传率的并行十六位接口电路，分析了影响测量精度的因素。研究结果表明，系统测量精度为０．０２μｍ。     

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究

介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析．还给出了高定向石墨表现原子图像及一些超精密表面的超微观形貌测量的结果     

新型单频激光干涉技术

论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度，其分辨率为 ０．０２μｍ。     

微机转矩测量系统

根据相位转矩测量原理，设计了一种以８０３１单片机作为总体控制的微机转矩测量系统，该系统可与各种相位差变型传感器配套使用，操作灵活方便，适应性强，测量精度高，最大误差不大于±０．００５。