基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现

CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。     

改进CVD系统制备金刚石薄膜

用一台常规的真空镀膜机改建为化学相沉积（CVD）系统，并用以制备金刚石薄膜，采用SEM，XRD，Raman测试表明，金刚石薄膜质量较好。     

CVD金刚石薄膜的织构分析

采用极图和取向分布函数法分析ＣＶＤ金刚石江膜的不同织构,分析表明,高的多重性因子使得｛１１０｝面织构有更高的出现概率,具体分析了｛２２１｝面织构出现的孪生机制,强调了织构与性能关系研究的重要性,并推荐使用先进织构分析手段。     

改建CVD系统制备金刚石薄膜

用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统 ,并用以制备金刚石薄膜 .采用SEM、XRD、Raman测试表明 ,金刚石薄膜质量较好 .     

煤场监控系统

为保证煤场送煤工作的安全运行和对值班员工的正确评价，利用VB建立了煤车的监控系统，给出了系统的硬件及软件框图。     

基于现场总线的水厂监控系统的设计和实现

提出了基于工业计算机网络的水厂监控系统设计和实现方法．该系统采用管理层、控制层和现场设备层3层网络结构来完成对水厂各设备的监控，通过PLC实现设备数据的采集，Profibus-DP和以太网实现数据的传送．实践表明该系统具有性能稳定、可靠等特点．     

基于PLC的船舶电站综合监控系统的设计

可编程控制器（PLC）作为控制系统的核心装置,功能强大、性能稳定可靠,在现代工业自动化生产中得到了广泛的应用。     

煤场监控系统

为保证煤场送煤工作的安全运行和对值班员工的正确评价,利用VB建立了煤车的监控系统,给出了系统的硬件及软件框图.     

基于PLC高可靠性工业过程远程监控系统

在介绍现代工业生产高度可靠性，高度智能化与实时性的特点的基础上，分析了现代工业生产对远程实时监控系统的要求和监控系统所必须具备的主要功能，提出了设计具有高可靠性的远程实时监控系统的若干准则，并据此研究了一种以PLC为基础的具有高可靠性的实时远程监控系统总体框架模型，最后给出了该模型在化工生产过程中的应用实例。实践证明该模型应用方便，实现容易，具有较高可靠性。     

CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展

综述CVD金刚石膜沉积过程中反应器内气相化学的理论研究进展,阐述不同条件下反应器内的气相化学反应模型、反应机理及各种数值仿真方法,总结这些气相反应的选取及所对应的动力学机理。研究结果表明:CVD金刚石膜反应器内的气相化学是一个十分复杂的过程,与双碳组元相比,单碳组元对膜沉积的贡献较大,在组元C2H2,C2,CH3,C和CH中,决定膜生长的组元由具体操作条件而定。对CVD金刚石膜反应器内气相化学的研究结果不但可以为探讨膜生长机理的表面化学提供准确输入,还可为高效、优质膜的获得提供理论依据。     

大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光

研制成功国内第1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机,它可以在10^-3pa真空条件下,加热到1100℃;抛光台可以在0－10r/min间实现无级调速,一次完成3片φ110mm的金刚石膜的抛光,金刚石膜在980℃,2h抛光的结果表明该装置有良好的抛光效果。金刚石膜在980℃抛光不同时间的Raman谱表明,金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和C原子不断扩散的过程。     

VB下的PLC通讯在工业机器人监控系统中的应用

由于可靠性高、抗干扰能力好、接口功能强、使用方便等优点,PLC在工业机器人控制领域中得到了广泛应用.但是PLC无法进行复杂的运算和显示各种实时控制图表,人机交互性差、管理人员不能及时了解现场情况,为弥补PLC这方面的不足,这就需要采用一套PC-PLC监控管理系统.在该系统中人们一般使用PLC厂家开发的通信软件,但是使用PLC厂家的软件不仅价格昂贵,而且其灵活性有时并不能满足我们的要求,因此用我们所熟悉的语言开发PLC的通信软件就显得非常必要.以下就是我们用VB下的PLC通讯开发的工业机器人监控系统.     

钢包精炼炉微机监控系统的设计与实现

介绍了钢包精炼炉微机监控系统的软硬件设计思想及实现方法 .本控制系统采用二级监控 :下位机选用德国西门子SIMATICS5系列可编程控制器 (简称PLC)实现对钢包炉冶炼过程的自动控制 ;上位机选用工业级微机实现生产过程的实时画面监视 .操作人员通过计算机屏幕观测各设备运转状况及冶炼参数瞬时值 ,可及时操纵控制钢水精炼过程 ,实现了钢包炉精炼过程的全自动化     

水电站计算机监控系统的设计与实现

水电厂全厂计算机监控系统是水电站自动化控制系统的核心部分,因此对系统可靠性、稳定性和功能等方面的要求很高。随着计算机技术、网络技术的不断发展,对监控系统的要求越来越高,该系统采用了最新的专业软件技术和自动化控制技术,在稳定性、易用性方面有所加强,功能特色等方面有了更多的创新。     

基于短消息的加油站无线监控系统

设计一种由89C52及TC35无线通讯模块构成的基于短消息的加油站无线监控系统。该系统包括远程监管中心和母端子系统两部分，具有结构简单、工作可靠、经济实用等特点。     

多功能薄膜制备系统的设计与制作

设计并制作了一套具有真空蒸发沉积和化学气相沉积两种薄膜制备功能的系统。性能参数测试结果表明，该系统既能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积，又具有完好的真空镀膜功能，且该仪器简便直观，操作方便。     

计算机监控系统概述

通过SCADA的发展，探讨计算机监控系统，从常规监测控制到智能监测控制，再发展到网络控系统的含义功能特点、分类、应用和发展。     

一种新型的液态源MOCVD技术

一种新型的液态MO源金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术,它采用液态MO源脉冲输送技术。该方法采用了可编程控制器(PLC)和触摸屏,可通过触摸屏完成系统控制、工艺参数设置及数据显示,提高了MOCVD系统的自动化程度,确保工艺的重复性和稳定性。通过该方法,成功地制备了TiO2薄膜。     

CVD法制备SiO2薄膜工艺条件的研究

在Al2 O3 陶瓷基片上以正硅酸乙酯 (TEOS)为原料 ,高纯氮气作载气 ,采用低压冷壁式设备和化学气相沉积(CVD)方法制备SiO2 薄膜 ,研究了基片温度、TEOS温度和沉积时间对SiO2 薄膜沉积速率的影响 .采用XRD ,XPS和SEM技术对SiO2 薄膜的组成和结构进行了分析     

浅述火电厂化学水处理计算机监控系统

火电厂是一项重大的能够解决全国用电紧张问题的工程,但同时火电厂在发电时耗费了大量的水资源,叉给我国的节约用水工作带来了难题。因此处理火电厂的化学水显得十分重要,而且具有重大的现实意义。计算机监控系统作为一种先进的技术用在火电厂的化学水的处理工作中,大大的提高了化学水处理的质量和效率。