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用液相外延工艺,光刻工艺,质子轰击工艺研制了GaAs/GaAlAs锁相阵列激光器,该器件是由四个不同条宽激光器组成,它们的条宽是从3um线性地变化到6um,相邻激光器的间距保持常数为5um,,其间的隔离是通过质子轰击实现的,观察到远场为单瓣,平行于p-n结平面发散角(11)为3.13度,接近于理论计算的衍射极限角为3度,器件的脉冲光输出功率为120mw/facet。  相似文献   

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首次利用液相外延标准光刻工艺,两次质子轰击方法,研究和制作 了调制增益导引GaAs/GaAlAs锁相激光器阵列。  相似文献   

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