DRNI型磁盘表面粗糙度非接触测量仪

本文论述了研制成的一种用于计算机硬盘盘片等超精密表面粗糙度非接触测量的智能化仪器;提出了基于外差干涉原理的平行双光束设计方案,简述了该测量仪结构、光学系统、驱动控制系统、光电转换系统、数据处理系统及精密定位系统;给出了表面粗糙度多刻线标准样板以及磁盘表面粗糙度的实测曲线.测试结果表明,该测量仪的示值误差优于3%,示值变动性小于±3%,可实现自动调焦自动测量.     

光学外差法检测超光滑表面粗糙度

随着加工技术的发展,超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统,采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束,提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态,不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷,保证了系统的稳定性,且同时使接收端光束的偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单,实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明,系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ．     

1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统

研究了一种基于共外光路双频激光光外差原理的1nm级表面粗糙度的测量系统。从理论上论证了测定系统的原理和测量精度，并用实验结果证明了测量系统的分辨率。此测量系统没有测量基准误差，对测量环境要求不特别苛刻，适用于精密或超精密表面形貌的轮廓测量。     

光散射法测量表面粗糙度的研究

本文对用光散射方法测量表面粗糙度的原理进行了探讨,研制了表面粗糙度的测量装置.利用该装置对用不同加工方法加工出来的表面粗糙度(R_a=0.02～10μm)进行测量.此外,由于采用了光调制技术,从而克服了照明光、背景光及电噪声对输出信号的影响,故该装置可用于精密切削过程中对加工表面粗糙度的在线监测.     

光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤式表面粗糙度测量仪研制过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算、零点漂移、信号噪声、不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算、数据处理和测量智能控制。     

显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量

结合剪切干涉技术与显微干涉技术，提出了显微剪切干涉非接触表面粗糙度轮廓测量方法．由于自参考干涉和共路偏振相移干涉特点，建议的干涉仪具有极好的抗环境干扰和振动的能力，同时能取得一般显微干涉仪的表面粗糙度测量精度，适合制造环境下表面粗糙度精密测量．介绍了发展的显微剪切干涉仪的原理，以及相应于粗糙度轮廓的波前重建算法．实验结果证明了该方法的可行性．     

非接触式表面粗糙度测量仪

以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器，光学系统和计算机系统构成。其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时，在线，动态检测和控制。     

基体表面粗糙度对低温磁控溅射TiN的影响研究

研究了在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程以及摩擦学性能的影响.研究结果表明,低温磁控溅射沉积处理一般不改变基体原始表面形貌,对基体的机加工状态有遗传性或复制性.摩擦磨损试验表明,随着基体的表面加工精度提高,表面粗糙度降低,摩擦副的磨损明显减小,摩擦因数也有减小的趋势.     

表面平整度测量的新方法研究

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法，薄膜厚度的测量范围约在0．2－20μm（小于20μm）之间。在对二氧化硅薄膜的测试中，该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较，其纵向测量误差小于2nm。通过光纤传感器的薄膜下的移动，对薄膜下各点的反射光谱进行分析，得到各点的厚度。通过步进电机的移动，连续测量膜上不同点的厚度，从而获得薄膜的表面形貌。该方法对薄膜无破坏作用，且无需测量干涉条纹，与其他的非接触式测试方法相比较，具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点，因此有较强的实用性。     

表面粗糙度测量技术综述

表面粗糙度对加工件的性能有着很大的影响。由于机械、电子及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量及结构小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位。通过对表面粗糙度测量技术的发展历史与发展现状的追述,阐述了一种常见的表面粗糙度测量仪的工作原理和性能,并对其相关问题作了讨论。     

光纤测量表面粗糙度的试验研究

本文论述了采用多模光纤束非接触测量表面粗糙度的方法;介绍了光纤测试系统主要参数的选取;提出了提高系统分辨率和稳定性的措施;最后给出了研磨制件表面粗糙度的实测结果。     

机械零件表面粗糙度量的一种新方法

本文讨论采用反射光谱法定量、快速测量机械加工零件表面粗糙度的测量原理、电咱的原理结构、基本电路的配置及测量误差与克服方法。     

多功能表面粗糙度动态测试系统

本文运用现代时间序列理论,研制出一种微机自动控制的多功能、多参数测量系统。该系统可同时测出25个粗糙度参数。轮廓算术平均偏差的测量不确定度为±0.015μm(置信概率为99.73％),双通道数据采集系统的相对误差为—0.2％。可同时进行16个通道的信号采集,分辨率为12位。本文还运用时序理论中的最新方法,对8种加工表面进行了建模试验,为表面粗糙度动态特性及三维统计特性分析提出4个评定参数。     

获取路面谱的一种新方法

通过理论分析和实际路面的测量,阐述了直接在汽车车桥上安装传感器测量路面谱的一种简便方法,并通过与用五轮仪测量路面谱方法的结果对比,得出了此种方法在一般汽车性能试验中的实际应用价值．     

降低手工铰孔表面粗糙度值的方法

通过对铰刀刃口角度进行微量改变，得到三种较为实用的降低表面粗糙度值的方法。     

一种新的磁盘驱动器阅读机构的设计

介绍了一种新的磁盘驱动器阅读机构———凸轮带传动机构。该机构具有结构紧凑,运动平稳等特点。文章通过算例详细叙述了该种机构作为软盘驱动器阅读机构的原理及机构设计的方法。