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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
本文采用热丝CVD方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致密、结晶完整的金刚石薄膜,制成了金刚石薄膜热敏器件.对其热敏特性的测试结果表明,该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快、灵敏度高、性能稳定等优点.  相似文献   

2.
硅衬底SrTiO3薄膜的热敏特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸锶(SrTiO3)膜,并制成平面型电阻器。结果表明:在实验温区(28~150℃)内,SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性,且热敏牧场生比较明显,在室温30℃时,温度系数α达-2.15%℃^-1。建立热敏电阻-电容器并联模型,分析了频率对不同温度下薄膜电阻器阻拢的影响。在实验温区内,SrTiO3薄膜的介电常数具有较好的热稳定性。  相似文献   

3.
首次报道了用微波等离子体化学气相沉积技术在TaN2电阻材料上沉积高质量金刚石薄膜的制备工艺,以及扫描电镜,X射线衍射,拉曼光谱,压痕测试的测试结果,从实验上表明了CVD金刚石薄膜作用TaN2热打印头表面保护层的可能性。  相似文献   

4.
5.
采用磁控溅射法以高纯石墨为靶材在单晶硅(100)上制备了石墨薄膜,通过SEM扫描表征其表面形貌以及截面厚度,利用XRD对石墨薄膜的晶体结构进行分析,再运用Keithley 2400对器件的I-V曲线进行测试.研究发现,通过磁控溅射得到的Si/C/Ag结构的器件具有明显的双极电阻开关效应,在一开始时,电阻开关比可以达到105倍,继续扫描直至曲线达到稳定状态后的比值也在103左右.这种显著的电阻开关特性经过研究被认为是石墨在溅射过程中形成稳定的缺陷对载流子的俘获和释放,使得器件的电阻突变而导致的.  相似文献   

6.
通过离子束溅射技术淀积在SiO2/Si衬底上的钛酸镧钡铌膜(Ba1-xLaxNbyTi1-yO3),制成集薄膜电阻和金属-绝缘体-半导体(MIS)电容为一体的传感器。实验结果表明,薄膜电阻在303-673K温度范围内对可见光和热具有良好的灵敏特性,同时MIS电容对相对湿度有很高的灵敏度。我们测试了此薄膜的光吸收特性,并得到了它的禁带宽度。最后,我们研究了薄膜电阻的阻抗温度频率特性和频率对MIS电容湿敏特性的影响。  相似文献   

7.
优化催化剂密度改善碳纳米管薄膜纯度与场发射特性   总被引:3,自引:0,他引:3  
对涂敷有不同浓度催化剂的硅基生长出的碳纳米管薄膜的生长状况和特性进行了研究,并且获得了催化剂的优化浓度,在基底上涂敷氢氧化铁溶胶从而引入催化剂颗粒,用低压化学气相沉积法生长出碳纳米管薄膜,工艺表明,碳纳米管薄膜的生长状况受到催化剂密度的影响,当密度太高时,碳纳米管薄膜的尖端效应不明显,且杂质含量较高;当密度太低时,无法生长出均匀的碳纳米管薄膜,扫描电镜分析和场发射特性测试表明,涂敷有优化浓度的催化剂生长出的碳纳米管薄膜,具有更明显的尖端效应,更高的纯度,阈值电压降到95V,透射电镜观察到的碳纳米管直径为10-100nm。  相似文献   

8.
本文利用射频磁控溅射方法在优化制备条件下沉积制备了沿[200]晶向择优取向的多晶Ni Ox薄膜.Ag/Ni Ox/Pt电容器结构的电流-电压曲线具有典型的双极性电阻开关特性,但循环方向与扫描电压幅值有关:当最大扫描电压小于2 V时,电流-电压曲线沿逆时针方向循环,高/低电阻值比大于50,可稳定维持超过50个循环周期.当最大扫描电压增大到2 V,电流-电压曲线变为沿顺时针方向循环,高/低电阻值比大于10,可稳定维持超过120个循环周期.电流-电压曲线循环方向随扫描电压幅值的改变揭示了其不同的电阻开关物理机制:低扫描电压下逆时针循环电阻开关特性主要归因于电场作用下氧离子定向漂移导致氧空位形成的导电细丝通道周期性地导通和截断;当最大扫描电压增加到2 V时,银离子扩散进入Ni Ox薄膜与定向漂移的氧离子发生氧化/还原反应合成/分解Ag Ox,使得薄膜导电性周期性地增大和减小,从而使得Ni Ox薄膜具有了顺时针循环电阻开关特性.  相似文献   

9.
利用电沉积方法制备CdSe薄膜已有不报道,但对其光电性能尚待进一步研究。本工作利用改进的方法对电沉积CdSe构成的光电化学电池的等效串联电阻进行测定,讨论了半导体沉积层的体相电阻随光强的变化规律及对光电转换效率的影响。  相似文献   

10.
采用低压化学气相沉积方法制备碳纳米管薄膜电极,研究碳纳米管薄膜的电容去离子行为.碳纳米管薄膜主要由中孔和部分大孔组成,适合电容去离子应用.详细研究了工作条件(流速、电压)和离子特性对碳纳米管薄膜电容去离子性能的影响.结果表明:电极电压越高,除盐率越高;存在一个最佳流速,此时除盐率最高;离子半径越小,电荷越小的离子,更容易吸附.  相似文献   

11.
采用密度泛函及分子动力学理论,对碳纳米管和硼纳米管的热膨胀性能进行了研究.研究发现小管径的硼纳来管具有出较好的反膨胀性能,硼纳米管的反膨胀性能与管径的关系和碳管的结果不同.低温下,硼六边形中心的硼原子的横向振动模式可能是其反膨胀性能的主要原因.小管径的硼纳米管的反膨胀性能可以和碳纳米管的性能相比较,表明小管径的硼纳米管在反膨胀领域具有很高的应用前景.  相似文献   

12.
采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和相应的气敏传感器,通过FSEM、XRD和XPS等方法分析了复合薄膜材料的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成,测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和响应恢复等气体敏感性能.实验结果表明:该复合薄膜气敏传感器具有较好的气敏性能,对NO2有较好的灵敏度,对其他干扰气体不敏感;SnO2/WO3/MWCNT薄膜中,W、Sn、C主要以W+6、Sn+4和C的形式存在.文中还对气敏响应机理进行了初步的分析与讨论.  相似文献   

13.
研究了电子碰撞和自由电子密度分布对铁催化高压歧化生成的单壁碳纳米管中氢等离子体微波衰减的影响,运用Wentzel-Kramers-Brillouin(WKB)法理论推导了碳纳米管薄膜氢等离子体的微波衰减系数公式.模拟结果表明,随着单壁碳纳米管薄膜氢等离子体中自由电子密度的线性增加,衰减吸收峰值增加,衰减吸收峰向高频方向移动.随着电子有效碰撞频率的增加,衰减吸收峰向低频方向做微小移动.铁催化高压歧化生成的碳纳米管薄膜中氢等离子体对3-4 GHz的微波产生强烈衰减吸收.  相似文献   

14.
硅电子器件是微电子科技中最重要的一类器件,它对二十世纪的科技发展起了重要的影响。但是小型化,高速,低能耗和散热的问题,使硅器件越来越难满足发展的需求。碳以很多形式出现,如金刚石,石墨,富勒烯和纳米管,无定型碳等。和氢结合以后,可以得到一系列的有机物。碳基材料范围很广,包括小分子和聚合物,它们包括绝缘体,半导性能和导电聚合物,具有开关性能,具有超导性能和磁性能等。将来碳基电子将有可能取代硅电子器件。固态碳有两种成键方式,sp3和sp2成键形式。在它的sp2成键形式中,如富勒烯和石墨,碳是半导体性能的。富勒烯的衍生物如C60和C70已经被用于制备有机薄膜晶体管。石墨本身尽管在电子器件中没有很多的应用,但是如果它按一定角度卷成管状——纳米碳管。碳纳米管具有独特的电学和力学性能,自1991年被发现以来,立即引起了各国科学家的广泛兴趣,其研究热情有增无减。由碳纳米管制备纳米电子器件,这可能是集碳纳米管各种物理化学性能于一体的,实现其巨大潜能的终极目标。  相似文献   

15.
用含铈的催化剂(Ce/Fe,Ce/Co和Ce/Ni)催化裂解CH4合成了螺旋形碳纳米管,而用不含铈的催化剂(Mg/Fe,Mg/Co和Mg/Ni)制备的碳纳米管没有出现螺旋形。结果表明,催化剂中的Ce对螺旋形碳纳米管的生成起了重要作用。  相似文献   

16.
高温烧结和等离子轰击改善碳纳米管薄膜的场发射性能   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对丝网印刷碳纳米管(CNTs)薄膜阴极场发射能力差和寿命短等问题,提出了一种能有效改善其场发射性能的高温烧结和等离子轰击后处理方法.同其他方法相比,该方法避免了直接接触对CNTs膜体造成的机械损伤,能彻底清除CNTs薄膜表面的有机粘合剂,增强CNTs薄膜与衬底的接触,并且烧毁超长的CNTs尖端.场发射特性测试表明,经该方法处理的CNTs薄膜的开启场强为2.6 V/μm,电流密度在场强为9.0 v/μm时达到527×10-6A/cm2.场发射寿命测试显示,该方法处理的CNTs薄膜阴极经点亮200 min后电流密度基本没有衰减,波动也较小.该方法为改善丝网印刷CNTs薄膜阴极的场发射性能提供了一种可行的方案.  相似文献   

17.
多壁碳纳米管(Multi-Wall Carbon Nanotubes,MWCNTs)作为新型的纳米气敏材料被涂覆在石英微振天平(Quartz Crystal Mierobalance,QCM)的表面,依据QCM在干燥空气及被测气体中的频率变化初步探讨了涂覆了MWCNTs的QCM对16mg/m^3甲醛和9.64mg/m^3水蒸汽的敏感特性。  相似文献   

18.
对镍基纳米碳管薄膜冷阴极场致发射特性进行了多次反复的测量,发现了该材料在特定条件下会发生失效行为,并对此现象进行了初步的分析.  相似文献   

19.
稀土改性碳纳米管复合薄膜制备及其摩擦磨损性能   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用自组装技术,在玻璃基片表面制备了稀土改性碳纳米管复合薄膜,采用接触角测量仪测量了不同成膜时间下水在薄膜表面的接触角,使用X射线光电子能谱仪分析了薄膜表面稀土元素的化学状态,并运用UMT 2MT型摩擦磨损试验机评价了薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:稀土改性后的碳纳米管成功地组装到磷酸化后的氨基硅烷薄膜表面而形成碳纳米管复合薄膜;碳纳米管复合薄膜表现出优异的摩擦磨损性能,在给定试验条件下,玻璃基片表面的摩擦系数由0.70降至0.13左右, 并表现出了优异的耐磨性和摩擦稳定性.  相似文献   

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