聚酰亚胺薄膜电容栅FET湿度传感器的研制

一种聚酰胺（ＰＩ）薄膜电容栅ＦＥＴ微型湿度传感器已经初步研制成功。这是一个ｎ沟道壁强型器件，具有曲折栅结构，沟道长约１０μｍ，宽〉８０００μｍ；栅区绝缘层厚约３３０００Ａ（ＳｉＯ２＋Ｓｉ３Ｎ４）；一个ＡｕＰＩ－Ａｌ纵向湿敏电容覆植于绝缘栅上，本文叙述了该ＰＩ－ＨＵＭＦＥＴ的结构设计，工作原理和主要性能，对某些有关问题进行了初步讨论。     

PI电容湿度传感器的研制

采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜,以铬,金为电极的电容式湿度传感器,给出了传感器的制造工艺,湿敏特性和工作原理,测试结果表明,在相对湿度ＲＨ为０￣９６％范围内Ｃ￣ＲＨ曲线线性度良好,灵敏度为ＲＨ变化１％,电容变化０．１５￣０．１７ｐＦ,该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为３％ａ。     

PI 电容湿度传感器的研制

采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺 (PI) 为介质膜,以铬、金为电极的电容式湿度传感器.给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理.测试结果表明:在相对湿度RH为0～96 % 范围内C～RH曲线线性度良好,灵敏度为RH 变化 1 %,电容变化 0.15～0.17 pF,该种湿度传感器的 RH长期稳定性为3 %/a.     

高分子湿度传感器研究进展

湿度是一个重要的物理量,航空航天、计量等许多环境中需要在高温下进行湿度的测量。目前用于低温下测量的湿敏传感器主要有三类：电解质湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器和有机高分子聚合物湿度传感器。高分子湿度传感器现已在气象、纺织、食品加工及蔬菜保鲜等方面广泛应用。本文重点分析了高分子湿度传感器的发展趋势。     

基于电容传感器的低露点湿度仪研制

该文在介绍氧化铝电容式传感器测量露点原理的基础上，详细论述了低露点湿度测量的几个重要问题：温度与压力补偿、传感器的稳定性及校正方法和系统测量问题，最后给出了温度修正经验公式．测试表明，该湿度仪精度高、性能稳定．     

化学和湿度传感器用聚合物膜的制备方法

使用紫外辐射溶液聚合方法研究了化学／湿度传感器用聚合物膜的制备方法．本方法制备的膜厚度在5～100μm区间可控,信号响应好,可重复．     

半导陶瓷湿度传感器的阻抗—湿度特性

用二氧化锆、二氧化硅、磷酸和其它掺杂剂制作各种半导瓷湿度传感器。电导的加强是依靠水的吸附和毛细凝聚。随着相对湿度逐步从5％增大到100％,在20℃和1kHz时,阻抗由2×10~8Ω减小到2×10~3Ω。电阻随湿度改变的响应时间在5s以下,为了降低多元氧化物半导瓷的阻抗,研究了多孔瓷体中掺杂纯金属或金属氧化物的效果,对一种最简单的制作半导瓷湿度传感器的方法作了具体介绍。推导了半导瓷湿度传感器的通用的阻抗—湿度特性方程式,并且用以计算一些实际样品的阻抗—湿度特性曲线,获得理论结果同实验测量之间互相一致。     

用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究

设计制作了一种基于MEMS技术,可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构,聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料,金作为上、下电极.测试结果表明,在15%RH~95%RH的全量程范围内,湿敏电容的合格率≥80%,灵敏度约为0.29pF/%RH,线性误差<1.5%RH,湿滞较小,响应时间小于4 s,温度系数好,具有良好的长期稳定性.研究表明,制作的湿敏电容综合指标良好,适合批量生产,可以满足高空气象探测要求.     

新一代高分子湿度传感器的核心：电阻型薄膜湿敏元件

今天人类已步入信息时代，如何真实而迅速地识别和处理各种信息已成为社会和人们的迫切需求。传感器作为捕捉信息的器件随之迅猛发展，在现代高度信息化的社会和科技发展中占据相当重要的地位。湿度传感器是一类重要的化学传感器，在仓贮、工农业生产、过程控制、环境监测、家用电器、气象、航天导弹等方面有着广泛的应用。国内外研究十分活跃，日本、芬兰已走在世界的前列。近年我国的发展也非常快，浙江大学对此不仅投入了相当力量进行跟踪研究，而且在理论与开发应用上都取得了可喜的进展，研制出了具有先进水平的实用产品。 湿度传感器…     

扦插育苗中湿度传感器的应用

着重介绍以湿敏电容作为湿度传感器，实现对扦插育苗湿度的自动控制。相对湿度控制范围，实验中调整在７０％～９０％之间，全控范围可为１％～１００％，可完全满足扦插苗木对湿度要求，苗木扦插成活率达９０％以上     

一种新型微纳无线湿度传感器的研制

研究了一种新型微纳无线湿度传感器的研制方法,该传感器是通过介电泳技术把znO纳米棒定位在自行设计的微电极中间.ZnO纳米材料具有巨大的比表面积和界面,利用ZnO纳米结构对湿度具有很好的吸附和解吸附性能可以制作一种湿度传感器.通过基本传感特性的测试,证实了该传感器具有良好的重复特性和较高的灵敏度.另外,通过GSM Modem,将该传感器与温度传感器相结合,制成一种家用无线温湿探测系统,能使用户很方便地了解室内的温湿信息.     

高分子电阻型湿度传感器的研究

采用^60Co-γ射线引发聚合的方法制造高分子电阻型湿度传感器，对于感湿膜组份含量对电阻值和测量精度的影响进行初步探讨，优化了加工制造工艺条件，该产品现场应用效果良好。     

陶瓷湿度传感器的数学模型研究

根据陶瓷湿敏元件典型的抗阻特性，分别建立不同的数学模型．通过该数学模型实现了传感器宽量程的线性化输出，大大地提高湿度测量的精度，并为其他非线性敏感元件的线性化处理提供了一定的理论基础     

TDLAS湿度传感器与维萨拉湿度传感器性能对比研究

水汽含量对于诸如文物保护、气象、工业生产等领域都有明确标准并需要严格控制,因此能够精确和快速的实现环境湿度监测已成为一大研究热点.现在常用的湿度传感器为芬兰VAISALA生产的湿度传感器系列,但是其测湿部分采用聚合物高分子薄膜电容传感器,存在响应时间长,褪湿慢等缺点,已经不能满足用户需求.基于TDLAS技术的湿度传感器使用半导体激光器作为光源,参考气室提供光谱调节反馈,构成了一种高精度水汽含量检测系统,响应速度快,灵敏度高,可以克服传统湿度传感器的不足.该文以米歇尔露点仪为标准,对比测试了TDLAS湿度传感器与传统的VAISALA电容传感器响应时间、测量精度等性能.证明了TDLAS湿度传感器具有更好的测量准确度与灵敏度.     

电容式湿度传感器结构优化

对圆筒形电容式湿度传感器进行合理的结构优化．依次改变极板的直径、长度、厚度、间距、个数等,利用有限元分析软件模拟上述条件下电容器极板的场强的分布,找到场强随这些参数的变化规律．分析结果发现,单层极板呈现出明显的边缘效应;随直径增大,边缘场强与内部场强的比值增大;极板越薄,边缘场强越小;适当加大极板长度,可减缓边缘场强增加的速率,但效果有限．多层极板,随间距增大,边缘场强与内部场强的比值增大,但总电容变化量减小;极板的间距应适当选取．对于多层极板,中间极板的场强有相互抵消的现象,故而可以适当减小中间极板的间距,以增加极板的个数,对测量有利．推荐了最佳尺寸．     

湿度传感器稳定性的误差来源分析

阐述了湿度传感器稳定性的误差,指出影响湿度传感器稳定性的误差有线性误差、温度影响误差、湿滞误差以及校验标准误差等.     

电阻型湿度传感器伏安特性测试及其导电机理

测试了电阻型湿度传感器在低湿和高湿区的伏安特性，并根据伏安特性的测试数据，分析了该湿度传感器的导电机理，结果表明，在低湿区，其主要导电载流子是电子；在高湿区，其主要导电载流子是湿敏材料中的去离子。     

陶瓷湿度传感器的数学模型研究

根据陶瓷湿敏元件典型的抗阻特性，分别建立不同的数学模型，通过该数学模型实现了传感器宽量程的线性化输出，大大地提高温度测量的精度，并为其他非线性敏感元件的线性化处理提供了一定的理论基础。