首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 328 毫秒
1.
用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1-x O薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响,X射线衍射(XRD)谱和原子力显微镜(AFM)图像表明:MgxZn1-x O薄膜为六角纤锌矿结构,且具有非常好的沿垂直于衬底的c轴的择优取向,随着溅射功率和淀积时间的增加,X射线衍射峰的衍射角变大,半高宽(FWHM)减小,平均晶粒尺寸增加,薄膜结晶质量显著提高。  相似文献   

2.
本文采用S-抢磁控溅射系统淀积ZrN薄膜,用扫描电镜、X射线衍射、反射电子衍射、俄歇电子能谱和电学测量等方法研究了衬底负偏压溅射和溅射两种工艺方法淀积的ZrN薄膜的结构、组分和薄膜电阻率。结果表明,适当增大溅射功率,采用衬底负偏压溅射方法,有效地减少了氧的沾污,使得所淀积的ZrN薄膜的电学性能有明显改善。  相似文献   

3.
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si纯ZnO相的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
通过X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析。结果表明:用该法可生长出正化学比的纯ZnO相,脉冲激光淀积(PLD)法生长ZnO/Si样品时氧离子束辅助(O^ -assisted)是必要的。  相似文献   

4.
本文介绍了SiH4/PH3混合气体的高频辉光放电法,在硅、玻璃衬底上淀积的掺P氢化非晶硅膜的结构和特性,并对样品作了高温退火试验,应用x射线衍射和红外吸收,对淀积膜的结构性质作了探讨和分析。结果表明,所淀积的是一种微晶-非晶混合相掺P氢化非晶硅膜(AM-Si:P:H)。这种膜具有良好的光电性能,较高的掺杂效率。经退火后,光电性能有所改善,是P-i-n太阳能电池所希望n^ 材料。  相似文献   

5.
淀粉多晶体系的亚微晶结构研究   总被引:19,自引:3,他引:16  
通过对淀凝胶,预糊化淀粉以及不同状态的玉米原淀粉颗粒的广角X射线衍射研究,提出了在淀多晶体系中存在大量的介于微晶和非晶之间的亚微晶结构,同时明确了这三种结构在X射线衍射曲线中的对应区域,从而进一步揭示了[人颗粒结构的实质。  相似文献   

6.
用电淀积方法制作CdTe薄膜,可降低半导体材料的消耗和生产费用,对降低太阳电池成本具有很大吸引力。但由于发展较晚,工艺尚不成熟,重覆性也差。其原因是对成膜机理和各种影响因素未能有足够了解。为此,我们在不同电淀积条件下制备了CdTe薄膜,并对它作了X射线结构分析和电镜观察,初步得出一些结果: 1.有些CdTe薄膜中,出现Cd晶粒、针孔、裂缝等缺陷,对薄膜质量是有害的。它们的出现与许多因素有关,如电淀积过程中搅拌情况,衬底的表面状态,电介液的组成,阴极电位,电流密度,以及样品中的残余内应力等。 2.电淀积CdTe多晶薄膜都有不同程度的织构现象,这对改善太阳电池性能有利。提出了一个柱状晶体生长模型加以解释。  相似文献   

7.
反应蒸发制备的TiN薄膜特性研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文利用反应蒸发方法在NH_3气氛中淀积了TiN薄膜。俄歇电子谱(AES)、X射线衍射技术和电特性测量等方法分别用来分析了在不同NH_3气压和不同衬底温度条件下所淀积的TiN薄膜的组分、晶体结构和电特性。Al/TiN/Si金属化系统经550℃、30分钟退火,卢瑟福背散射研究结果表明,TiN是一种有效的扩散势垒材料。  相似文献   

8.
本文研究了砷离子感生硅化铂的形成与生长动力学.用150keV的砷离子束轰击在P型、(111)单晶硅上淀积一层铂的薄膜的样品.在铂膜与单晶硅界面附近观察到铂与硅两类原子的混合层.用RBS方法研究混合层的厚度与砷离子的剂量和能量,以及与轰击时样品温度的依赖关系.用X射线衍射测量确认混合层的物相.实验结果说明,样品中存在的杂质如氧及氩将会影响硅化铂的形成与生长.  相似文献   

9.
利用离子束镀膜技术,在非超高真空(1.33×10~(-3)Pa)下,采用离子束清洗衬底表面和对衬底加热的辅助方法,在单晶Si衬底上淀积Co薄层,再在Co层上淀积Si保护层,然后在570—680℃下进行真空(6.67×10~(-3)Pa)退火,能形成有害杂质(O、C等)含量少且界面区域过渡陡峭的CoSi_2/Si异质结。本文利用俄歇电子能谱(AES),X射线光电子谱(XPS)和紫外光电子谱(UPS)对样品的组分、化学相和电子结构进行了分析。  相似文献   

10.
使用自制的微波激励式真空紫外光化学汽相淀积设备,以硅烷和氧为反气体,在32-220℃的低温下,成功地淀积出了优质实用的SiO2薄膜,测试结果表明,淀积膜的组分结构,主要光学及电学特性均与高温生长膜的相符,将该技术应用于某些晶体管及热敏打印元件的制作工艺中,已取得了明显的衫效果。  相似文献   

11.
根据X射线粉末衍射谱图,对经不同方式处理的石墨的结构进行分析,用对比方法比较了它们衍射谱图中衍射峰位置和强度的差异.分析其原因,进而判断它们的结构特征.结果表明可以利用适当的方法使一些非碳反应物插入石墨层间.从而制成石墨层问化合物(GIC).改善其性能,扩大其应用领域.  相似文献   

12.
应用电子能谱、X射线衍射及透射电镜等对四种不同注氮工艺下的Ti-6A1-4V 合金表面改性层的化学成分、显微组织及合金结构等进行了分析研究。结果表明:注 层中的氮离子分布随注入剂量的不同而异;在注层中形成了TiN,Ti2A2N 等新的 合金相,同时形成了层错、孪晶等缺陷.并从理论方面对改性层的强化机制进行了初 步探讨。  相似文献   

13.
用一种混合方法用来制备ZnO纳米结构薄膜,首先利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积ZnO薄膜作为种子层,然后用水热方法合成ZnO纳米结构薄膜.为研究ZnO纳米结构薄膜的特性,利用X——射线衍射(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行分析,并用X——光电子能谱技术(XPS)对薄膜的化学组份进行分析,最后利用光致发光方法(PL)对ZnO薄膜的发光性能进行了研究.从XRD谱图中可以看出,无论溅射的ZnO种子层还是水热合成ZnO纳米结构薄膜均为良好c轴(002)结晶状态的六角纤锌矿结构.从SEM图像看出,磁控溅射ZnO种子层为连续平整的膜状结构;而经过水热处理后则得到垂直于衬底的六角纳米棒和纳米片两种不同形貌的结构.XPS分析现示,在ZnO种子层中,锌和氧的比例基本上为1,说明磁控溅射ZnO晶体质量较好;而ZnO纳米结构薄膜中存在明显的氧空位缺陷.值得提出的是ZnO纳米薄膜光致发光谱存在异常的特性,采用波长为325 nm的He-Cd激光激发出可见光范围(500~700 nm)内的发光带,强度最强的是橙——红色的光(~600 nm),且肉眼可直接观察到.随着激发光波长在280~380 nm范围内变化,橙...  相似文献   

14.
在利用西昌地区大量勘察资料的基础上,对黏土层进行了X射线衍射、化学成分分析以及模拟试验等研究.研究结果表明,四川西昌昔格达组黏土层因其特殊的成分特征,表现出不同的物理力学行为特点.对黏土层的物理力学行为进行总结,并提出了非典型性黏土——绿泥石在西昌昔格达组黏土层的黏性中起关键作用的观点.  相似文献   

15.
采用磁控溅射方法制备分别以Ta和NiFeCr为缓冲层的Ta(NiFeCr)/NiFe/Ta薄膜材料.对于相同厚度的NiFe薄膜,与传统材料Ta相比,用NiFeCr作缓冲层薄膜的各向异性磁电阻有显著的提高.X射线衍射结果表明,与Ta缓冲层相比NiFeCr缓冲层可以诱导更强的NiFe(111)织构.高分辨透射电子显微镜结果表明,NiFeCr缓冲层和NiFe层的晶格匹配非常好,NiFe沿着NiFeCr外延生长,以NiFeCr为缓冲层的NiFe薄膜具有良好的晶体结构.对薄膜进行热处理,以NiFeCr缓冲层为缓冲薄膜的各向异性磁电阻值在350℃以下基本保持不变,当退火温度超过350℃后,其值会明显下降.以NiFeCr缓冲层的薄膜在350℃以下退火具有良好的热稳定性.  相似文献   

16.
对铋系超导体的正常态和超导态之间的转换进行了与温度相关的穆斯堡尔谱、X-射线衍射、磁化系数ac和电阻率的测量。铋系超导体的穆斯堡尔谱测量显示出两个通常的四极劈裂峰值,表明材料的组成成分是2223相。^57Fe占位的讨论采用点电荷模型。与温度相关的^57Fe穆斯堡尔谱和X-射线衍射研究晶格振动的动力学信息都是从77K到室温的范围。实验结果表明在120K和200K附近时,Cu-O层中出现了晶格软化。在Tc以上温度出现晶格软化是超导转变的先驱效应。  相似文献   

17.
不同成因类型黄铜矿细菌浸出钝化   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用嗜酸氧化亚铁硫杆菌为浸矿菌种,采用SEM,XRD和XPS等手段研究2种不同成因类型黄铜矿(黄铁矿型和斑岩型)表面钝化机理.研究结果表明:2种类型黄铜矿表面形成的钝化层性质不同.黄铁矿型黄铜矿浸渣中产生S8和硫砷铜矿,其表面结构疏松;而斑岩型黄铜矿浸渣中出现Cu18.32Fe15.9S32和Cu2S,表面结构致密.黄铁矿型黄铜矿浸渣表面阻碍层为硫及其多聚物,斑岩型黄铜矿浸渣表面为富铜贫铁层.它们阻碍黄铜矿的继续浸出,且富铜贫铁层对黄铜矿的钝化能力强于硫层对黄铜矿的钝化能力.  相似文献   

18.
合成并表征了新化合物[Mn(H2O)(2,2′-bipy)V2O6],且对化合物进行了相应的红外、热重分析.结果表明:该化合物的空间群是Pca2(1),其晶胞参数为a=9.1702(2),b=10.4773(8),c=14.5231(3),V=1393.54(10)3且Z=4;该化合物的结构特征是钒氧四面体[VO4]以共顶点构成的钒氧链,[MnN2O4]八面体将钒氧链连成层;配体2,2′-联吡啶则分布于层的上下两侧,并以π—π相互作用将层与层之间连接起来.  相似文献   

19.
The microstructure characteristics of shell plates of chiton Liolophura japonica Lischke were analyzed using environmental scanning electron microscopy (ESEM). The results show that the internal structure of the shell plate of chiton Liolophura japonica is composed of seven calcium layers which were crossed lamellar crystallites, homogeneous structure, granular crystallites, and trabecular type crystallites. The element compositions of shell plates were analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The results determined by XPS show that the surface chemical states of various layers are different. There are 13 elements (Na, O, N, C, S, P, Ca, Cl, Si, Al, K, Fe, Mg) on the shell plate of chiton L. japonica. Among the 13 elements, 11 are on the outside pigment layer except K and S. Among seven layers of shell plate, there is the largest quantity of elements on the outside pigment layer, and the least quantity of elements is on layer C (Articulamentum auctorum). There are 7 elements on the layer C (Articulamentum auctorum). Besides calcium carbonate, there are some inorganic compounds on the shell plate, such as NaCl, MgO, Al2O3, silicate, sulfate and phosphate. There are some organic chemical components, such as carbohydrate, organic sulfide, and organic nitride on the shell plates.  相似文献   

20.
The microstructure characteristics of shell plates of chiton Liolophura japonica Lischke were analyzed using environmental scanning electron microscopy (ESEM). The results show that the internal structure of the shell plate of chiton Liolophura japonica is composed of seven calcium layers which were crossed lamellar crystallites, homogeneous structure, granular crystallites, and trabecular type crystallites. The element compositions of shell plates were analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)....  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号