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提出了利用3个结构相同的激光三角测量模块,结合三同步驱动技术,通过保证上、下激光三角测量模块得到的厚度数据与第3路厚度补偿数据的同步来提高精度的方法.最后,采用统计上、下界法通过随机测试数据对测量系统的收敛性进行了分析.实验结果表明,该方法能够有效提高在线厚度测量精度. 相似文献
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提出了一种量测纳米薄膜厚度的方法,即根据纳米薄膜与其基底间存在的力学性质上的差异,选用合适的刻划工具,通过对薄膜直接进行刻划,产生划透薄膜且不影响基底的划痕,再运用原子力显微镜扫描,得到划痕区域的微观形貌,由此计算出纳米薄膜的厚度.用该方法对TiO2纳米薄膜进行测量,得到薄膜的平均厚度为71.6 nm,与相关文献报道的用其它方法测得的薄膜厚度值较吻合.作为测量纳米薄膜厚度的又一方法,此法具有适用范围广,厚度图像直观,操作和计算均较为简单,精度较高的特点. 相似文献
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左则文 《安徽师范大学学报(自然科学版)》2012,35(1):32-34
等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易,操作方便,分析直观,在生产中有着广泛的应用.本文探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材料劈尖,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹,通过条纹相关参数的测量,获得薄膜的厚度.通过比较,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确,因而更实用. 相似文献
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差分激光三角法油膜厚度测量传感器的测量范围与精度分析 总被引:1,自引:0,他引:1
针对所研制的海面溢油油膜厚度测量传感器的测量范围和精度进行了研究.在分析基于垂直入射差分激光三角法油膜厚度测量原理的基础上,分别采用厚度0.1,mm的塞尺和10,mm的陶瓷量块对传感器的测量上下限进行了验证,并采用厚度为1~10,mm的0级陶瓷量块对传感器进行了精度测量和分析.结果表明,所研制的油膜厚度测量传感器的范围为0.1~10,mm,测量相对误差小于1%. 相似文献
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主要研究了电涡流传感器在多频率多参数下镀层厚度的测量方法。提出了采用两频率两参数测量镀层厚度的方法,从而可以在线测出镀层厚度的大小。理论分析和试验证明该方法是可行的。 相似文献
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激光超声非接触测量固体材料厚度的实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用高功率激光脉冲在固体材料中产生超声波这一物理现象,研究以非接触方式测量固体材料的厚度,通过专门设计的连续激光器探测系统,测量出的钢板厚度与实际数据相一致,为开展实际应用技术的可行性方面提供了理论和实验依据。 相似文献
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设计了基于位敏探测器PSD(Position Sensitive Detector)的激光三角法测量系统,可测量类似扬声器振膜物体的弱反射宽带微振动位移.信号处理采用全模拟电路实现,低输入偏置电流、中速运算放大器OP271EZ作为前置放大器,二像限除法器AD734构成除法电路. 相似文献
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研制了一种非接触厚度测量及厚度分选仪,其传感器由气动位移传感器和变压器式位移传感器复合而成,该系统不受被测对象水分、灰度及密度的影响,具有较高的测量精度,为非接触厚度测量提供了新手段. 相似文献
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测量强反射表面的测头研究 总被引:3,自引:0,他引:3
针对金属表面强反射光影响光学非接触测量问题,基于视觉测量技术,利用金属表面反射光偏振特性以及三角法测头工作原理,设计了能测量金属强反射表面的测头,并分析了其结构参数.在已有的标定技术基础上,利用三坐标测量机,进一步研究了标定技术,在此基础上进行了实验研究,结果表明本系统具有很高的实用价值. 相似文献
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随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法层出不穷,准确测量薄膜的厚度和光学常数在薄膜的制备和应用中起着关键的作用,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。本文通过对薄膜的光学测量方法进行归类,列举其中一些测量方法在教学中的应用。 相似文献
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激光三角法测量表面形貌 总被引:5,自引:0,他引:5
对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究.通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系.分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围.讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施. 相似文献
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玻璃厚度是衡量玻璃制品质量的一项重要性能指标.为了测量玻璃厚度,研究了基于单激光的玻璃测厚装置.首先,根据光学原理仿真分析确定了激光的最佳入射角,通过CCD获取的光斑中心位置求取玻璃的实际厚度,并与使用游标卡尺的测量结果进行对比,发现单激光玻璃测厚的精度能达到0.01 mm,满足实际的检测要求. 相似文献
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This paper describes the design and development of a Semi-Automatic Precision Caliper System to measure the thickness of an outboard marine engine propeller blade. Several commonly used methods for measuring the thickness of a propeller blade are reviewed in this paper. These include the P rops Scan, 3D Vision System and Black Dog. However, the operating practices and availability of different facilities in industry necessitate a more cost-effect ive approach. An alternative method using a Semi-Auto... 相似文献
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针对单道超声反射式水泥胶结测井 ,从理论方法上研究如何从一维反射资料反演第一界面窜槽时水层的厚度 .通过选择套管共振透射窗 ,提高目的层有用信号的信噪比 .内层介质 (水和水泥 )厚度出现在声波相应介质层的相移φ(ω) =nπ φ0 (ω)中 ,利用多个频率点的相移反正切函数主值给出相应的 n值计算公式 ,并把 n值的整型性作为反演收敛的判据之一 .在已知条件下 ,采用牛顿迭代法对人工合成单道反射波信号反演了窜槽水层厚度 ,在模拟实际窜槽水层厚度为 1 mm和 3mm情况下 ,均得到满意的结果 ,而且反演结果的精度对初值的选择不敏感 ,表明反演方法可行 相似文献