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相似文献
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1.
本文介绍了一种精度较高的恒张力控制系统,提出了模拟系统的设计方案.着重计算了影响张力恒定的主要因素,即电流环、速度环的计算,为镀卷绕式挠性金属而设计,适用于塑料膜或抛光纸膜金属化,亦作其它张力控制系统的设计参考.  相似文献   

2.
材料磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一.解决这一问题的有效途径是通过各种表面处理技术来强化材料表面.近年来,各种离子和等离子增强的气相沉积技术发展迅速,经济效益显著.其中氮化钛镀层已在工业和其它领域得到了广泛的应用.  相似文献   

3.
4.
1 磁控溅射机理为了克服二极溅射淀积速率低及基片温度高两大缺点,笔者在蒸发镀膜机二极靶的后面加适当形状的磁铁,使其在靶面形成水平磁场。这样,处于辉光放电阴极区的电子,同时受到电场力和洛仑磁力作用,作旋轮线运动,电子运动路径大大增加,碰撞电离机会增多,  相似文献   

5.
由于本系实验室的真空镀膜机无法控制镀膜厚度,因而大大缩小了真空镀膜机在物理实验中的应用范围.为了解决有关的物理实验对膜厚的需求问题,笔者设计了本实验,研究了膜厚与蒸镀时间、反射系数以及分束比的关系,提高了真空镀膜机的利用率,为教学和科研提供了方便.  相似文献   

6.
本文提出了在真空镀膜实验中当底膜机的单相电源零线断开时,将出现的各种故障现象,并分析了其产生的原因。  相似文献   

7.
磁控溅射靶源设计及溅射工艺研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
《陕西师大学报》1999,27(1):36-38
  相似文献   

8.
以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。  相似文献   

9.
热蒸镀镀膜机膜厚均匀性问题   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

10.
为提高蒸发镀膜机内基板温度均匀性,以蒸发镀膜机为研究对象进行建模,采用COMSOL有限元软件对真空环境下的基板加热器温度场进行有限元仿真,并耦合PID算法用于温度控制,揭示了基板温度分布规律。在此基础上对基板温度均匀性的影响因素进行研究,并借助Nelder-Mead单纯形法对加热系统进行优化。结果表明,当顶加热丝间距与侧加热丝间距为1:1.23、加热距离为440 mm、反射距离为3.56 mm时,基板表面最大温差由优化前的16.5℃降低至9.9℃,温度均匀性得到改善。最后,结合实测数据分析显示,仿真结果与实测数据误差为6%,验证了优化的有效性。  相似文献   

11.
镀膜玻璃是一种新型建筑材料,已经广泛应用于世界各地的建筑上,它在装饰和节能等方面显示了巨大的魅力。建筑用镀膜玻璃可分为两类:一类是低发射膜玻璃.它的膜层能将室内辐射到其上的50%热能反射回去.而普通玻璃只能反射回10%的热能,所以低发射膜玻璃能起到保暖作用。一般用在较寒冷的地区,可大大节省暖气费用。另一类是阳光控制膜玻璃,它的膜层能将室外照射在其上的太阳光热量反射出22%,膜层受太阳光照射发热而向外辐射热量45%,因此,只有33%的热量进入室内,而普通玻璃反射太阳光热量7%,玻璃受热向外辐射6%,有87%的热进入室内,所以阳光控制膜能起到降低室内温升的作用,一般用在较炎热地区可明  相似文献   

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