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相似文献
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1.
采用等离子体源离子注入(PSII)技术在9Cr18不锈钢基体上制备类金刚石碳膜(DLC)多层膜,比较了该多层膜与N注入层对基体微动磨损性能的影响,结果表明,注入N后,改性层内形成了CrN,Cr2N和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高9Cr18不锈钢的抗微动磨损性能,实验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的抗微动磨损性,这与最外层LDC膜的高硬度和低摩擦系数有关。  相似文献   

2.
利用在管材中心引入同轴接地电极并在金属管材上加脉冲负偏压以产生径向离子加速电场,实现了金属管材内表面离子注入。目前国内外还有其它一些技术手段实现材料内表面改性,如脉冲放电爆炸金属箔注入、离子束溅射沉积、等离子体化学气相沉积法等。这些实验方法所遇到的主要问题是离子注入沿轴向不均匀、膜与基底结合不牢。在原实验方法基础上,又提出了一种新的方法——栅极增强等离子体源离子注入法。实验结果表明:此方法不但可以大大提高离子注入沿轴向的均匀性,而且可以实现气体离子和金属离子两种离子的共同注入。  相似文献   

3.
在带有共轴零电位附加电极的空心圆管等离子体源离子注入过程中,附加电极半径的大小直接影响到空心圆管端点内表面、端点表面和外表面的离子注入剂量,进而影响空心圆管表面的结构和性质,对空心圆管的不同部位这种影响是不同的.利用无碰撞两维流体动力学模型,研究了有限上升时间的电压脉冲作用下,共轴放置附加零电位的半无限空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中,附加电极半径变化时,空心圆管端点附近离子注入剂量分布随时间的演化规律.计算机模拟结果显示了附加电极半径改变时,空心圆管内部、外部及端点表面处的离子注入剂量分布发生变化.  相似文献   

4.
氩离子等离子体源离子注入的数值模拟   总被引:1,自引:0,他引:1  
应用PIC-MCC方法模拟了氩离子等离子体源离子注入过程,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,模拟了不同电压、不同气压及不同等离子体密度下氩离子到达靶表面的能量分布和入射角分布,讨论了碰撞对能量分布和入射角分布的影响.  相似文献   

5.
离子注入对玻璃材料的改性   总被引:1,自引:0,他引:1  
简要地评述了离子注入对玻璃风化、化学稳定性、晶化和非线性光学性质的影响。指出采用离子注入法,在不影响磷酸盐玻璃重要性质的前提下,提高其化学稳定性;锂硅酸盐玻璃在注入Nd^+后,可提高玻璃的耐水性。强调指出离子注入在玻璃改性上有着广泛的应用前景。  相似文献   

6.
利用国内首台三级差分抽空的分子束质谱装置,对短间隙氮异常辉光放电阴极鞘层区正离子组分及能量分布进行了诊断研究。在所研究的实验条件下(压力133~279Pa,放电电流2~7mA),离子流中主要离子成分是N^+、N^+2,且N^+比N^+2的浓度大5倍左右。鞘层区的N^+、N^+2的能量分布均有一极大值,该极值在所研究实验条件下随气压增高而减小,随放电电压增大而增大。对氮等离子体中所包含的主要基元过程  相似文献   

7.
驱动电流密度对低压容性射频鞘电势及离子动能的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了离子轰击被加工材料表面的能量与射频驱动电流密度之间的关系,在Lieberman的低压容性射频等离子鞘模型基础上,考虑Bohm速度对应的鞘前电势差,将鞘前电势差与Lieberman的鞘内电势合并,发展了Lieberman的模型,并推出了总电势差与驱动电流密度的关系式,利用总鞘电势差计算了经时间平均的鞘电场加速后离子获得的动能,由于鞘电势差和平均离子动能及其增幅随电流密度的增加而增加,因此射频驱动电流密度对鞘电势差及平均离子动能起激励作用,通过实验,测量了时间平均鞘电势差及驱动电流密度值,实验结果与理论结果吻合较好,因此验证了理论分析的正确性。  相似文献   

8.
离子注入和溅射率的蒙特卡罗模拟计算   总被引:2,自引:0,他引:2  
蒙特卡罗方法是一种模拟随机性问题的好方法 ,文章依据离子注入和溅射原理并运用蒙特卡罗方法在计算机上模拟了氩离子注入铜靶中的注入离子轨迹、碰撞级联和铜靶在氩离子不同能量和氩离子不同入射方向时的溅射率 ,并对所取得的模拟结果进行了分析研究 ,为提高溅射镀膜生产效率提供了理论依据。  相似文献   

9.
介绍了微机控制的等离子体源离子渗氮的原理、方法,阐述了脉冲电源在渗氮过程中的应用方法,以及首次采用这种方法对不锈钢样品进行渗氮处理后所得到的一些结果.  相似文献   

10.
Plasma immersion ion implantation (PI~3), a new technique with certain advantages over biological samples, was developed. Argonion as well as nitrogen ion implantation of the pea seeds has been carried out with the PI~3 implanter and their RBS spectra were also studied. The results show that the mass deposition effect of ion implantation on biological samples can be achieved with the PI~3 implanter. In addition, there is an optimal implantation time for a given treatment condition. It presents new possibilities for the ion implantation into biological samples.  相似文献   

11.
讨论了离子注入在人质中输运的数值模拟方法,采用扩散理论和交替方向隐式的D-R差分法,以砷离子注入在硅单晶中输运为例,数值模拟结果与实验结果基本相符。  相似文献   

12.
用分子动力学模拟的方法,研究了轴向外加电场强度对圆柱形纳米管道中NaCI溶液离子径向密度分布的影响.仿真结果表明,纳米管道两端的外加电场强度增大时,系统的瞬时动能增加.离子获得较大的径向动能就可以克服所在位置势能束缚,运动到使原来浓度峰值减小的径向位置,以保证系统的自由能减小,从而导致离子径向浓度峰值变小.壁面电荷密度越小,离子受到壁面电荷的束缚就越小,这一现象越明显.由于离子的径向分布对电渗流有直接影响,因此这一仿真对电渗流的理论研究和利用外电场实现离子分离的纳流体器件的设计具有重要的参考价值.  相似文献   

13.
提出了一种用于分子动力学(MD)模拟晶体靶材料中离子注入的加速算法.READE(包含剂量效应的稀有事件算法)方法可以很好的加速含剂量效应的离子注入的分子动力学模拟.在保证高精度和剂量效应的同时,模拟的时间大幅度减小.同时,在模拟中许多导致统计噪声的细节在READE中被考虑进来,并使得READE更加合理和可信.  相似文献   

14.
在离子源的设计中,为了减少等离子体的器壁复合损失,经常采用磁场对等离子体进行约束;但磁场分布的复杂性,给实际测量带来了困难。介绍采用磁荷法对低能辐照离子源中磁场分布进行计算,给出了计算结果,并讨论了误差可能产生的原因及其影响。计算结果对于离子源设计中的阴极热电子发射、离子束有效引出面积确定体的有效约束等重要问题有一定参考价值。  相似文献   

15.
通过实验研究了等离子体环境中金属棘轮对介质尘埃颗粒的整流过程.单分散聚苯乙烯颗粒悬浮在处于等离子体环境中的金属棘轮通道内,通过调节气压和放电功率实现了对颗粒的整流,颗粒在锯齿通道内做可控性定向运动.实验中只观察到颗粒的逆向运动.由于金属棘轮电势低,其表面较厚的鞘层对颗粒形成较强的约束,颗粒受到的非平衡切向离子拖曳合力更大,这将引起颗粒更快的定向运动.实验结果为建立尘埃等离子体棘轮模型奠定基础.  相似文献   

16.
Si^+和Ti^+注入H13钢注入层微观结构的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
利用透射电子显微镜,分析了Si^+(100keV,5×10^17cm^-2)和Ti(100keV,3×10^17cm^-2)注入H13钢注入微观结构的变化,结果表明,离子注入后板条状马氏体完全消失,Si^+注入导致注入层晶粒细化,而Ti注入导致注入层非晶化。  相似文献   

17.
对离子注入材料表面改性及其在摩擦学中的应用进行了综述.大量文献资料表明,离子注入是改善材料摩擦学性能的一种有效方法,许多金属离子或非金属离子均可注入到金属、陶瓷、高分子等材料的表面以改善其摩擦学性能.离子注入对材料表面耐磨性能改善的效果取决于注入离子的种类、注入剂量、注入能量和注入温度.讨论了为使该技术更加广泛地应用于实际摩擦学体系还须研究的一些问题.  相似文献   

18.
采用室温离子注入和低压电镜原位观察的方法,研究了注氢对国产ODS铁素体钢微观结构的影响.结果表明:原始未注氢ODS铁素体钢中存在有一定数量的(Fe,Cr)2O3,室温注氢后,(Fe,Cr)2O3无明显改变;但将其加热至450℃,(Fe,Cr)2O3即开始分解;到550℃时,部分(Fe,Cr)2O3消失,残余(Fe,Cr)2O3的成分也发生了改变.与此相反,原始未注氢ODS铁素体钢的微观结构在加热过程中却没有明显改变,(Fe,Cr)2O3并不分解.  相似文献   

19.
二维无碰撞离子引出过程的数值模拟   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用流体理论电子平衡模型,对二维不考虑带电粒子碰撞的激光分离同位素(AVLIS)离子引出过程进行了数值模拟,包括对不同收集方式进行了模拟和对比,研究了离子引出过程中的物理机理及物理量的空间分布特点,表明等离子体电位略高于阳极电位,并在离子引出过程中基本保持不变;电子温度越高等离子体电位越高,离子引出时间越短;对称收集方式的离子引出时间短且离子逃逸量也少。  相似文献   

20.
用失重法、电化学方法、金相及俄歇电子能谱分析研究了碳钢离子注入Y,Cr元 素在海水,HF,H2SO4+H3PO4中的耐腐蚀改性作用.结果表明:稀土Y注入后 使碳钢耐水溶液腐蚀性能提高;Y,Cr复合注入使碳钢表面产生钝性,局部诱发小孔 腐蚀;Y在表面注入层均匀富集产生的非平衡态合金化作用是耐蚀性提高的主要原 因;注入过程中高能离子轰击引起的表层微观结构变化对耐蚀强化起着一定的作用; Y,Cr复合注入合金化的耐蚀改性效果更佳。  相似文献   

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