基于改进遗传算法的三坐标测量机光学测头的标定

针对三坐标测量机上安装激光测头时机械调整误差大以及传统补偿算法鲁棒性差的缺点，提出了三坐标测量机非接触扫描测量时PH10回转体上光学测头安装姿势误差的补偿方法，建立了安装姿势误差的数学模型，通过对标准球球心的最小二乘拟合，给出了误差模型待标定参数的无约束最优化目标函数的惩罚函数形式，提出了一种改进的遗传算法，在并行组合模拟退火算法中采用了改进的多点交叉算子和自适应变异算子，同时使用了两次最优保存策略，通过仿真实验证明了算法求解的精确性．     

三座标测量机测头的误差分析

从工作原理、结构特点上对影响三座标测量机糟度的测头误差进行分析，说明了它们产生的原因，对测量结果的影响及减少它们的可能方法，指出了引起触头中心点座标误差的主要参数为测头的各向重复精度。对不同类型测头的精度和适用场合也作了介绍。     

三坐标测量机误差测量的新方法

以平面圆轨这上各点空间与几何的关系为基础,提出了一种测量三和何误差的新使用Ｒｅｎｉｓｈａｗ检查规测量ＸＹ,ＹＺ、ＸＺ平面内特定圆周上各点的空间误差,通过最小二乘法,可分同所有２１项几何误差,这种方法操作方便、精度高,仅用２ｈ即可完成全部２１项误差的测量,为通过补偿提高坐标测量机的精度提供了有效手段。     

坐标测量机如何选用合适的测头探针

坐标测量机是一种精密的测量仪器,测量机的测头探针是其关键部件,测头探针精度的高低决定了坐标测量机的测量重复性。文章针对坐标测量机的测头探针方面的问题进行了探讨,并给出了选择测头探针的具体解决方案。     

移动桥式三坐标测量机非刚性误差分析与建模

根据移动桥式三坐标测量机非刚性效应测量误差的分布特征,对坐标测量机构件进行受力变形分析,进而对坐标测量机的非刚性效应测量误差进行分析,建立了三坐标测量机非刚性误差模型,为高精度坐标测量机的误差补偿技术提供了新的思路。     

三坐标测量机直线度误差线性回归方法研究

以三坐标测量机为基本分析对象,结合总体最小二乘法和最小截平方算法处理测量数据,研究其直线度误差的评定方法.研究结果表明,针对包含粗大误差和随机误差的三坐标测量数据,采用稳健性的评估算法,更能真实地反映测量机的直线度误差情况.     

高速扫描三坐标测量机动态误差模型

用三坐标测量机进行高速扫描测量时,由于机体的振动全产生较大的动态误差。本文研究了扫描三坐标机在高速运动中的动态特性。找出了产生动态误差的根源。文中根据过程辩识原理,将三坐标测量机看作线性动力系统,用实验方法建立了动态误差的ＡＲＭＡ模型,并将Ｋａｌｍａｎ滤波器应用于模型之中,消除了测量噪声对参数辨识的影响,提高系统辨识的的精度。最后对一台移动知式三坐标测量机成功地进行了动态误差补偿,减小动态误差６０     

纳米三坐标测量机的误差分析与分离1

针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差源全面分析,对各误差的表现形式和影响进行了详细的描述,为后续的误差分配和结构优化设计打下基础.根据纳米坐标测量机的精确环境要求和所研制的纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,利用微型三光束平面干涉仪,设计了相关的支架组成了误差分离实验装置,实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆和滚转误差的一次性分离,减小激光干涉仪发热、振动等外界环境因素对测量机误差的影响,同时避免了使用单一功能的仪器分次非实时测量带来的附加误差.实际分离实验结果验证了误差分离实验装置的有效性与可靠性.     

三坐标测量机测量误差的试验研究

操作不规范等诸多因素导致采用三坐标测量机测量的误差较大。为了探索操作方法、测球直径、测头进给方向与被测表面夹角和数据处理方法对测量精度的影响,设计了一种操作方法对测量精度影响的试验。该试验通过在两种测量模式下对高精度量块进行测量,研究了测头直径、测头进给方向与被测面之间的夹角对测量精度的影响。用MATLAB编程对测球中心点数据进行处理,与设备自带软件测量数据进行比较,研究了不同数据处理方法对测量误差的影响。分析了产生测量误差的原因,该研究对提高测量精度和研究数据处理方法有很好的参考价值。     

纳米三坐标测量机的导轨直线度误差分离实验

基于误差分离技术,以德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000为高精度的标准量,对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行导轨直线度误差分离方案的研究.设计出具体的误差分离实验装置,并给出详细的实验操作过程.通过三次样条插值拟合,对实验测得的误差值进行修正.实验结果证明了所采用的误差分离方法明显提高了纳米三坐标测量机的精度.     

批量零件三坐标测量的校准及误差评估算法

研究了批量产品参考标架的程序自动化校准算法,该算法解决了对于空间中具有平移、对称、旋转及其组合变换关系的批量产品其测量的理论值和实测值之间的变换问题,提出了基于基准点的标架校准技术和误差的评定方法,使批量产品的标架校准由原来的多次重复性复杂手工操作过程变为程序一次性精确校准,实例表明该方法在坐标方向上的精度可达4μm,角度达到0.012。     

齐次坐标变换的测量机误差修正模型

为提高结晶器坐标测量机的测量精度,运用齐次坐标变换矩阵,建立测量机测头中心相对于底座参考坐标系的测量模型,并进行误差修正。实验结果表明,该测量模型可以综合修正21项几何误差,使测量机测量精度提高30%~40%。该研究以误差补偿来提高测量精度,使测量精度由注重零部件的制造转向系统稳定性的高精度检测。     

数控机床平面误差场的接力测量法

分析了数控机床几何误差的固有特性,提出一种使用较小范围测量仪器获得整个机床平面误差场信息的方法——接力测量法.该方法以距离机床坐标原点较近的点（该点的误差直接通过测量仪器获得）为基点,从而获得离机床坐标原点较远位置点的误差,依此类推,最终获得整个机床平面上位置点的误差信息.给出了接力测量的法则,对平面误差场中任意一点的误差,应以最少的接力次数获得,接力测量次数相同时,测量路径对测量结果影响不大.试验结果表明,在数控机床反向间隙补偿后,由接力测量产生的误差对测量结果影响很小,接力测量法具有较高的测量精度,且操作方便,能够用来进行平面误差场的标定.     

路面车辙多路传感器检测误差分析

为评价车辙检测误差，分析了多路传感器车辙检测原理，通过研究车辙的统计分布，应用双余弦车辙数学模型计算分析，得出了传感器横向布置数目与车辙检测最大误差的关系。结果表明：当横向布置传感器数目较小时，车辙误差主要由采样点有限引起的不重合误差决定；当传感器数目较大时，车辙误差主要由位移传感器的测量准确度决定；随着传感器数目的增加，车辙测量最大误差在传感器数目小于21时减小较快，在传感器数目大于33时衰减缓慢。     

二相编码信号发射的超声液位测量误差分析

二相编码信号发射的超声波液位测量不仅可以改善测量的准确性,而且能够增强测量系统的抗干扰性能.研究表明优化测量系统的发射信号波形可以明显提高测量精度和改善系统稳定性.采用Barker二相编码信号作为发射信号、压缩回波信号能量、优化信号处理、引入测量误差补偿,形成一种新的超声液位测量方法,并进行仿真验证.仿真结果表明:使用自适应白化滤波器、相关处理技术和最小二乘法曲线拟合,对测量结果进行修正,可以减小Barker码激励的超声液位测量误差,提高测量准确性.     

二维矢量声强探头的设计计算与误差修正

一维声强探头测量二维空间方向声强需要测量两次,费时且有时时间上不允许。利用平行四边形曲柄机构的位置保持原理,设计了测量频率范围可调的二维矢量声强探头的机械结构。基于双传声器互谱声强法原理,采用三个传声器构成的二维矢量声强探头,给出了二维矢量声强的测量原理、二维矢量声强的计算公式和有限差分误差修正方法。修正后互谱声强计算值和理论值之间的误差要比修正前显著减小,表明有限差分误差修正方法可以明显降低互谱声强测量中由于有限差分导致的声强测量误差。     

多环节回转平台姿态误差测量与误差结构研究

本文建立了多环节回转平台的几何模型,分析了误差结构,建立了姿态误差数学模型,采用一种新的测量仪器--关节臂坐标测量机对回转平台的姿态误差进行测量,并用谐波分析法分离误差,找出了误差结构的变化规律,为补偿误差提供理论指导。     

计算机辅助主轴回转误差测试与分析

讨论了计算机辅助主轴回转误差检测原理,分析了影响测量精度的因素,通过傅立叶变换分析,指出检测元件安装偏心和形状误差是影响主轴回转误差测量精度的主要因素.采用滤波技术消除检测元件安装偏心和形状误差的影响,达到精确获取主轴回转误差信息的目的.     

无铅互连凸点电迁移失效的四探针测量

针对无铅互连电迁移失效这一高密度封装时面临的重要课题进行了研究.采用四探针法分别监测了电流密度为1.5×104 A/cm2和2.2×104 A/cm2时Sn3.5Ag0.5Cu互连凸点上电压的变化,发现电流密度为2.2×104 A/cm2时凸点的平均电阻变化率超过电迁移失效的临界值10 %,分析了其微观结构的扫描电镜照片,所提出的发生电迁移失效的电流密度值为凸点设计提供十分有用的数据.对无铅互连凸点的电迁移失效过程和四探针测量法的测量误差进行了分析,提出了采用四凸点结构提高测量精度的改进措施.