共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
AlN和AlSiN薄膜的制备工艺及其光学特性 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了反应溅射AlN和AlSiN薄膜的制备工艺,讨论了它们的光学性能与溅射工艺参数的关系,实验结果表明,在优化制备工艺基础上能制备出具有优良光学性能(高折射率、低消光系数、高透射率)的AlN及AlSiN薄膜。 相似文献
2.
TiAlN保护膜的制备及结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用反应磁控溅射方法制备了TiAlN薄膜,结构分析表明,当Ti的含量小于0.25时,TiAlN薄膜是Al基氮化物的闪锌矿结构,但晶格常数随Ti原子含量的增加而增大,X射线光电子能谱分析表明,TiAlN薄膜有与AlN和TiN不同的电子结构特征。 相似文献
3.
nmAl粒子多层复合膜的电磁波散射特性 总被引:4,自引:1,他引:3
用射频溅射工艺制备了nmAl粒子的多层复合膜,通过控制Al粒子和AlN膜的生长时间,成功地控制了Al粒子的粒径和在复合膜中的纵向分布。用TEM,暗场法并结合TV图像分析测得了Al粒子的粒径,并导出了粒径和生长时间的经验公式。 相似文献
4.
对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性 总被引:1,自引:0,他引:1
用对向靶反应溅射制备的AlN薄膜,高气压为取向,低气压下为取向,精确测量XRD衍射峰位可看出AlN薄膜有较大应力。对硬度的测量发现AlN薄膜硬度较大,取向对硬度没有影响。 相似文献
5.
用反应磁控溅射方法制备了TiAlN薄膜,结构分析表明,当Ti的含量小于0.25时,TiAlN薄膜是Al基氮化物的闪锌矿结构,但晶格常数随Ti原子含量的增加而增大.X射线光电子能谱分析表明,TiAlN薄膜有与AlN和TiN不同的电子结构特征. 相似文献
6.
7.
采用水热微乳液法制备了纳米级尺寸的四针氧化锌晶须,利用热重及X射线衍射对产物结构进行了分析,着重探讨了生长时间对晶须尺寸和形貌的影响.在较短的生长时间下,产物主体结构为四针状氧化锌晶须,随着生长时间的增加,花状晶须含量逐渐增多,并且晶须出现了二次生长,针体上富集了大量微细晶须. 相似文献
8.
用面间力学数模型计算了(0001)方向纤锌矿结构GaN与AlN的纵向振动特性,并利用该模型对(0001)方向生长的六角结构的GaN/AlN超晶格的纵向声子态进行了研究,着重讨论了超晶格子声子的限制效应。 相似文献
9.
TiN/AlN纳米混合膜的微结构及力学性能 总被引:6,自引:3,他引:3
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了TiN/AlN纳米混合膜.采用XRD衍射、TEM和显微硬度等测试方法对TiN/AlN纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究.结果表明,TiN/AlN纳米混合膜的晶粒大小为10~20nm;薄膜总体表现出硬度增强效果,在TiN∶AlN(体积比)≈1∶1时,薄膜硬度获得极大值HK32.25GPa. 相似文献
10.
以Zn2SO4·7H2O为原料,Na OH为沉淀剂,采用液相沉淀及烧结方法制备了Zn2SO4(OH)2·2H2O与Zn O晶须,样品采用XRD、SEM及TG-DTA等对样品物相、形貌及热行为进行了表征,结果表明晶须品质优良:其分散性好,粒度分布均匀、表面光滑。又从"生长基元"角度出发,讨论了Zn2SO4(OH)2·2H2O晶须的形成机制,其生长过程是生长基元八面体[Zn-(OH)6]4-与HSO-4往某一晶面稳定叠合生长的结果,Zn2SO4(OH)2·2H2O晶须经热分解后,其形貌不变,最终变为Zn O晶须。 相似文献
11.
12.
章勇 《华侨大学学报(自然科学版)》1994,15(1):25-28
铝的添加使FeN薄膜变成非晶,并在FeAlN薄膜中形成某些柱状物,材料粒度变小,FeAlN薄膜矫顽力也变小.多层膜的效果,阻断了微粒沿垂直于膜面方向的生长,从而进一步降低其矫顽力.同时铝的添加,也增加了样品饱和磁化强度的热稳定性. 相似文献
14.
用平均键能方法,研究了AlN与GaN自由应变生长、以AlN为衬底和以GaN为衬底等三种不同应变状态下AlN/GaN应变层异质结的价带偏移.着重尝试了能带中含浅d态的情况下,用平均键能方法计算异质结的△Ev值.由于目前还没有可供比较的实验值或理论计算结果,为检验平均键能方法计算的可靠性,又采用能同时计入各种影响△Ev因素的较严格的超原胞(AlN)n(GaN)n(001),(n=1.3,5)界面自洽计算方法,验证超晶格中平均键能Em的“对齐”程度和价带偏移△Ev的计算结果. 相似文献
15.
涂覆草酸钇薄膜改善氮化铝粉耐水性及其机理 总被引:1,自引:0,他引:1
单慧波 《华东理工大学学报(自然科学版)》1998,24(4):458-461
研究了表面涂覆草酸钇薄膜对氮化铝(AlN)粉耐水性的影响。结果显示:涂膜后AlN粉在100℃沸水中回流45min不与水反应,温度降至78℃时可耐水3h以上;耐水时间随涂覆量增加而增加,随温度升高而下降。水分子通过薄膜的扩散过程是影响AlN耐水性的决定因素。用X光电子能谱(XPS)和红外光谱测定了表面草酸钇与AlN界面形成的化学键。 相似文献
16.
采用热物理法制备不同量Al掺杂的ZnO纳米材料,利用XRD分析掺杂前后试样的物相结构,并通过TEM鉴定粉体中的四针状纳米氧化锌(T-ZnO)结构.结果表明,Al掺杂纳米T-ZnO晶须的结晶过程是气液固(VLS)方式,晶须生长具有择优取向.透射电镜高分辨图像揭示凝固过程中晶须沿[0001]轴向生长,随着时间的延长,Zn原子首先形成核心部分并向外在晶须表面呈台阶状生长,从Al液中带走部分Al原子,进而促成纳米晶须的不断伸长且直径变大. 相似文献
17.
陈仕奇 《中南大学学报(自然科学版)》1996,(5)
研究了压力铸造法制备的SiC晶须增强Al-Li合金的时效硬化行为与拉伸性能.结果表明,SiC晶须的引入不仅可以加速δ′相的长大,使时效峰提前,而且SiC晶须的加入还明显提高Al-Li合金的强度,而拉伸延伸率降低较少;SiCw/Al-Li复合材料的拉伸断口呈穿晶韧窝状,不存在通常Al-Li合金中因时效引起的断口形貌由穿晶型向沿晶型过渡的现象 相似文献
18.
《江西科技师范学院学报》2017,(6)
本文采用自蔓延高温合成技术(SHS)成功合成了氮化铝晶须。研究了氮气压力、Al:Al N质量比和稀土氧化镓含量对最后产物氮化铝物相、晶须形貌的影响,结果表明在氮气压力为5MPa,Al:Al N质量比为2:1,氧化镓的掺杂量为4wt%的条件下,获得氮化铝晶须较多。氮化铝晶须在没有添加稀土物质时,按照VS生长方式形成具有本征结构的氮化铝晶须;添加氧化镓之后,晶须顶端容易形成液相,为VLS生长方式创造条件。 相似文献
19.
使用氦气放电增强准分子激光溅射反应沉积了AlN薄膜.讨论了脉冲能量密度、氮气放电、基底温度等因素对膜的性能的影响.实验结果发现,当DE=1.0Jcm-2,PN2=100×133.33Pa,Tsub=200℃,V=650V,f=5Hz,dS-T=4cm时,高质量的AlN薄膜被成功沉积于Si(100)基片上.X射线衍射和光谱分析表明,所制备的薄膜是具有高取向性的AlN(100)多晶膜,禁带宽度约为6.2eV. 相似文献
20.
气体放电增强准分子激光溅射反应沉积AlN膜 总被引:2,自引:0,他引:2
使用氦气放电增强准分子激光溅射反应沉积AlN薄膜,讨论了脉冲能度,氮气放电基底温度等因素对膜的性能的影响,实验结果发现,当DE=1.0J.cm^-2,Pn2=100×133.33Pa,Taub=200℃,V=650V,f=5Hz,ds-T=4cm时,高质量的AlN薄膜被成功沉积于Si(100)基片上,X射线衍射和光谱分析表明,所制备的薄膜具有高取向性的AlN(100)多晶膜,禁带宽度约为6.2eV 相似文献