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相似文献
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1.
用厚膜工艺制造压力传感器.研究了厚膜电阻浆料的电阻率与压阻系数的关系.承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韧Al2O3陶瓷,大大地提高了压力传感器的性能.对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法  相似文献   

2.
厚膜TiO2氧敏传感器研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
通过醇盐水解制备TiO2微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器;用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率;用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰,提高其催化活性,采用温度自补偿方法提高了器件的高温性能  相似文献   

3.
结合扩散硅压阻式压力传感器的研制.根据硅的压阻效应原理,利用方形硅膜的应力分 布公式,论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施.  相似文献   

4.
通过理论分析提出了一种在Si(001)/α-Al2O3(1102)SOS膜上,标定出Si」110「方向的方法,并在实验中得到验证。该法便于精确控制和检测制作薄膜的外延方向,为制作性能优异的SOS膜压力传感器提供了可靠的质量保证。  相似文献   

5.
溶胶-凝胶法制备二氧化硅光学膜   总被引:1,自引:1,他引:0  
探讨了在线温度和提拉速度对溶胶-凝胶法制备的SiO2光学膜光学性质的影响,考察了热处理温度对SiO2光学膜表面散射率的影响。结果表明:用溶胶-凝胶法制成的SiO2光学膜随着在线温度的升高,膜的厚度呈线性减少,减少的速度为0.09nm/℃;室温下SiO2光学膜膜厚提拉速度呈指数增长,指数等于0.54;SiO2光学膜表面散射率随热处理温度的升高而增大,且在400℃左右有一个增大的突变点。  相似文献   

6.
TiO2薄膜的自组装制备及表征   总被引:1,自引:0,他引:1  
本实验通过水解酞酸四丁酯的方法得到了TiO2超微粒胶体溶液,并在室温下将其淀积在表面磺酸基化的有机自组装单层上,制成透明的TiO2薄膜,俄歇电子能谱,X-射线光电子能谱测定结果表明:TiO2薄膜是均匀的,膜厚约为30nm。  相似文献   

7.
用液相结晶和高温分解法制备偏离化学计量比的二氧化锡材料,对此二氧化锡进行掺杂,制成由一定原料配方组成的厚膜浆料,以此浆料用丝网印刷技术制备SnO2厚膜气敏元件。然后,对系列元件进行气敏特性测试,所制备的SnO2气敏元件表现出对乙醇气体的选择敏感性。  相似文献   

8.
用Nafion膜固定的N-甲基吩嗪为辣根过氧化物酶和玻碳电极之间的电子传递介体,成功地研制了成了电流型过氧化氢生物传感器,探讨了pH值,温度,工作电位和抗坏血酸等干扰物质对此生物传感器电催化还原H2O2的影响。此生物传感器选择性好,灵敏度高,对H2O2线性响应范围为0.6μmol/L-2.5mmol/L,响应时间少于30s。  相似文献   

9.
用Nafion膜固定的N-甲基吩嗪为介体的过氧化氢生物传感器   总被引:2,自引:0,他引:2  
用Nafion膜固定的N-甲基吩嗪为辣根过氧化物酶和玻碳电极之间的电子传递介体,成功地研制成了电流型过氧化氢生物传感器.探讨了pH值、温度、工作电位和抗坏血酸等干扰物质对此生物传感器电催化还原H2O2的影响.此生物传感器选择性好、灵敏度高,对H2O2线性响应范围为0.6μmol/L~2.5mmol/L,响应时间少于30s  相似文献   

10.
WO3基H2S气体传感器的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了电子束蒸发WO3膜和以该膜为敏感材料的H2S气体传感器工艺,分析了膜的灵敏度和膜的稳定性以及掺金和分步热处理对器件性能的影响。  相似文献   

11.
介绍了电子束蒸发WO3膜和以该膜为敏感材料的H2S气体传感器工艺,分析了膜的灵敏度和膜的稳定性以及掺金和分步热处理对器件性能的影响  相似文献   

12.
用V2O5对体控制型PbCrO4湿敏材料进行改性。实验表明,当PbCrO4与V2O5的摩尔比为恰当比例时,在温度为40 ̄80℃相对湿度为30% ̄90%RH的范围内,材料的湿阻特性几乎与温度无关,据此有可能制备不加温度补偿即可直接使用的湿度传感器。  相似文献   

13.
为提高C型压力传感器性能,利用有限元方法,对C型结构传感器加工过程中出现的边缘R角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析。其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础。  相似文献   

14.
用熔融浸涂法制备了负载型TiO2-聚丙烯复合膜,采用SEM、压汞、透气性实验手段对其孔径分布、形貌、扩散性能进行了表征。实验结果表明,复合膜表层聚丙烯膜厚为30μm、孔径分布在4~150nm之间时,对CO,H2,N2有较好的渗透性能。  相似文献   

15.
利用SOL-GEL技术成功地制备了ZrO_2-CaO膜管,这种膜管由于能控制氧的扩散速度,并能活化它,因而容易和甲烷反应,表现了高的选择性生成甲醇、甲醛。实验发现最佳的制膜条件为:焙烧温度是700~900℃,膜厚45~60gZr/cm ̄2,CaO的最佳值为X=0.08~0.15。实验也考察了最佳的反应条件,常压下反应温度为350℃,GHSV=8000~10000h ̄(-1)。在这样的条件下获得了95%的甲醇、甲醛选择性,大约1%转化率。  相似文献   

16.
新亚甲基蓝为电子传递介体的过氧化氢生物传感器   总被引:5,自引:0,他引:5  
制成了以新亚甲基蓝为介质的电流型过氧化氢生物传感器,首次发现新亚甲基蓝能通过离子交换牢固地固定在Nafion膜中,并能有效地在辣根过氧化物酶和玻碳电极之间传递电子。探讨了pH值,温度,工作电位和抗坏血酸等对此生物传感器电催化还原H2O2的影响。  相似文献   

17.
从多层膜系在某一波长的反射率的计算原理和计算方法入手,采用等效分界面和权重反射率Rw的概念,给出了多层膜系优化的普适方法.具体计算了钝化太阳电池(含SiO2钝化层)的单层减反射膜和双层减反射膜的优化设计,给出了常用减反射材料的最佳膜厚值,并得出结论:双层膜的减反射效果优于单层膜,平面双层减反射膜的权重反射率Rw小于6%,加微槽结构后降至2%以下(SiO2钝化层厚度为25nm).  相似文献   

18.
电镀锌钢板CrO3—H3PO4—SiO2体系钝化膜   总被引:6,自引:0,他引:6  
研究了电镀锌钢板CrO3-H3PO4-SiO2体系钝化膜的成分与结构,并对钝化膜的耐蚀性及其原因进行了探讨,结果表明,该钝化膜是1种由CrO3,Cr(OH)3,CrOOH,ZnCrO4,ZnSiO3,Zn3(PO4)2,CrPO4和SiO2等化合物组成的,具有凝胶网络状结构的厚型复合转化膜,这种膜具有良好的屏蔽效应和缓蚀作用,能明显了改善镀锌钢板抗白锈的能力,它的耐蚀性是CrO3-SiO2体系钝化  相似文献   

19.
声表面波SO2气体传感器敏感膜的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
为了深入研究声表面波(SAW)SO2气敏传感器频移与浓度之间的关系,对聚苯胺敏感膜的SAW SO2传感器进行了试验与理论研究,并用双能谷模型推导了有关公式。解释了频移与浓度关系曲线中的拐点问题,为聚苯胺敏感膜的SAW传感器应用提供了理论和实践依据。将有机物聚苯胺(PAn)和硫化镉(CdS)两者的气敏特性进行了对比,得出了SO2气敏膜具有双峰吸收的特点,并从理论上进行了论证,这对研究其他气敏膜也有指  相似文献   

20.
介绍了稀土元素在耐热合金中的应用和发展,指出稀土元素明显改善Cr2O3膜的结构,细化Cr2O3膜的晶粒,改变Cr2O3膜的生长取向,增强Cr2O3膜的粘附性及其抗剥落、破坏的能力。对稀土在本合金中的作用机理进行了概括和综述,并提出了自己的看法。  相似文献   

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