新型纳米压印光刻技术的研究和应用

纳米压印（nanoimprint）这个词汇从1995年发明到现在，目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米，已经越来越走进我们的生活，随着纳米技术的大量应用，纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电视宣传所赐，越来越多人知道我们使用的电脑里Intel双核CPU采用的芯片是“45纳米技术”．这个技术就是目前大规模集成电路生产技术。     

深度同步辐射光刻研究

80年代中期由Ehrfeld教授及其同事创造的LIGA(in German:Lithographfie Galvano-formung,Abformtecnnik)技术被认为最有前途的超微细加工方法.LIGA技术即是深度同步辐射X射线光刻、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的综合性技术.最基本和最核心的工艺是深度同步辐射光刻,只有深度同步辐射光刻刻蚀出比较理想的光刻胶图形,才能保证制作出高质量的其它材料(如金属)结构图形.LIGA技术在Wisconsin大学得到进一步发展,使之能够实现各零件的组合和装配.     

精细线路

目前,半导体工业正在出现向量子物理转化的倾向。它提示,改造传统产业并不需要花费巨大,需要的只是创新思想和创新能力。 芯片制造商们都希望能够“印刷”出最精细的导线,因为要使芯片的性能更强大就必须把元件和导线做得更小。人们目前能够制造出的最小导线,其宽度只有一毫米的二亿分之一。在半导体工业界,人们希望把导线做得比这还小,然而由于受到物理学基本原理的限制,这项工作遇到了巨大困难。 前不久,来自美国和英国的研究人员提出,可以用量子力学的特殊规律来突破这一局限。量子力学的作用范围可以达到“经典”物理学所不能…     

投影寻踪技术及其应用进展

投影寻踪(projection pursuit,简称PP)是国际统计界于70年代中期发展起来的一种新的、有价值的高新技术,是统计学、应用数学和计算机技术的交叉学科,属当今前沿领域。它是用来分析和处理高维观测数据,尤其是非正态非线性高维数据的一种新兴统计方法。它通过把高维数据投影到低维子空间上,寻找出能反映原高维数据的结构或特征的投影,达到研究分析高维数据的目的。它具有稳健性、抗干扰性和准确度高等优点,因而在许多领域得到广泛应用。     

表面等离子体超衍射光学光刻

由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍.表面等离子体(surface plasmon,SP)是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能.近年来,通过研究和利用SP超衍射光学特性,科研人员提出和建立了基于SP的纳米干涉光刻、成像光刻、直写光刻等方法,在紫外光源和单次曝光条件下,获得了突破衍射极限的光学光刻分辨力.目前,基于SP成像结构,实验中获得了22 nm(~1/17波长)最高SP成像光刻线宽分辨力水平.SP将为发展高分辨、低成本、高效、大面积纳米光学光刻技术提供重要方法和技术途径.本文系统综述了SP光学光刻技术研究发展情况,总结和分析了技术发展现状、存在问题,并对其发展趋势和前景进行了展望.     

利用电子束光刻技术实现200 nm栅长GaAs基MHEMT器件

电子束光刻(electron beam lithography)技术是实现微细栅长的光刻技术之一, 利用电子束光刻技术制备出200 nm栅长GaAs基MHEMT器件. 同时为了减少栅寄生电容和寄生电阻, 采用3层胶工艺, 实现了T型栅. GaAs基MHEMT器件获得了优越的直流、高频和功率性能, 电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到105和70 GHz, 为进一步研究高性能GaAs基MHEMT器件奠定了基础.     

实投影空间上向量丛的截面

所谓广义向量场问题就是要求向量丛mξ_n上的线性无关截面的最大个数span(mξ_n)=m-n+j(m,n),这里ξ_n为n维实投影空间P_n上的Hopf线丛。关于这一问题的综述参见文献[1]。本文将利用Koschorke的奇点方法证明下面的定理:     

投影Stiefel流形上的典则实线丛

一、广义向量场问题与奇-线性非退化配对 设ξ_n为n-维实投影空间P~n上的Hopf线丛。所谓广义向量场问题是:kξ_n所允许的最大线性无关截面数(记为span kξ_n)是多少。当k=n+1时,kξ_n=τP~n⊕1,此时变为球面     

关于梯度投影类算法统一构造的探讨

对于问题(P),各国学者提出了很多有效的梯度投影类算法。本文着重说明:对问题(P),很多梯度投影类算法在任意点x∈E~n处的迭代方向实际上都可以通过对一个线性系统的求解来得到。由本文所给的一个线性系统,可以导出很多已有的梯度投影类方法和一些新的梯度投影类算法。     

地图学中圆锥投影的变形分析及应用

文章阐述各种类型的圆锥投影的投影规律及一般公式,通过比较得到各种圆锥投影的变形分析以及适用于它们的地图类型.     

任意初始点下的广义梯度投影方法

本文考虑问题(NP): 其中只={x∈E~n丨h_i(x)≤0,j=1,2,…,m}。 记I={1,2,…,m},g(x)=-▽f(x),φ_θ(x)=max{0,φ(x)},A(x)=(▽h_i(x),j∈I);H(x)为-n×n维对角矩阵,其主对角元为     

地图学中圆锥投影的变形分析及应用

文章阐述各种类型的圆锥投影的投影规律及一般公式，通过比较得到各种圆锥投影的变形分析以及适用于它们的地图类型。     

约束优化问题的一个广义梯度投影法

其中,本文提出了一个非常有效的投影类算法。此算法具有如下几个重要优点:(1)由于每步迭代无需跟踪主动约束集,所以算法稳定;(2)每步迭代时无需转轴运算。故大大减少了计算量;(3)算法所需假设条件较弱;(4)具有较强的收敛性质;(5)约束为线性时具有简单的递推计算公式。     

RTK-GPS与全站仪在公路工程测量中长度投影的改正方法

文章结合实际项目阐述了公路工程中RTK-GPS与全站仪在测量长度投影变形值的改正方法.     

初始点任意且全局收敛的梯度投影法

当以前用梯度投影法解问题(NP)时,初始点必须是可行点。本文将梯度投影与罚函数相结合,给出了求解问题(NP)的一个初始点可任意、迭代方向结构简单且具有全局收敛性的算法。算法中的罚参数只需调整有限次。     

投影寻踪的理论及应用进展

投影寻踪是用来处理和分析高维观测数据,尤其是非正态、非线性高维数据的一种新兴统计方法。它通过同维数据投影到低维子空间上,寻找出能反映原高维数据的结构或特征的投影,达到研究分析主维数据的目的。本文简略介绍投影寻踪的理论及其应用进展。     

准能谱投影算子与Berry相因子的动力学几何

目前,Berry相因子及其诱导规范结构已出现在许多物理问题的理论分析中,并得到实验证实。Simon早巳认识到,除掉动力学相因子的影响,量子体系的绝热演化可描述为参数流形上的平行移动,Berry相因子是相应联络的和乐群(holonomy group)元。最近Simon的分析已被推广到Aharonov-Anandan相因子的讨论。     

有限元L2投影的两类超收敛

用单元分析法研究有限元的超收敛性,20年来一直是基于单元角节点有超收敛这一特性,并使用了M型单元展开。而计算中,我们发现,还存在着另一种超收敛模式,即单元角节点不具有超收敛,M型展开失效了。但是,被遗忘的L型正交展开却非常有用,这就开拓