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郭大民 《现代科技译丛(哈尔滨)》1996,(3):60-66
介绍了一种用于计算高掺杂我晶硅薄膜的纵向、横向和剪切应变系数的简单的理论模型。这些应变系数的计算是依据单晶硅的弹性电阻系数和刚度系数进行的。以解析形式给出(100)、(11)、和(111)薄膜的纵向和横向应变系数在-190℃至+300℃温度范围内以及7×10^19至×10^20cm^-3浓度范围对硼掺杂多晶硅薄膜进行了研究,新提出的理论可供多晶硅传感器的设计者参考。 相似文献
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在Fuchs-Sondheimer(F-S)薄膜理论的基础上,通过求解弛豫近似下的Bohzmann方程,求出了P-型金刚石膜的电导率。在价带分裂模型下得到了压阻的计算公式,计算了微应力作用下金刚石膜的压阻,压阻和应力的变化(△ε)有比较好的线性关系,张应力情况下压阻大于零,压应力情况下压阻小于零。从理论上给出了压阻和温度的关系,计算了压阻随温度的变化,压阻随着温度的上升而单调减小。 相似文献
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金刚石烧结体及其薄膜复合体的合成工艺 总被引:1,自引:1,他引:0
孙振武 《郑州大学学报(自然科学版)》1998,30(1):39-42
本文介绍了目前机械加工工业中常用的金刚石烧结体和金刚石薄膜材料存在的缺陷,研究金刚石烧结体与金刚石薄膜复合体新型金刚石复合材料的意义和原理; 相似文献
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采用简单表面反应模式,对化学气相沉积金刚石薄膜的表面动力学过程进行了研究,得到了金刚石薄膜的沉积速率公式,揭示了影响薄膜生长的因素并由此讨论了金刚石薄膜生长的机制和规律。 相似文献
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对拉曼波谱测量金刚石薄膜内应力时存在的差异现象进行了分析。研究表明应力方向和晶体取向的未知,导致多晶金刚石薄膜中应力值与拉曼波谱位移量之间的比例系数难以准确选取,是造成计算出的内应力结果不一致的原因之一。 相似文献
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本文用电弧放电等离子体CVD快速生长金刚石薄膜。用拉曼散射,X射线衍射、电子显微镜等方法进行了结构表征。文中所论述的恒定的基板温度对沉积金刚石薄膜是非常重要的。 相似文献
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多晶硅薄膜太阳电池效率影响因素的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了影响单晶硅衬底的多晶硅薄膜太阳电池转换效率的因素,得到该种电池的快速热化学汽相沉积(RTCVD)的最传教条件,同时改进了制备薄膜太阳电池的若干工艺问题,得到了转换效率为14.08%的太阳电池,其填充因子为0.808。 相似文献
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建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统,并对该系统的工作性能进行了研究. 相似文献
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研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中, 放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律. 相似文献
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对大量实验测量出的甲烷浓度和衬底温度分别在单因素变化时,金刚石薄膜内应力的变化规律进行了归纳。在此基础上,利用材料科学与相图的思想,对任意给定的甲烷浓度和衬底温度条件下制备的金刚石膜中内应力处于张应力还是压应力的情况进行了分析,绘制出金刚石膜的“内应力状态图”。结果表明:利用“内应力状态图”可以预测内应力的张/压性质,预测分析结果与实验结果一致。 相似文献
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汽相生长金刚石微粒及金刚石薄膜分析 总被引:1,自引:0,他引:1
用化学汽相沉积法已长出金刚石微粒及金刚石薄膜,并对它进行了扫描电镜观查,X-射线衍射分析,喇曼光谱分析,硬度测试,证明它确是金刚石并具有金刚石的性能. 相似文献
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本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。 相似文献
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火焰法沉积金刚石薄膜的组织结构 总被引:2,自引:0,他引:2
用透射电镜(TEM)对大气中火焰法沉积(CFD)金刚石薄膜的组织结构进行了分析研究。结果表明,所沉积的金刚石晶体中(111)面上存在着大量层错及显微孪晶,在(111)面上晶粒边界处的位错密度较低,此外,在金刚石薄膜中还观察到存在于金刚石颗粒间的非金刚石型碳(C),即无定形碳及微晶石墨。 相似文献