PECVD沉积氮化硅薄膜的透过率研究

研究了用PECVD薄膜沉积设备制作氮化硅薄膜的透过率。通过改变沉积工艺参数,研究了沉积温度、射频功率、SiH4流量和腔体压强对薄膜透过率曲线的影响,并分析影响原因。     

衬底温度对Cr掺杂ZnO薄膜结构和透过率的影响

采用磁控溅射法在载玻片上制备了具有c轴高择优取向的Cr掺杂ZnO薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和紫外-可见分光光度计（UV—Vis）研究了衬底温度对Cr掺杂ZnO薄膜结构及光学透射特性的影响．结果表明,在衬底温度为400℃时制备的Zn0.98Cr0.02薄膜具有最好的结晶质量;衬底温度对薄膜的吸收边基本没有影响,但衬底温度为400℃时薄膜具有较高的透过率,其原因是在该奈件下薄膜具有较好的结晶质量．     

SnO_2 薄膜光谱透过率及气敏特性研究

研究了半导体氧化物ＳｎＯ２膜及其掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性，导出了光波在固体介质中传播时的光折射率、消光系数、吸收系数的表示式，以及在“空气—薄膜—玻璃”三元系统中光透过率的近似表达式；解释了气敏使半导体氧化物薄膜系统光透过率变化的原因。所有这些结果与解释，与我们的实验结果相一致，也与一些文献报导的实验结果相符合［１，２］。     

衬底温度对ZnO：Al薄膜结构和光透过性能的影响

利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度（450～530℃）在石英衬底上制备出具备较高光学质量的ZnO：Al（AZO）薄膜.通过X射线衍射谱（XRD）研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜（SEM）研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见（UV）分光光度计对薄膜的光透过特性进行了测试分析.结果表明：所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对AZO薄膜的结构和光透过性能有很大影响.在衬底温度为470℃时得到的AZO薄膜具有（002）择优取向,结晶质量最好、光透过率最高,在可见光区平均透过率达到85%以上.     

基于复合封装薄膜的水汽透过率测试系统研究

基于活泼金属(钙、镁)电学法设计研发了用于老化测试环境下的水汽透过率测试仪器,测试精度达到10-6 g·m~(-2)·d~(-1).利用本测试仪器测试了不同叠层次数的Al_2O_3/ZrO_2复合薄膜的水汽透过率,结果表明,多次叠层后的Al_2O_3/ZrO_2复合薄膜的水汽阻隔性能得到了较好提升.     

SnO2薄膜光透过率气体敏感机理的研究

以掺杂SnO2薄膜为例，推导了薄膜上透射光的消光系数与薄膜内极化电子数和极化电子迁移率的关系式。得出当环境气氛中待测气体的浓度变化时，将导致穿过薄膜的光的透射率与之发生响应，从理论上说明研制新式的气敏－光信号类型的传感器是可行的。     

织物组织结构参数对紫外透过率的影响

分析了织物组织结构对紫外线的透通理论.测试了不同组织、结构参数织物的紫外线透过率,验证了理论分析的合理性.结果表明,相同原料与覆盖系数的不同组织,其紫外线透过率主要随着组织的平均浮点数与交织次数的增加而增加,同时还受到组织交织规律的影响;织物表面的直通孔隙的大小是影响紫外线透过率的主要因素,而直通孔隙的大小不仅与覆盖系数有关,还与织物组织的平均浮点数、交织次数、交织变化规律有关.     

单色仪光谱透过率曲线测量方法的改进

本文介绍了测量单色仪光谱透过率T(λ)～λ曲线的一种新方法.作为实例,对国产全息光栅单色仪进行了测量,得到的结果可以说明方法的准确和高效.     

铸件形状因素对热节迁移的影响

以数值模拟技术为手段，系统地研究了Ｌ，Ｔ和十字形截面不同壁厚比对凝固进程的影响。着重探讨了对应不同壁厚比热节的迁移。确定了小壁厚臂起不同作用时的临界壁厚比。针对Ｌ，Ｔ和十字形截面，分别以ｆＬ＝０．３，ｆＴ＝０．３，ｆ＋＝０．３４为临界值。当小于上述各值时，小壁厚臂起冷铁作用，大于上述各值时，则起形成热节作用。同时，对π形截面两竖臂间的相互热作用也作了探讨。     

缓冲层对AZO薄膜的性能影响

采用射频磁控溅射法分别在ZnO缓冲层和Al2O3缓冲层上制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外-可见分光光度计、霍尔测试仪等仪器对薄膜的光电特性进行表征.XRD分析结果表明,加入缓冲层的薄膜具有更好的c轴择优取向,薄膜的表面平整,结晶质量有所改善,薄膜在可见光范围内的平均透过率超过80%.引入ZnO缓冲层制备的AZO薄膜的最低电阻率为5.8×10-4 Ω·cm,导电性能得到明显提高.     

金属亚波长小孔的光传输特性仿真模型

用三维全矢量有限元时域差分方法计算了亚波长单孔以及二维周期性孔阵列的超透射特性,分析了平面波光源通过金属圆孔点阵后,透射曲线随着点阵周期、孔径、金属薄膜厚度、介质材料和金属材料变化的规律,以及局域表面等离子体和表面等离子体共振对超透射现象的影响.证实了表面等离子共振对透射曲线中透射谷的位置起到决定性作用,而透射峰的位置除了受到介质、金属材料和点阵周期的影响之外,还会随着金属薄膜的厚度的减薄和亚波长圆孔孔径的增大出现红移.用聚焦粒子束刻蚀制备了金/氧化硅演示结构,实测与仿真结果具有较好的一致性.     

穿孔式消声器传递损失计算

针对内燃机排气消声器中采用的穿孔管声学元件,建立数学模型及边界条件,用数值计算方法实现了穿孔管声学元件传递矩阵的计算。并对含有穿孔管声学元件的消声器进行传递损失计算和消声性能分析。本文提出的计算方法对指导消声器设计具有一定的实用价值。     

不同制备方法对薄膜性能的影响

采用离子束反应溅射、等离子体辅助、射频离子源辅助、Kaufman离子源辅助比较不同制备方法对薄膜性能的影响. 镀制了Ta2O5、SiO2两种材料的单层膜及由它们组成的多层膜. 结果表明:离子束反应溅射能够制备出质量最好的激光膜,抗激光损伤阈值达到17.39J·cm-2,等离子体辅助和射频离子源辅助制备的膜层结构致密、散射比和吸收比小,Kaufman离子辅助制备的膜层各项性能指标都相对较低.     

抗性消声器中穿孔板结构的声传递特性

本文利用声波在管中粘滞阻尼方面的理论,研究了存在气流时穿孔板结构的声传递特性。研究表明:穿孔板的声阻与孔板厚度、孔径、穿孔数目、声波频率和气流速度等因素有关。     

厄米-双曲余弦-高斯光束在有光阑光学系统中的传输

从Collins公式出发，对厄米-双衄余弦-高斯(HChG)光束通过有硬边光阑限制的近轴ABCD光学系统的传输进行了研究．采用将矩形函数展开为有限个复高斯函数之和的方法，推导出了光场分布的解析表达式．给出了数值计算结果，并与直接对Collins公式作数值积分的结果进行了比较，充分显示此解析方法不仅便于物理分析，而且可节约大量机时．     

熔合势垒形状的唯像研究

根据唯像理论构造了一个势垒顶部出现凹槽的熔合势垒模型,来解决利用现有势垒模型计算出的熔合截面数据与实验数据不相符的问题.使用多级势近似方法计算了不同反应体系的熔合反应截面,发现当势垒厚度和凹槽的位置合适时,计算出的熔合截面数据和实验数据高度符合.该研究为进一步澄清熔合反应中熔合势垒的形状、重离子垒下熔合机制等相关研究提供参考.     

带开孔金属腔体内部耦合场强分布的实验研究

对入射频率100～1 000 MHz内通过矩形开孔耦合入金属腔体内部的场强分布进行了实验研究,分析了矩形开孔尺寸与发生谐振现象时腔体内部场强分布间的关系,为从理论角度定量研究腔体内部耦合场强分布提供了实验依据,对电子设备金属腔体内的PCB板或敏感元器件的放置方式起到一定的指导作用.     

堆肥及菌剂对城市污泥中金属元素有效形态变化的影响

通过全程高温好氧堆肥法,在以污泥和菌渣为原料的堆体中接种不同剂量白腐真菌和RW菌剂.利用BCR顺序提取法对堆肥前后19种金属元素总量及有效形态含量进行测定.结果表明,Be、Cd、Hg、Se、As 5种金属总量堆肥前后均未检出;4个堆体堆肥后,对其中的Mo、Cr、Ni、Bi、Co、Cu、V、Ti、Ba 9种高残渣型金属残渣态质量分数影响不明显;堆肥能够促进Mg、Al、Zn、Pb、Mn 5种中、低残渣型金属有效形态的稳定化;接种白腐真菌能够进一步促进大部分稳定性低的金属形态含量下降且效果优于RW菌剂,有利于城市污泥堆肥后的土地利用,但需注意Al对生态环境的潜在影响.     

配点法解开孔杂形薄板弯曲问题的研究

提出了用最小二乘边界配点法解决受均布荷载,任意边界条件下开孔杂开薄板弯曲问题的方法。     

磁性液体的场致透光特性

研究了磁性液体在平行于激光照射方向具有不同梯度的外磁场作用下,其光透射率随时间的变化情况,并从理论上定性分析导致出现这种现象的内在因素,以及磁性微粒在外加梯度磁场的作用下在磁性液体内部的微观运动情况.