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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
在激光步进扫描投影成像设备中,高精密工作台则是系统中的一个重要组成部分。精密工作台系统包括宏动工作台和精动系统,宏动工作台包括精密机械及其传动系统,直线电机和步进伺服电机驱动系统及计算机控制系统;精动系统包括压电陶瓷驱动和执行放大以及计算机控制系统。由激光测长控制系统提供宏、精动系统的超精密位置检测和闭环反馈。  相似文献   

2.
针对荫罩式等离子体显示器屏板定位的特点,研究了基于计算机视觉的图像定位和基于衍射光栅的莫尔定位2种方法.利用这2种定位方法建立了精密定位的复合控制系统,其中图像定位作为粗定位,光栅定位作为精定位.通过粗定位与精定位相结合的两段式复合定位,可保证在较大的信号捕捉范围内,实现显示器屏板的高速高精度定位,有效地解决了定位精度、定位速度与信号捕捉范围三者之间的矛盾.实验结果表明,采用复合式精密定位可在50 mm的工作行程内获得±1 μm的屏板定位精度,这对荫罩式等离子体显示器的产业化具有重要的实用价值.  相似文献   

3.
针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 μm的衍射光栅作为定位标记,通过微机闭环控制,可实现X-Y-θ三自由度的全自动精密平面定位.2组光栅相位相差180°,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.系统在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施,确保了较高的定位精度及工作可靠性.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度,对精密加工工程等领域具有重要的实用价值.  相似文献   

4.
采用超纯铝材料制造的U形阴极被广泛应用于环形激光陀螺系统中,要求内表面达到镜面效果(Ra≤0.04 um),而且不允许存在任何加工缺陷,并具有良好的气密性和使用寿命;整个制造过程涉及到金刚石车削、特殊装夹、冷却润滑、检测以及保存等多项技术;为此分别进行了制备工艺研究和精密加工技术研究.  相似文献   

5.
新型磁悬浮精密定位平台的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台,该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从而很好地解决了由电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题.采用罗仑兹定律,分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响,确定了平台的悬浮平衡位置,建立了平台在平衡位置附近的悬浮数学模型,并进行了动态响应仿真研究.研究结果表明,该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2A、悬浮高度为0.5mm时可以稳定悬浮,因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中。  相似文献   

6.
光栅莫尔条纹信号质量的提高及其采集方法   总被引:2,自引:0,他引:2  
基于对光栅线性传感器(DPROS)和2m光栅检刻机检测系统的研制,该文叙述了一种获取高质量光栅莫尔条纹信号的设计方法,并在数字式量仪的系列开发中得到应用验证.  相似文献   

7.
本文首先给出了GPS伪距单点定位的几种主要误差的改正模型:电离层延迟、对流层延迟、地球自转改正、相对论效应改正等,然后采用双频伪距改正电离层延迟影响并利用IGS精密星历,通过算例来分析双频P码伪距单点定位的精度。  相似文献   

8.
详细介绍了在于单片机的定位伺服系统的硬件结构,讨论了数字调节器的离散化设计原理,描述了主程序流程及其控制功能,实验结果表明了系统设计的合理和功能设计有灵活性。  相似文献   

9.
用CCD摄像头与图像数据采集系统进行尺寸测量是CCD应用最广泛的领域。本文将通过探究He—Ne激光器对待测物件的衍射形成光斑的原理出发.研究CCD对光斑的接受和处理.最终识别需要的衍射条纹,从而测得精密仪器中的缝宽和精密的圆孔直径。  相似文献   

10.
在分析莫尔偏折术测量误差的基础上探讨了一种反射准直式莫尔偏折法,并阐述了其几种应用,该法简单方便,相对定位精度可达0.1%左右。  相似文献   

11.
在定位控制系统中,定位精度一般取决于检测精度、但是在由微机构成的定位控制系统中,在原检测精度的前提下,结合微机软件设计的特点,采用微动逼近技术,进一步提高定位精度是完全可行的。我们在精缩机的微机控制系统的设计中,运用上述方法和技术,在检测光栅脉冲当量为10μm的前提下,使定位精度达到0.5μm以内。  相似文献   

12.
本文介绍了在糖厂澄清过程的pH值控制中,采用模糊控制算法解决了常规控制算法难以解决的控制问题,在利用模糊控制模拟人工控制来解决实际过程中复杂系统的控制问题方面进行了尝试,并且取得了好的结果。  相似文献   

13.
心音信号分析方法及应用性研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
阐述了心音信号的产生机理、组成成分以及人体微弱心音信号检测的关键技术,介绍了心音信号处理技术在心血管疾病无创诊断中的意义,结合应用分析了经典心音信号谱分析方法的局限性,对现代心音分析中的常用的时频分析方法的特点进行了探讨,并展望了心音信号识别技术的应用与发展前景.  相似文献   

14.
结合预测控制的思想,提出了一种位置伺服控制器的设计方法.实验结果表明,该控制器作用于位置伺服系统时,在跟踪性能和控制的鲁棒性方面均能取得令人满意的效果.  相似文献   

15.
本文依据数字阀的结构原理和响应特性,从理论上分析了提高系统控制精度的方法,并提出一种能自动避开响应死区的控制方案,为实现液压控制系统精度的提高提供了理论依据的实施方法。  相似文献   

16.
本文研究了气流沿纵向循环的、加热室和工作室有多个控制点与测温点的大型电阻炉精确控温问题。提出了将加热室和工作室温度同时作为反馈参与控制的温度双闭环控制方案;分析了该方案的动态与稳态性能;研究了其稳定性条件;探讨了采用微型机实现该控制方案构成精确控温系统的诸问题。该温度双闭环控制方案已成功地应用于几台大型气流循环式电阻炉的温度控制,多年运动情况表明,这是一种性能优越的、值得推广的控制方案。  相似文献   

17.
研制了一种新型光纤—波导精密对准仪,并对其进行了精度计算与分析仪器主要根据端面耦合原理设计,有平动与转劝分离式结构及微机闭环控制电路系统,分辨率较高.  相似文献   

18.
本文针对现行质量控制中以“3σ”作为控制图控制界限的方法,以X—R控制图为例,通过对控制图控制界限(K)与两类错误(α和β)发生的概率及其损失费用的分析,提出了最优控制界限的观点,建立了两类错误损失费用的数学模型,给出了主要研究过程和最优控制界限(K)的算式,并对其结果的一般性和优化性做了进一步的讨论和研究。最后,文章通过实例对其优化结果和“3σ”法的结果进行了比较和分析,以说明其优化性。  相似文献   

19.
核磁共振测井在准噶尔盆地应用研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
核磁共振测井可以提供直观、准确的孔隙度、渗透率等参数,它所提供的参数与岩石骨架和矿物无关。在测井解释方面,核磁测井能够提供自由水、泥质束缚水、毛管束缚水和烃的饱和度,而毛管束缚水恰恰是引起泊藏低电阻率的重要原因之一,因此,核磁测井对于寻找低电阻油藏具有重要的意义。在储层产能评价方面,通过对核磁回波串的处理,根据孔隙流体氢核的驰豫、扩散等机理的研究,核磁可以提供孔隙类型、孔径大小、孔径结构、孔隙流体类型等特性,这对于油气评价和产能预测具有指导性的意义。  相似文献   

20.
逐段精密卷绕是一种最为先进的卷绕方式,本文从理论上分析了逐段精密卷绕的卷绕原理,并提出了应用单片机实现逐段精密卷绕的导纱机构控制系统。  相似文献   

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