基于反射光谱的InxGa1-xN半导体薄膜厚度测量

氮化镓薄膜是制造蓝紫光光电子器件的理想半导体材料之一。三元合金InGaN薄膜是优良的全光谱材料而且不同In组分的InGaN薄膜叠层可用于研制高效率薄膜太阳电池。精确测量InGaN薄膜的厚度有利于研制高效率的光伏器件。本文利用分光光度计实验研究了蓝宝石衬底金属有机物化学气相沉积（MOCVD）技术生长的铟镓氮（InGaN）半导体薄膜的反射光谱。基于薄膜干涉原理,计算分析了InxGa1-xN薄膜的厚度;结果发现利用反射光谱中不同波峰、波谷确定的薄膜厚度相对偏差度的平均值为4．42％。结果表明用反射光谱的方法测量InxGa1-xN薄膜的厚度是可行的。     

衬底温度对InxGa1-xN薄膜结构特性的影响

本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀.     

衬底温度对In_xGa_（1-x）N薄膜结构特性的影响

本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度（固定其它工艺参数）来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪（XRD）、X射线荧光光谱仪（XRF）、扫描电子显微镜（SEM）和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀.     

用调制光反射方法测量薄膜的厚度

利用调制光反射技术对一系列不同厚度的二氧化硅薄膜进行了测量,在不同调制频率下检测样品的调制光反射相位信号。同时针对实验条件建立了三维理论模型,通过对实验曲线的最小方差拟合,推算出二氧化硅薄膜的厚度。     

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

文章通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式,利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好;同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法。     

MoS2薄膜厚度与光学性能的相关性研究

采用低功率射频磁控溅射方法分别在玻璃和Si衬底表面沉积不同厚度的MoS₂薄膜,经硫化退火处理后,利用Raman光谱、AFM、UV-Vis光谱和45°镜面反射光谱,对MoS₂薄膜结构及光谱性质进行表征。结果表明,两种衬底上沉积的MoS₂薄膜经退火处理后均在670、615及400～500 nm处出现分别对应A、B、C激子的明显吸收峰和反射峰,表明所制MoS₂薄膜已结晶。A、B、C激子峰均随着薄膜层数增加而红移,表明MoS₂薄膜的能带结构随层数发生改变。另外,A、B激子峰位置不受光谱检测方式的影响,而45°镜面反射光谱中C激子峰则相对于UV-Vis光谱有一定红移,因此,可依据A、B特征激子峰的有无及峰位判定MoS₂薄膜的结晶度及层数,其中45°镜面反射光谱可用于非透明材料衬底上MoS₂薄膜厚度(或层数)的判定。     

一种测量纳米薄膜厚度的新方法

提出了一种量测纳米薄膜厚度的方法,即根据纳米薄膜与其基底间存在的力学性质上的差异,选用合适的刻划工具,通过对薄膜直接进行刻划,产生划透薄膜且不影响基底的划痕,再运用原子力显微镜扫描,得到划痕区域的微观形貌,由此计算出纳米薄膜的厚度.用该方法对TiO2纳米薄膜进行测量,得到薄膜的平均厚度为71.6 nm,与相关文献报道的用其它方法测得的薄膜厚度值较吻合.作为测量纳米薄膜厚度的又一方法,此法具有适用范围广,厚度图像直观,操作和计算均较为简单,精度较高的特点.     

等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法

等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易,操作方便,分析直观,在生产中有着广泛的应用.本文探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材料劈尖,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹,通过条纹相关参数的测量,获得薄膜的厚度.通过比较,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确,因而更实用.     

透射式透明薄膜厚度的在线测量

为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,论文提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集的放置薄膜前后的图像灰度值作为入射/出射能量计算其光密度值,再通过比尔-朗伯定律建立光密度值与厚度之间的关系.为减小测量误差,采用标准密度值标定板对系统进行标定,对计算的理论光密度值进行偏移校正.该系统结构简单,单次测量面积可达100 mm * 75 mm;以四氟薄膜为例进行验证,其测量的平均误差为5.7%,标准偏差为6.66%,为薄膜厚度全场在线检测提供了新的可行性.     

对音乐速度差别感受阈限的研究

本实验用最小变化法测量音乐速度差别感受阈限。采用两段速度分别为=80和=120的标准音乐材料（教堂歌曲《Amazing Grace》和贝多芬《G大调小步舞曲》，Midi格式），用Finale Notepad 2008进行编辑，每一段标准音乐有10段速度渐变的对比刺激（渐变节拍分别为2和4），用Windows Media Player 11播放器播放标准音乐和对比音乐，让被试判断两者的速度有无差异。结果表明，对速度差别的感受阈限随着标准音乐材料的速度增加而提高，差异显著，验证了费希纳-韦伯定律；同时对人们生活．作曲家创作具有指导意义。     

夷平面形成的气候因素研究

夷平面是在构造相对稳定条件下经过长期外营力作用形成的一个接近基准面的平坦地形。因为它们都是在构造相对稳定条件形成的,地质构造作用在夷平面的形成因素中就退居次要位置,且又是以截面的形式横切所有在年龄上先于它的地层和构造,岩性也不起决定性作用;而其发育的外营力作用主要是受气候因素支配,所以夷平面形成的气候因素是首当其冲的。本文对前人提出的夷平面类型按气候因素进行了重新划分,得出4种类型：1）温湿夷平面,主要分布在水热条件较好的热带亚热带地区,夷平作用以流水侵蚀为主;2）萨瓦纳夷平面,发育在具有明显干湿季节交替的热带稀树草原（Savanna）地区,主要是通过山麓化作用形成的;3）干旱夷平面,发育在干旱半干旱气候条件下,机械风化为主导营力;4）寒冻夷平面,形成在气候寒冷的冰缘地区,以融冻夷平作用为主进行发育的。     

光纤光栅传感器的原理及应用研究

作为性能优良的敏感元件,均匀光纤布拉格光栅、啁啾光纤布拉格光栅等多种传感器已经有了更多的直用领域。通过光纤布拉格光栅内部写入、干涉法侧面写入、相位模版法写入等制作技术的原理说明和对比评介,通过光纤光栅传感器对所在环境的应变、应力、温度变化和动态磁场的感应原理分析,以及对光纤光栅传感器在复合材料、电力系统、石油天然气井和建筑结构中的应用工程的综述,阐明了这一类传感器件在单参数传感测量,特别是多参数传感测量中还育很大的发展空间,值得进一步研究。     

人口学资料在大学新生心理建档中的运用

为更加全面、快速、有效地了解大学新生心理健康状况,做好危机干预的初步筛查工作,本研究尝试将多项人口学指标引入新生心理建档中并探索它们对心理健康水平的影响及预测的力度。首先整群抽取某高校2007级大学新生,然后采用临床症状自评量表（SCL-90）评定其心理健康水平,并同时收集相关的人口学资料。结果表明,新生中等程度心理困扰的筛查率为10．41％,有自杀意向的比例是2．22％。通过因子分析、回归统计发现人口学资料中家庭经济、家庭结构、家庭气氛、专业满意度和是否经历重大创伤,对大学新生心理健康水平有显著的预测作用。因此,通过人口学资料获取并辅助SCL-90,能够更全面、快速地了解新生心理健康状况。     

陈靖姑文化资源转移为马祖旅游产品的创意

近几年马祖面临观光产业升级,在世界级旅游目的地打造的过程中产生某些误区,即马祖尽管是林默遗体的首葬地,但从阴影区理论来看,马祖并不适合选择妈祖作为观光品牌。根据宗教生态位观点,陈靖姑文化则更有可能使马祖的3s3g形象发出亮丽的光彩。陈靖姑文化适于马祖旅游开发的文化价值主要有宗教经典、神祗祖籍、文学艺术、闽剧演艺、道教神职、闽东民俗等方面。显化宗教经典文化和神祗祖籍文化,打造马祖临水旅游品牌：活化道教神职文化和文学艺术文化,使乡土的阵靖姑走向世界;外化闽剧演艺文化和闽东民俗文化,培育陈靖姑文化的世界旅游吸引向性。通过对陈靖姑文化资源进行转移开发,不仅将有效扩大闽东沿海宗教轴的辐射范围与影响力．而且对环海峡旅游区的形成也起到重要的推动作用。     

Ni46Mn35Ga19单晶中磁转变和马氏体相变的物理表征及形状记忆效应

NiMnGa是最早发现的铁磁形状记忆合金,是一种新型的形状记忆材料。自发现以来,许多学者对其进行了深入的研究,但对磁转交和马氏体转变共同发生的转变特性却缺乏系统的表征。本文采用多种测量手段,如相变潜热、电阻、交流磁化率和应变测量,对提拉法生长的Ni46Mn35Ga19单晶的磁转变和马氏体相变同时发生的转变行为进行了系统表征;根据合金形状记忆的特点和马氏体变体择优取向的机理,对实验结果进行了分析和讨论。应变测量结果表明,伴随该转变行为,材料展现出应变量达-0．89％的自发双向形状记忆效应和应变量高达-1．90％的磁控形状记忆效应。     

基于Curvelet变换的图像去噪

小波变换在分析二维图像中曲线或者直线边缘特征方面存在明显不足,而由小波变换而来的Curvelet变换具有很强的方向性,能更好地逼近和稀疏表达平滑区域和边缘部分。本文首先介绍了一代和二代Curvelet变换的概念及二代Curvelet变换快速离散算法的实现,然后分别采用小波变换和二代Curvelet变换的快速离散算法进行图像去噪实验。实验采用Wrap（Wrapping—based transform）算法实现有关Curvelet变换,即在USFFT方法上增加一个Wrap步骤,将任意区域通过周期化技术一一映射到原点的仿射区域。对比试验结果表明,在图像消噪中二代Curvelet变换的离散算法较小波变换有更好的视觉效果,而且PSNR也有一定的提高。