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相似文献
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1.
本文对空心阴极放电离子渗硼的机理以及渗入速度快的原因作了分析,并结合试验结果提出了强化渗速的机理。  相似文献   

2.
利用蒙特卡洛方法模拟了微空心阴极放电(MHCD)出射电子的空间以及能量分布,并在此基础上模拟了微空心阴极放电自持的辉光放电中电子的空间分布.模拟表明减小MHCD绝缘层厚度,能有效地改变从微空心阴极放电中出射电子的能量分布,从而提高电子发射效率.对于给定的微空心阴极放电电压,电子的发射存在一个轴向电压阈值;轴向电压的进一步增加,出射的电子数会达到饱和.实验表明以MHCD作为辉光放电电子源是可行的,并且微空心阴极放电自持的辉光放电特性的实验结果和理论模拟是一致的.  相似文献   

3.
研究了氩气中圆柱形空心阴极放电的自脉冲现象.测试了空心阴极放电不同阶段的伏安特性及自脉冲频率和电流脉冲上升沿随放电平均电流、气压和电路电容的变化;讨论了自脉冲的形成机理. 结果表明,自脉冲现象出现在空心阴极放电的负阻特性阶段,并具有稳定的频率.自脉冲频率随平均电流的增加而线性增大,气压和孔径的乘积pD值对频率的影响与其大小有关,但电极间的并联电容不影响脉冲频率;电流脉冲上升沿几乎与平均电流、气压或并联电容无关. 实验结果表明,自脉冲现象是空心阴极本身的一种特征放电过程.  相似文献   

4.
邹彬  韩敬  丁可  施芸城  陆彦钧 《江西科学》2008,26(2):208-211
应用粒子模拟软件对空心阴极放电进行粒子模拟,得到放电稳定状态时的电势分布和带电粒子的密度分布。利用模拟结果研究了放电电压为-800V,气压为1 Tort,基板偏压为-250V和-400V放电条件下的空心阴极放电特性。结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜。  相似文献   

5.
采用二维流体模型对管型空心阴极放电(HcD)进行了模拟,得到放电稳定状态下的电势分布、电子和离子的密度分布、电子平均能量分布.利用模拟结果,理论研究了在气压为30~130 Pa,电压为150~300 V,阴极孔径在3~7.5 mm的范围内氩(Ar)空心阴极放电的特点.结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电中的等离子体区域主要分布在管型空心阴极的两端,且改变放电电压、气压和阴极孔径等参数对放电特性有较大影响.  相似文献   

6.
不等电位空心阴极放电特性的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
本文提出一种不等电位空心阴极放电现象,对该现象的发生条件、电流放大效果进行了实验测定,并对不等电位空心阴极效应的放电机理、放电特性及其影响因素进行了初步的理论分析,得出一些有益的结论。  相似文献   

7.
空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层   总被引:2,自引:0,他引:2  
论述了空心阴极放电离子镀的工作原理,KYF-600型离子镀膜机的特点,各工艺参数的选择与控制以及TiN涂层齿轮切削性能的试验与结果分析。试验表明,经镀覆TiN的高速钢齿轮刀具可提高寿命1至4倍,经济效益显著。  相似文献   

8.
采用MonteCarlo方法,模拟了磁场影响下矩形空心阴极放电中电子的运动及其产生非弹性碰撞情况,得到了终止条件下电子的能量分布、空间分布,以及离子的空间分布.磁场的引入改变了电子的行程和产生各种非弹性碰撞的次数与位置,影响了整个放电过程.电子的各种参数分布的差异,正是由少数非弹性碰撞决定的.通过模拟得到:在恰当的磁场强度下,可改变电子的位置和能量分布,使总的离化数增加,改变负辉区和阴极位降区的离子分布,这对于更有效地控制激励、溅射和转荷反应过程,稳定放电有一定的指导意义.  相似文献   

9.
本文利用空心阴极放电现象对在表面涂覆有渗剂的试样进行离子渗金属的试验研究。初步结果表明,该方法是一种工艺简单、渗速快、无污染的渗金属新工艺,并有广阔的工业应用前景。  相似文献   

10.
根据微空心阴极放电(m icrohollow cathode d ischarge,简称MHCD)的基本结构,设计了一种新颖的放电结构,它利用MHCD与第三电极(金属针)之间构成新的放电方式,产生大体积高电流密度的辉光放电等离子体,利用等离子体中强烈的准分子辐射制作紫外准分子灯。利用该放电结构进行了Xe气的放电实验,实验测到了波长为172nm的强烈准分子辐射;在400Torr气压下放电,大约有15%的内部效率;当21个这样的放电并联运行时,获得了功率密度为15mW/cm2的真空紫外光输出。实验结果表明:利用这种结构能够制作出高功率的紫外准分子灯。  相似文献   

11.
论述了在辉光放电条件下采用空心阴极效应加热进行膏剂离子渗硼的工艺方法及掺硼层性能的研究,并对其渗入机理进行了分析。  相似文献   

12.
提出一种基于空心阴极放电等离子体的宽带微带开关,其基本原理是以放电等离子体代替微带线射频微机电系统(RF MEMS)开关的金属悬臂来实现开关功能.利用低气压下空心阴极放电产生微带等离子体,并研究了这种开关的传输特性.结果表明,放电系统工作时,等离子体开关对1~9GHz电磁波的传输效率为10%~30%;不产生等离子体时,开关间隙将隔离电磁波;开关对脉冲电压的响应时间约为1μs.利用空心阴极结构和脉冲电压驱动可以实现宽带微带开关.  相似文献   

13.
Lanthanum hexaboride (LaB 6) thin films were used as protective layers in alternating current plasma display panels (AC-PDPs).The firing voltages and discharge delay time of protective LaB 6 thin films were evaluated and compared with the conventional protective MgO layers in planar-type test panels filled with 5%-15% Ne-Xe.By employing LaB 6 thin films as protective layers,both the firing voltages and discharge delay time decreased drastically.Improvements in the discharge properties of the LaB 6 thin film could be attributed to the lower work function,offering more priming electrons during the discharge process.  相似文献   

14.
高压脉冲放电等离子体处理有机废水试验研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用针-板式高压脉冲放电等离子体反应器处理苯酚有机废水.考察了脉冲电压峰值、电极间距、氧气鼓入量等因素对苯酚去除率的影响.在脉冲电压峰值为25 kV,电极间距为20 mm,氧气鼓入量为150 mL/min,溶液初始pH值为5.5的试验条件下,苯酚废水放电处理60 min的去除率可达96.8%.研究表明,高压脉冲等离子体技术处理有机废水具有良好的应用前景.  相似文献   

15.
通过测量空气阴极与镍阳极组成的电解析氧装置的氧气产出量,并根据单位时间内气量与电流的关系可定量地计算出氧还原的两种历程在反应中所占的比例。试验结果表明,仅以活性炭为电催化剂的空气电极2电子途径的反应占74%.以MnO2为催化剂的空气电极,当含量达33%时,4电子途径的反应达100%。此方法可动态研究反应过程中两种氧还原反应随时间的变化。  相似文献   

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