共查询到20条相似文献,搜索用时 78 毫秒
1.
利用低温空气等离子体反应溅射技术淀积SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜气敏元件对几种 可燃性气体的气敏效应及其性能;通过掺杂提高了元件的选择性,并对反应溅射机理和气敏机理 作了一些探讨. 相似文献
2.
粉末溅射SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性 总被引:1,自引:1,他引:0
用粉末溅射方法制轩了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2;Pt双层膜。实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性。单层膜厚度和双层膜导电层及气敏层厚度对灵敏度有明显的影响。通过对掺杂单层膜和双层膜所敏特性的比较,对粉末溅射SnO2薄膜的气敏响应机理进行了探讨。 相似文献
3.
用CVD法在(111)和(100)单晶硅衬底上沉积SnO2或SnO队:Pd薄膜.在不同温度下,测量SnO2/Si表面吸附H2或CO等还原性气体后光电压的变化.结果表明:SnO2:Pd/Si的光电压变化,可以灵敏检测H2、CO等气体,讨论了SnO2:Pd/Si的气敏机理. 相似文献
4.
研究了SnO2薄膜的光学特性及有关光学参数的推导,建立了光学气敏的数学模型。较详细地研究了不同结构的SnO2薄膜接触还原性气体后光透射率的变化,采用不同方法制备的SnO2薄膜,由于结构不同,光透射率不一样,利用计算机对光学气敏的数学模型进行摸拟计算,其结果能很好地解释上述的现象。 相似文献
5.
二氧化锡薄膜结构对光学气敏特性的影响 总被引:6,自引:0,他引:6
研究了SnO4薄膜的光学特性及有关光学参数的推导,建立了光学气敏的数学模型。较详细地研究了不同结构的SnO2薄膜接触还原性气体后光透射率的变化。 相似文献
6.
MOPECVD法制备超微颗粒SnO2薄膜 总被引:3,自引:1,他引:2
以SnCl4液体为锡源用MOPECVDE方法制备出了SnO2薄膜,用X射线衍射仪和透射电镜(TEM)分析了薄膜的晶体结构和SnO2晶体的颗粒度,优化出制备超微颗粒SnO2薄膜的最佳工艺,并给出此膜蒸发上电极,制成SnO2气敏器件,测量其对乙醇的气敏特性,实验证明减小SnO2晶体的粒度可以改进元件的气敏特性。 相似文献
7.
介绍一一种抗汽油干扰的,电阻适用的SnO2其酒敏元件及其气敏特性,找出了掺Sb2O3,CaO后元件的电阻变化的一些规律。 相似文献
8.
采用均匀沉淀法合成了超微粒锡酸锌(Zn2SnO4)气敏材料,利用浸渍法对Zn2SnO4材料进行了掺杂,用XRD和TEM对其微结构进行了研究,实验结果表明,合成材料为均匀颗粒状,粒径小于0.1μm,该材料对可燃气体具有高的灵敏度,通过某些贵金属掺杂可提高Zn2SnO4对C2H5OH气体的选择性,SiO2的掺杂可大幅度提高Zn2SnO4对氢气的灵敏度,Zn2SnO4材料有可能在可燃气体、选择性酒敏元件上取得应用。 相似文献
9.
10.
采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法,通过二次蒸镀,制备了以氧化锌为衬底的SnO_2-ZnO复合型功能气敏薄膜。讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响,并提供了宏观性质和微观机理分析结果。 相似文献
11.
液态源掺杂对SnO2薄膜特性影响 总被引:1,自引:0,他引:1
李健 《内蒙古大学学报(自然科学版)》1996,27(3):317-320
在单晶硅片上生长SiO2绝缘层,再用蒸发的方法在SiO2层上淀积超微粒SnO2薄膜.采用液态源扩散方法对SnO2薄膜进行掺杂.实验表明,采用此法掺杂可精确控制掺杂浓度,此法工艺简便。可靠,使掺杂和热处理一次完成,掺杂后的薄膜气敏特性得到较大的改善. 相似文献
12.
报导了SnO2薄膜及其掺杂膜片在乙醇中的气敏光学效应与透射光谱特性;提出了一种新的理论模型来解释SnO2薄膜的气敏光学效应的作用机理,并与实验结果一致,从而证明了该模型的正确性。 相似文献
13.
采用直流气放电活化反应蒸发法,沉积成SnO2超微粒子薄膜。以不同能量的离子束轰击薄膜表面,用扫描电子显微镜、俄歇电子能谱仪等,分析了离子束作用对SnO2UPF表面形貌和化学组成的影响,同时研究了离子束作用前后,SnO2UPF对乙醇的气敏性质的变化。 相似文献
14.
利用XPS方法,分析四种由不同CVD温度(250~550℃)淀积在n-Si衬底上形成异质结的SnO2透明多晶薄膜的表面。定性和半定量分析表明,表面存在三种氧物种,在加热吸附H2前后,相对含量发生变化,变化大小与制备温度有关,根据实验结果和分析,研究薄膜H2吸附机理,讨论SnO2薄膜的气敏与SnO2/n-Si异质结光伏的关系以及制备温度对薄膜吸附反应性能的影响。 相似文献
15.
用喷涂法和溶胶—凝胶工艺制备PT/SnO2(Sb)/SiO2薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
用喷涂法在石英玻璃衬底上制备Rs为100-200Ω/cm^2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(TP)。薄膜。TP膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应。 相似文献
16.
侯榆青 《西北大学学报(自然科学版)》1997,27(4):297-300
用液相结晶和高温分解法制备偏离化学计量比的二氧化锡材料,对此二氧化锡进行掺杂,制成由一定原料配方组成的厚膜浆料,以此浆料用丝网印刷技术制备SnO2厚膜气敏元件。然后,对系列元件进行气敏特性测试,所制备的SnO2气敏元件表现出对乙醇气体的选择敏感性。 相似文献
17.
脉冲激光溅射SnO2气敏膜 总被引:1,自引:0,他引:1
脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术,本文研究分别以SnO2和纯锡作靶,用此技术生长的SnO2膜的结构及对氢,乙醇的气敏性,探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。 相似文献
18.
脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术,本文研究分别以SnO2和纯锡作靶,用此技术生长的SnO2膜的结构及对氢、乙醇的气敏性,探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。 相似文献
19.
用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备研制气敏传感的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析,结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。 相似文献
20.
复合氧化物SrTiO3—TiO2氧敏材料的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
将具有氧敏特性的SrTiO3与TiO2复合化,采用电子束蒸发方法,制备了SrTiO2-TiO2薄膜,研究了其氧敏特性。实验结果表明,复合氧化物SrTiO3-TiO2薄膜的n-p型转换点比SrTiO3薄膜的n-p型转换点高,氧敏特性有所改善,从而提高了贫燃共氧灵敏度曲线的线性化。 相似文献